公开(公告)号：US07700049B2

公开(公告)日：2010-04-20

申请号：US11555000

申请日：2006-10-31

申请人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

发明人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

IPC分类号： B01D50/00

CPC分类号： B01D53/38 ,  B01D53/68 ,  B01D53/74 ,  B01D53/79 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2251/104 ,  B01D2251/106 ,  B01D2251/2062 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412 ,  F23C7/02 ,  F23D2900/00016 ,  F23G7/065 ,  F23M5/00

摘要： In certain embodiments, an apparatus is provided for use in removing pollutants from a gas stream. The apparatus includes a thermal reaction unit formed from a plurality of stacked porous ceramic rings. At least one of the stacked ceramic sections may be adapted to allow sensing of a characteristic of contents of the central chamber. In some embodiments, waste gas inlets to the thermal reaction unit may be angled to create a helical vortex within the thermal reaction unit. Other aspects are provided.

摘要翻译： 在某些实施方案中，提供了用于从气流中除去污染物的装置。 该装置包括由多个堆叠的多孔陶瓷环形成的热反应单元。 堆叠的陶瓷部分中的至少一个可以适于允许感测中央室的内容物的特性。 在一些实施例中，到热反应单元的废气入口可以成角度以在热反应单元内产生螺旋涡流。 提供其他方面。

公开(公告)号：US07736600B2

公开(公告)日：2010-06-15

申请号：US11555056

申请日：2006-10-31

申请人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

发明人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

IPC分类号： B01D50/00

CPC分类号： B01D53/38 ,  B01D53/68 ,  B01D53/74 ,  B01D53/79 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2251/104 ,  B01D2251/106 ,  B01D2251/2062 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412 ,  F23C7/02 ,  F23D2900/00016 ,  F23G7/065 ,  F23M5/00

摘要： A thermal reactor for use during the abatement of a semiconductor manufacturing process is provided, including a thermal reaction unit having: an interior porous wall that defines a central chamber, the interior porous wall formed from a plurality of stacked porous sections; at least one gas inlet in fluid communication with the central chamber and adapted to introduce gaseous waste stream to the central chamber; a thermal mechanism positioned within the central chamber and adapted to decompose the gaseous waste stream within the central chamber, thereby forming reaction products; and a fluid delivery system adapted to provide a fluid to the central chamber through the interior porous wall at a sufficient force to reduce deposition of reaction products on an inner surface of the interior porous wall of the central chamber; wherein at least one of the porous sections has one or more of: a property that varies within the porous section; and a property that differs from a property of at least one other porous section of the interior porous wall.

摘要翻译： 提供了一种在减少半导体制造过程中使用的热反应器，包括热反应单元，其具有限定中心室的内部多孔壁，所述内部多孔壁由多个堆叠的多孔部分形成; 至少一个气体入口与中心室流体连通并且适于将气体废物流引入中心室; 位于中心室内的热机构，其适于分解中心室内的气态废物流，从而形成反应产物; 以及流体输送系统，其适于通过内部多孔壁以足够的力向中心室提供流体，以减少反应产物在中心室的内部多孔壁的内表面上的沉积; 其中所述多孔部分中的至少一个具有以下一种或多种：在所述多孔部分内变化的性质; 以及与内部多孔壁的至少另一个多孔部分的性质不同的性质。

公开(公告)号：US07682574B2

公开(公告)日：2010-03-23

申请号：US10991740

申请日：2004-11-18

申请人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert Vermeulen

发明人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert Vermeulen

IPC分类号： B01J19/00

CPC分类号： F23G5/50 ,  B01D2258/0216 ,  F23G7/065 ,  F23K5/005 ,  F23N5/08 ,  F23N5/242 ,  F23N2027/02 ,  F23N2027/04 ,  F23N2029/02 ,  F23N2031/08 ,  F23N2031/18 ,  Y02C20/30 ,  Y02T50/677

摘要： The present invention relates to a thermal reactor apparatus used to treat industrial effluent fluids, for example waste effluent produced in semiconductor and liquid crystal display manufacturing processes. Specifically, the present invention relates to improved monitoring and control features for the thermal reactor apparatus, including a flame sensing device, an intrinsically safe flammable gas sensing device, and a sequential mode of operation having built-in safety redundancy. The improved monitoring and control features ensure the safe and efficient abatement of waste effluent within the thermal reactor apparatus.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于处理工业废水的热反应器装置，例如在半导体和液晶显示器制造工艺中产生的废液。 具体地，本发明涉及用于热反应器装置的改进的监测和控制特征，包括火焰感测装置，本质安全的可燃气体感测装置和具有内置安全冗余的顺序操作模式。 改进的监测和控制特征确保在热反应器装置内安全有效地减少废物流出物。

公开(公告)号：US20090214991A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：US12372734

申请日：2009-02-17

申请人： Daniel O. Clark ,  Allen G. Fox ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

发明人： Daniel O. Clark ,  Allen G. Fox ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

IPC分类号： F23N1/00 ,  F23D14/82

CPC分类号： F23G7/065 ,  F23G2209/142 ,  Y10T137/877

摘要： An abatement apparatus for introducing fuel into an electronic device manufacturing effluent abatement tool, including: a manifold; a fuel source adapted to supply fuel to the manifold through a fuel conduit; and a plurality of nozzles adapted to receive fuel from the manifold; wherein the manifold is adapted to supply fuel to the nozzles at a fuel velocity greater than a flame velocity.

摘要翻译： 一种用于将燃料引入制造污水消除工具的电子装置中的减排装置，包括：歧管; 燃料源，其适于通过燃料管道向所述歧管供应燃料; 以及适于从所述歧管接收燃料的多个喷嘴; 其中所述歧管适于以大于火焰速度的燃料速度向所述喷嘴供应燃料。

公开(公告)号：US20090098492A1

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：US12257888

申请日：2008-10-24

申请人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

发明人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

IPC分类号： F23N5/08 ,  F23N5/26 ,  F23G7/06

CPC分类号： F23G5/50 ,  B01D2258/0216 ,  F23G7/065 ,  F23K5/005 ,  F23N5/08 ,  F23N5/242 ,  F23N2027/02 ,  F23N2027/04 ,  F23N2029/02 ,  F23N2031/08 ,  F23N2031/18

摘要： A flame sensor apparatus for use with a flame heated thermal abatement reactor is provided, including a flame sensor adapted to sense a flame within the thermal abatement reactor; and a shutter adapted to selectively block the transmission of radiation from the flame to the flame sensor.

摘要翻译： 提供了一种与火焰加热的热消除反应器一起使用的火焰传感器装置，其包括适于感测热消除反应器内的火焰的火焰传感器; 以及适于选择性地阻挡从火焰到火焰传感器的辐射传输的快门。

公开(公告)号：US07736599B2

公开(公告)日：2010-06-15

申请号：US10987921

申请日：2004-11-12

申请人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Leonard B. Todd ,  Robbert Vermeulen

发明人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Leonard B. Todd ,  Robbert Vermeulen

IPC分类号： B01D50/00 ,  F01N3/10

CPC分类号： F23M5/085 ,  F23D2900/00016 ,  F23G7/065 ,  F23J9/00 ,  F23M2900/05002 ,  F23M2900/05004

摘要： The present invention relates to systems and methods for controlled combustion and decomposition of gaseous pollutants while reducing deposition of unwanted reaction products from within the treatment systems. The systems include a novel thermal reaction chamber design having stacked reticulated ceramic rings through which fluid, e.g., gases, may be directed to form a boundary layer along the interior wall of the thermal reaction chamber, thereby reducing particulate matter buildup thereon. The systems further include the introduction of fluids from the center pilot jet to alter the aerodynamics of the interior of the thermal reaction chamber.

摘要翻译： 本发明涉及用于气态污染物的受控燃烧和分解的系统和方法，同时减少不需要的反应产物从处理系统内的沉积。 该系统包括具有堆叠的网状陶瓷环的新型热反应室设计，通过该陶瓷环可以使流体（例如气体）被引导以沿着热反应室的内壁形成边界层，从而减少其上积累的颗粒物质。 这些系统还包括从中心先导射流引入流体以改变热反应室内部的空气动力学。

公开(公告)号：US20090148339A1

公开(公告)日：2009-06-11

申请号：US12271879

申请日：2008-11-15

申请人： Mark W. Curry ,  Shaun W. Crawford ,  Barry Page ,  Robbert M. Vermeulen ,  Allen Fox ,  Daniel S. Brown ,  Rene Correa ,  Youssef A. Loldj ,  William D. Pyzel ,  Daniel O. Clark

发明人： Mark W. Curry ,  Shaun W. Crawford ,  Barry Page ,  Robbert M. Vermeulen ,  Allen Fox ,  Daniel S. Brown ,  Rene Correa ,  Youssef A. Loldj ,  William D. Pyzel ,  Daniel O. Clark

IPC分类号： A61L9/015

CPC分类号： B01D53/38 ,  B01D2257/108

摘要： An abatement system is provided, including an abatement unit adapted to abate effluent using ambient air; and an ambient air delivery system in fluid communication with the abatement unit and adapted to deliver ambient air to the abatement unit; wherein the ambient air delivery system allows sufficient ambient air to flow into the abatement unit to abate the effluent without compressed air. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 提供减排系统，包括减排单位，适用于使用环境空气消除污水; 以及与减排单元流体连通并适于将环境空气输送到减排单元的环境空气输送系统; 其中环境空气输送系统允许足够的环境空气流入减排单元以消除没有压缩空气的流出物。 提供了许多其他方面。

公开(公告)号：US20080290041A1

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：US12126920

申请日：2008-05-25

申请人： Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Youssef A. Loldj ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Shaun W. Crawford

发明人： Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Youssef A. Loldj ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Shaun W. Crawford

IPC分类号： G05B11/00

CPC分类号： G05B9/02 ,  Y02P80/15

摘要： A method of operating an electronic device manufacturing system is provided which includes the steps of receiving information with an interface, wherein the information relates to an abatement system, and shutting down a process tool and an abatement tool in response to the information.

摘要翻译： 提供了一种操作电子设备制造系统的方法，其包括以界面接收信息的步骤，其中所述信息涉及减排系统，以及响应于所述信息关闭处理工具和减排工具。

公开(公告)号：US08095240B2

公开(公告)日：2012-01-10

申请号：US12257888

申请日：2008-10-24

申请人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

发明人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

IPC分类号： B01J19/00 ,  G05B21/00

CPC分类号： F23G5/50 ,  B01D2258/0216 ,  F23G7/065 ,  F23K5/005 ,  F23N5/08 ,  F23N5/242 ,  F23N2027/02 ,  F23N2027/04 ,  F23N2029/02 ,  F23N2031/08 ,  F23N2031/18

摘要： A flame sensor apparatus for use with a flame heated thermal abatement reactor is provided, including a flame sensor adapted to sense a flame within the thermal abatement reactor; and a shutter adapted to selectively block the transmission of radiation from the flame to the flame sensor.

摘要翻译： 提供了一种与火焰加热的热消除反应器一起使用的火焰传感器装置，其包括适于感测热消除反应器内的火焰的火焰传感器; 以及适于选择性地阻挡从火焰到火焰传感器的辐射传输的快门。

公开(公告)号：US20090110622A1

公开(公告)日：2009-04-30

申请号：US12258395

申请日：2008-10-25

申请人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

发明人： Ho-Man Rodney Chiu ,  Daniel O. Clark ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Robbert M. Vermeulen

IPC分类号： B01D53/68

CPC分类号： B01D53/346 ,  B01D53/38 ,  B01D53/77 ,  B01D2251/102 ,  B01D2251/11 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412

摘要： A method for abating effluent from an electronic device manufacturing process is provided, including abating the effluent in a thermal abatement tool to form abated effluent; determining whether the abated effluent contains one or more chemical species of interest; and changing one or more operating parameters of the thermal abatement tool based upon the determination. Numerous other embodiments are provided.

摘要翻译： 提供了一种从电子设备制造过程中消除流出物的方法，包括减轻热消除工具中的流出物以形成减少的流出物; 确定减排的污水是否含有一种或多种感兴趣的化学物质; 以及基于所述确定改变所述热消除工具的一个或多个操作参数。 提供了许多其他实施例。