公开(公告)号：US06725402B1

公开(公告)日：2004-04-20

申请号：US09629073

申请日：2000-07-31

申请人： Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang ,  Terrence J. Riley

发明人： Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang ,  Terrence J. Riley

IPC分类号： G06F1100

CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32209 ,  G05B2219/32221 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

摘要： A method and apparatus for providing fault detection in an Advanced Process Control (APC) framework. A first interface receives operational state data of a processing tool related to the manufacture of a processing piece. The state data is sent from the first interface to a fault detection unit. A fault detection unit determines if a fault condition exists with the processing tool based upon the state data. A predetermined action is performed on the processing tool in response to the presence of a fault condition. In accordance with one embodiment, the predetermined action is to shutdown the processing tool so as to prevent further production of faulty wafers.

摘要翻译： 一种用于在高级过程控制（APC）框架中提供故障检测的方法和装置。 第一接口接收与制造加工件相关的加工工具的操作状态数据。 状态数据从第一接口发送到故障检测单元。 故障检测单元基于状态数据确定处理工具是否存在故障状况。 响应于故障状况的存在，对处理工具执行预定的动作。 根据一个实施例，预定的动作是关闭处理工具，以防止进一步生产故障晶片。

公开(公告)号：US06532555B1

公开(公告)日：2003-03-11

申请号：US09430475

申请日：1999-10-29

申请人： Michael Lee Miller ,  Qingsu Wang ,  Elfido Coss, Jr.

发明人： Michael Lee Miller ,  Qingsu Wang ,  Elfido Coss, Jr.

IPC分类号： G06F1100

CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B2219/37207 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/14

摘要： A method and apparatus for providing near real-time fault detection in a manufacturing process is provided. The apparatus includes a processing tool adapted to manufacture a processing piece and an interface, coupled to the processing tool, for receiving operational data from the processing tool related to the manufacture of the processing piece, and product data defining characteristics of the processing piece. In one embodiment, the processing tool is in the form of semiconductor fabrication equipment and the processing piece is a silicon wafer. A fault detection unit is provided to determine if a fault condition exists with the processing tool from the operational data or with the processing piece from the product data. An Advanced Process Control (APC) framework is further provided to receive the operational and product data from the first interface, and to send the data to the fault detection unit.

摘要翻译： 提供了一种用于在制造过程中提供近实时故障检测的方法和装置。 该装置包括适于制造加工件和接口的加工工具，该处理件和接口耦合到处理工具，用于接收来自与加工件的制造相关的加工工具的操作数据，以及定义加工件特征的产品数据。 在一个实施例中，处理工具是半导体制造设备的形式，并且处理件是硅晶片。 提供故障检测单元，以从操作数据或来自产品数据的加工件确定处理工具是否存在故障状况。 进一步提供高级过程控制（APC）框架以从第一接口接收操作和产品数据，并将数据发送到故障检测单元。

公开(公告)号：US06968303B1

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：US09548443

申请日：2000-04-13

申请人： Qingsu Wang ,  Elfido Coss, Jr.

发明人： Qingsu Wang ,  Elfido Coss, Jr.

IPC分类号： G06F17/50 ,  H01L21/28 ,  H01L21/336

CPC分类号： G06F17/5068 ,  H01L21/28035 ,  H01L29/6659

摘要： A method is provided for configuring a final data set to use for modeling a manufacturing process, the method including requesting a real-time data set from a real-time database, requesting an historical data set from an historical database, and defining a required format for the final data set. The method also includes combining the real-time data set from the real-time database with the historical data set from the historical database using the required format for the final data set.

摘要翻译： 提供了一种用于配置用于建模制造过程的最终数据集的方法，所述方法包括从实时数据库请求实时数据集，从历史数据库请求历史数据集，以及定义所需格式 为最终的数据集。 该方法还包括使用最终数据集的所需格式将来自实时数据库的实时数据集与来自历史数据库的历史数据集相结合。

公开(公告)号：US06556882B1

公开(公告)日：2003-04-29

申请号：US09401089

申请日：1999-09-22

申请人： Michael R. Conboy ,  Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang

发明人： Michael R. Conboy ,  Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： H01L22/20

摘要： A method and apparatus for performing manufacturing system analysis upon a manufacturing network. Real-time production data is collected. The real-time production data is stored in a static file database. A real-time data flow is emulated using said real-time production data from said static file database. A reactive function analysis is performed.

摘要翻译： 一种用于在制造网络上执行制造系统分析的方法和装置。 收集实时生产数据。 实时生产数据存储在静态文件数据库中。 使用来自所述静态文件数据库的所述实时生产数据来模拟实时数据流。 进行反应性功能分析。

公开(公告)号：US06546508B1

公开(公告)日：2003-04-08

申请号：US09430476

申请日：1999-10-29

申请人： Thomas Sonderman ,  Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang

发明人： Thomas Sonderman ,  Elfido Coss, Jr. ,  Qingsu Wang

IPC分类号： G06F1100

CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B2219/31357 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/14

摘要： A method and apparatus for providing fault detection in an Advanced Process Control (APC) framework. A first interface receives operational state data of a processing tool related to the manufacture of a processing piece. The state data is sent from the first interface to a fault detection unit. A fault detection unit determines if a fault condition exists with the processing tool based upon the state data. A predetermined action is performed on the processing tool in response to the presence of a fault condition. In accordance with one embodiment, the predetermined action is to shutdown the processing tool so as to prevent further production of faulty wafers.

摘要翻译： 一种用于在高级过程控制（APC）框架中提供故障检测的方法和装置。 第一接口接收与制造加工件相关的加工工具的操作状态数据。 状态数据从第一接口发送到故障检测单元。 故障检测单元基于状态数据确定处理工具是否存在故障状况。 响应于故障状况的存在，对处理工具执行预定的动作。 根据一个实施例，预定的动作是关闭处理工具，以防止进一步生产故障晶片。

公开(公告)号：US06697691B1

公开(公告)日：2004-02-24

申请号：US09476895

申请日：2000-01-03

申请人： Michael L. Miller ,  Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang

发明人： Michael L. Miller ,  Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： H01L22/20

摘要： The present invention provides for a method and an apparatus for fault model analysis in manufacturing tools. A sequence of semiconductor devices is processed through a manufacturing process. Production data resulting from the processing of the semiconductor devices is acquired. A fault model analysis is performed using the acquired production data.

摘要翻译： 本发明提供了制造工具中的故障模型分析的方法和装置。 通过制造工艺处理一系列半导体器件。 获取由半导体器件的处理产生的生产数据。 使用获取的生产数据进行故障模型分析。

公开(公告)号：US06324341B1

公开(公告)日：2001-11-27

申请号：US09559147

申请日：2000-04-26

申请人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael Miller ,  William Jarrett Campbell ,  Jeff Thompson

发明人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael Miller ,  William Jarrett Campbell ,  Jeff Thompson

IPC分类号： F26B1900

CPC分类号： H01L21/67115 ,  H01L21/67248

摘要： A method is provided, the method comprising preheating a rapid thermal processing chamber according to a preheating recipe and processing a first plurality of workpieces in the rapid thermal processing chamber. The method also comprises performing first parameter measurements on first and second workpieces of the first plurality of workpieces, the first parameter measurements indicative of first processing differences between the first and second workpieces, and forming a first output signal corresponding to the first parameter measurements. The method further comprises adjusting the preheating recipe based on the first output signal and using the adjusted preheating recipe to preheat the rapid thermal processing chamber for processing a second plurality of workpieces in the rapid thermal processing chamber to reduce second processing differences between first and second workpieces of the second plurality of workpieces.

摘要翻译： 提供了一种方法，该方法包括根据预热配方预热快速热处理室并处理快速热处理室中的第一多个工件。 该方法还包括对第一多个工件的第一和第二工件执行第一参数测量，第一参数测量指示第一和第二工件之间的第一处理差异，以及形成对应于第一参数测量的第一输出信号。 该方法还包括基于第一输出信号调整预热配方并使用经调节的预热配方来预热快速热处理室以处理快速热处理室中的第二多个工件，以减少第一和第二工件之间的第二处理差异 的第二多个工件。

公开(公告)号：US06268270B1

公开(公告)日：2001-07-31

申请号：US09429790

申请日：1999-10-29

申请人： Glen W. Scheid ,  Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael Miller ,  Si-Zhao J. Qin

发明人： Glen W. Scheid ,  Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael Miller ,  Si-Zhao J. Qin

IPC分类号： H01C21265

CPC分类号： G01J5/0003 ,  G01J1/32

摘要： Methods of optimizing a preheat recipe for rapid thermal processing workpieces are provided. In one aspect, a method of manufacturing is provided that includes preheating a rapid thermal processing chamber according to a preheating recipe and processing a first plurality of workpieces in the rapid thermal processing chamber. Parameter measurements are performed on a first workpiece and a second workpiece of the first plurality of workpieces. The parameter measurements are indicative of processing differences between the first and second workpieces. An output signal is formed corresponding to the parameter measurements and a control signal based on the output signal is used to adjust the preheating recipe for preheating the rapid thermal processing chamber for processing a second plurality of workpieces in the rapid thermal processing chamber to reduce processing differences between first and second workpieces of the second plurality of workpieces.

摘要翻译： 提供了优化用于快速热处理工件的预热配方的方法。 一方面，提供一种制造方法，其包括根据预热配方预热快速热处理室并在快速热处理室中处理第一多个工件。 在第一工件和第一工件的第二工件上执行参数测量。 参数测量表示第一和第二工件之间的加工差异。 对应于参数测量形成输出信号，并且使用基于输出信号的控制信号来调节用于预热快速热处理室的预热配方，用于处理快速热处理室中的第二多个工件以减少加工差异 在第二多个工件的第一和第二工件之间。

公开(公告)号：US06738731B1

公开(公告)日：2004-05-18

申请号：US09815445

申请日：2001-03-22

申请人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Glen W. Scheid ,  Kent F. Knox

发明人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Glen W. Scheid ,  Kent F. Knox

IPC分类号： G01R3126

CPC分类号： G01R31/2831

摘要： A method for identifying faulty wafers includes processing a set of wafers in a tool; collecting tool state information during the processing of the set of wafers; generating a tool state information baseline; comparing the tool state information for each wafer to the tool state information baseline to identify any wafers with outlying tool state information; and designating a particular wafer in the set as suspect in response to identifying outlying tool state information for the particular wafer. A processing line includes a tool adapted to process a set of wafers, and a process controller. The process controller is adapted to collect tool state information during the processing of the set of wafers, generate a tool state information baseline, compare the tool state information for each wafer to the baseline tool state information to identify any wafers with outlying tool state information, and designate a particular wafer in the set as suspect in response to identifying outlying tool state information for the particular wafer.

摘要翻译： 用于识别故障晶片的方法包括在工具中处理一组晶片; 在处理该组晶片期间收集工具状态信息; 生成工具状态信息基线; 将每个晶片的工具状态信息与工具状态信息基准进行比较，以识别具有外围工具状态信息的任何晶片; 以及响应于识别用于特定晶片的外部工具状态信息而将所述组中的特定晶片指定为可疑的。 处理线包括适于处理一组晶片的工具和过程控制器。 过程控制器适于在晶片组的处理期间收集工具状态信息，产生工具状态信息基线，将每个晶片的工具状态信息与基准工具状态信息进行比较，以识别具有外围工具状态信息的任何晶片， 并且响应于识别用于特定晶片的外部工具状态信息而将集合中的特定晶片指定为可疑。

公开(公告)号：US06629012B1

公开(公告)日：2003-09-30

申请号：US09479403

申请日：2000-01-06

申请人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael R. Conboy ,  Michael L. Miller ,  W. Jarrett Campbell

发明人： Terrence J. Riley ,  Qingsu Wang ,  Michael R. Conboy ,  Michael L. Miller ,  W. Jarrett Campbell

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： H01L21/67253 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

摘要： A metbod for perforning a wafer-less qualification of a processing tool includes creating a wafer-less qualification model for the processing tool. Qualification data is generated from the processing tool iiiring a wafer-less qualification process. The qualification data is compared with the wafer-less qualification model. The processig tool is determined to be operating in a predefined state based on the comparison of the qualification data with the wafer-less qualification model.

摘要翻译： 用于穿透无晶圆处理工具的资格的metbod包括为处理工具创建无晶圆的鉴定模型。 资格数据是从处理工具生成的，不需要无晶圆资格认证。 将资格数据与无晶圆资格认证模型进行比较。 基于资格数据与无晶圆资格认证模型的比较，流程工具被确定为在预定状态下操作。