公开(公告)号：US4910436A

公开(公告)日：1990-03-20

申请号：US155235

申请日：1988-02-12

申请人： George J. Collins ,  Zeng-qi Yu ,  Tien-yu Sheng

发明人： George J. Collins ,  Zeng-qi Yu ,  Tien-yu Sheng

IPC分类号： C23C16/48 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32018 ,  C23C16/482 ,  C23C16/50

摘要： A disc-shaped plasma, generated by a ring-shaped cold cathode is used both as an in-situ large area (10-20 cm in diameter) VUV lamp and as a source of ground state and excited atoms. The atoms created in the disc-shaped plasma may be used for initiating sensitized atom-molecule reactions in the volume that dissociate the molecules as well as for providing external energy to heterogenous surface reactions. Multiple grid electrodes are used to extract ions or electrons from the plasma during the deposition process. The disc-shaped plasma is of narrow width which is optically thin for resonance photons emitted in a direction perpendicular to the disc to minimize undesired resonance trapping and associated line reversal. This VUV lamp operates without the need for optical windows; hence, ground state and excited atoms, created in the disc-shaped plasma, can diffuse from the disc-shaped plasma toward the substrate.

摘要翻译： 由环形冷阴极产生的盘形等离子体既用作原位大面积（直径为10-20cm）的VUV灯，也用作基态和激发原子的源。 在圆盘形等离子体中产生的原子可以用于在解离分子的体积中引发致敏原子 - 分子反应以及为异源表面反应提供外部能量。 在沉积过程中，使用多个栅格电极从等离子体中提取离子或电子。 盘形等离子体的宽度窄，对于在与盘垂直的方向上发射的共振光子而言是光学薄的，以最小化不期望的共振捕获和相关的线反转。 该VUV灯不需要光学窗口即可运行; 因此，在盘形等离子体中产生的基态和激发原子可以从盘形等离子体向衬底扩散。

公开(公告)号：US4782267A

公开(公告)日：1988-11-01

申请号：US827336

申请日：1986-02-07

申请人： George J. Collins ,  Zeng-qi Yu

发明人： George J. Collins ,  Zeng-qi Yu

IPC分类号： H01J61/72 ,  C23C13/08 ,  B05D3/06

CPC分类号： H01J61/72

摘要： An open wide area vacuum ultraviolet lamp for use in microelectronics processing applications employes a ring-shaped cold cathode to produce a trapped electron beam discharge of generally disc-shaped cross section in a low pressure molecular gas environment and without the use of VUV windows.

摘要翻译： 用于微电子加工应用的开放式广域真空紫外线灯采用环形冷阴极，在低压分子气体环境中产生大致盘形截面的俘获电子束放电，而不使用VUV窗。

公开(公告)号：US4730334A

公开(公告)日：1988-03-08

申请号：US475

申请日：1987-01-05

申请人： George J. Collins ,  John R. McNeil ,  Zeng-qi Yu

发明人： George J. Collins ,  John R. McNeil ,  Zeng-qi Yu

IPC分类号： H01S3/038 ,  H01S3/03 ,  H01S3/097

CPC分类号： H01S3/09707 ,  H01S3/031

摘要： A gas ion laser employs a direct current electron beam to create a rare gas ion density and a cylindrical magnetron to sputter a partial pressure of metal vapor density and to also create a rare gas ion density. Thermal energy charge transfer selectively pumps the upper metal ion laser transitions on a continuous wave basis.

摘要翻译： 气体离子激光器采用直流电子束产生稀有的气体离子密度和圆柱形磁控管，以溅射金属蒸气密度的分压并产生稀有的气体离子密度。 热能电荷转移选择性地以连续波为基础泵浦上部金属离子激光跃迁。

公开(公告)号：US4801839A

公开(公告)日：1989-01-31

申请号：US939054

申请日：1986-12-08

申请人： George J. Collins ,  Jack D. Meyer ,  Zeng-qi Yu

发明人： George J. Collins ,  Jack D. Meyer ,  Zeng-qi Yu

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01S3/038 ,  H01J1/96 ,  H01J7/26 ,  H01J17/38

CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01S3/038

摘要： A cold cathode for generating an abnormal glow discharge electron beam within a vacuum chamber is mounted to a wall of the vacuum chamber such that only the emitting front face of the cold cathode, itself electrically insulated from the vacuum chamber wall by a narrow gap therebetween, is located inside the vacuum chamber, while the remainder of the cold cathode is located outside the vacuum chamber.

摘要翻译： 用于在真空室内产生异常辉光放电电子束的冷阴极安装在真空室的壁上，使得只有冷阴极的发射前面本身与真空室壁之间狭窄的间隙与绝缘室壁电绝缘， 位于真空室内，而冷阴极的其余部分位于真空室外。

公开(公告)号：US09192422B2

公开(公告)日：2015-11-24

申请号：US13186121

申请日：2011-07-19

申请人： George J. Collins

发明人： George J. Collins

IPC分类号： A61B18/12 ,  A61B18/00 ,  A61B18/18

CPC分类号： A61B18/1206 ,  A61B2018/00642 ,  A61B2018/00648 ,  A61B2018/00755 ,  A61B2018/00779 ,  A61B2018/00785 ,  A61B2018/00827 ,  A61B2018/00845 ,  A61B2018/00875 ,  A61B2018/00892 ,  A61B2018/1823

摘要： A system for performing a surgical procedure includes a source of energy, a surgical instrument, and an impedance matching network. The source of energy is an electrosurgical generator or a microwave generator. The surgical instrument is coupled to the source of energy and receives the energy therefrom. The surgical instrument is adapted to treat tissue with the energy. The impedance matching network is interposed along a path of the energy and matches an input impedance of the source of energy to an output impedance (or thereabouts).

摘要翻译： 用于执行外科手术的系统包括能量源，手术器械和阻抗匹配网络。 能量源是电外科发生器或微波发生器。 外科器械耦合到能量源并从其接收能量。 该手术器械适于用能量来治疗组织。 阻抗匹配网络沿着能量的路径插入，并将能量源的输入阻抗与输出阻抗（或其附近）相匹配。

公开(公告)号：US5427977A

公开(公告)日：1995-06-27

申请号：US179038

申请日：1994-01-06

申请人： Masao Yamada ,  Motoo Nakano ,  George J. Collins ,  Tetsuro Tamura ,  Akira Takazawa

发明人： Masao Yamada ,  Motoo Nakano ,  George J. Collins ,  Tetsuro Tamura ,  Akira Takazawa

IPC分类号： H01L21/04 ,  H01L21/306 ,  H01L33/34 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01L33/346 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/0445 ,  H01L21/306 ,  H01L33/34 ,  Y10S438/911 ,  Y10S438/96 ,  Y10S438/962

摘要： An Si or SiC semiconductor layer is subjected to anodic oxidation in an HF solution to form a porous semiconductor layer. Without drying, the porous semiconductor layer is then immersed in pure water. Ultrasonic waves applied to the pure water shorten the reaction time and help bubbles separate from the surface of the porous region. The porous semiconductor layer is used for forming a pn junction, and carriers are injected into the pn junction.

摘要翻译： 将Si或SiC半导体层在HF溶液中进行阳极氧化以形成多孔半导体层。 不干燥，然后将多孔半导体层浸入纯水中。 施加到纯水的超声波缩短了反应时间并帮助气泡与多孔区域的表面分离。 多孔半导体层用于形成pn结，载流子注入到pn结中。

公开(公告)号：US4827137A

公开(公告)日：1989-05-02

申请号：US856950

申请日：1986-04-28

申请人： George J. Collins ,  Jayaram Krishnaswamy

发明人： George J. Collins ,  Jayaram Krishnaswamy

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01J37/317

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/2047 ,  H01J37/3175 ,  H01J2237/06366 ,  H01J2237/31788

摘要： A cold cathode glow discharge electron gun operating in the abnormal glow region produces a wide area collimated electron beam employed for flood exposure of thin film materials through electron beam transmission masks, resulting in spatially localized exposure and patterning of the thin film materials.

摘要翻译： 在异常辉光区域中操作的冷阴极辉光放电电子枪产生用于薄膜材料通过电子束透射掩模进行暴露曝光的广泛准直电子束，导致薄膜材料的空间局部曝光和图案化。

公开(公告)号：US4641316A

公开(公告)日：1987-02-03

申请号：US656408

申请日：1984-10-01

申请人： George J. Collins ,  Jorge J. Rocca ,  Jack D. Meyer

发明人： George J. Collins ,  Jorge J. Rocca ,  Jack D. Meyer

IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/038 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09

CPC分类号： H01S3/09707 ,  H01S3/031 ,  H01S3/038

摘要： A highly efficient laser employs a glow discharge electron gun and includes a solid wall cathode that emits a beam of electrons resulting in a plasma that is a negative glow discharge having an electron distribution that has a larger number of high energy electrons than would be present in a Maxwellian distribution of the same electron density.

摘要翻译： 一种高效率的激光器采用辉光放电电子枪，并且包括一个固体壁阴极，其发射一束电子，产生一个等离子体，该等离子体是一个具有电子分布的负辉光放电，该电子分布具有比在 相同电子密度的麦克斯韦分布。

公开(公告)号：US09028482B2

公开(公告)日：2015-05-12

申请号：US13186092

申请日：2011-07-19

申请人： George J. Collins

发明人： George J. Collins

IPC分类号： A61B18/12 ,  A61B18/14 ,  A61B18/00 ,  A61B18/16

CPC分类号： A61B18/1233 ,  A61B18/1477 ,  A61B2018/00577 ,  A61B2018/00589 ,  A61B2018/00595 ,  A61B2018/0063 ,  A61B2018/00708 ,  A61B2018/00875 ,  A61B2018/141 ,  A61B2018/1412 ,  A61B2018/167

摘要： An electrosurgical system and method for performing electrosurgery is disclosed. The electrosurgical system includes an electrosurgical generator adapted to supply electrosurgical energy to tissue. The electrosurgical system includes an electrosurgical instrument, such as an electrosurgical antenna, knife, forceps, suction coagulator, or vessel sealer. The disclosed system includes an impedance sensor, a controller, dynamic impedance matching network, and an electrosurgical energy generator. The dynamic impedance matching network includes a PIN diode switching array configured to selectively activate a plurality of reactive elements. The disclosed arrangement of reactive elements provides real-time impedance correction over a wide range of impedance mismatch conditions.

摘要翻译： 公开了一种用于进行电外科手术的电外科系统和方法。 电外科系统包括适于向组织提供电外科能量的电外科发生器。 电外科系统包括电外科器械，例如电外科天线，刀，镊子，抽吸凝结器或容器密封器。 所公开的系统包括阻抗传感器，控制器，动态阻抗匹配网络和电外科能量发生器。 动态阻抗匹配网络包括配置成选择性地激活多个无功元件的PIN二极管开关阵列。 所公开的无功元件的布置在宽范围的阻抗失配条件下提供实时阻抗校正。

公开(公告)号：US20130023871A1

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：US13186107

申请日：2011-07-19

申请人： George J. Collins

发明人： George J. Collins

IPC分类号： A61B18/12

CPC分类号： A61B18/1233 ,  A61B18/1477 ,  A61B2018/00577 ,  A61B2018/00589 ,  A61B2018/00595 ,  A61B2018/0063 ,  A61B2018/00708 ,  A61B2018/00875 ,  A61B2018/141 ,  A61B2018/1412 ,  A61B2018/167

摘要： An electrosurgical system and method for performing electrosurgery is disclosed. The electrosurgical system includes an electrosurgical generator adapted to supply electrosurgical energy to tissue. The electrosurgical system includes an electrosurgical instrument, such as an electrosurgical antenna, knife, forceps, suction coagulator, or vessel sealer. The disclosed system includes an impedance sensor, a controller, dynamic impedance matching network, and an electrosurgical energy generator. The dynamic impedance matching network includes a PIN diode switching array configured to selectively activate a plurality of reactive elements. The disclosed arrangement of reactive elements provides real-time impedance correction over a wide range of impedance mismatch conditions.

摘要翻译： 公开了一种用于进行电外科手术的电外科系统和方法。 电外科系统包括适于向组织提供电外科能量的电外科发生器。 电外科系统包括电外科器械，例如电外科天线，刀，镊子，抽吸凝结器或容器密封器。 所公开的系统包括阻抗传感器，控制器，动态阻抗匹配网络和电外科能量发生器。 动态阻抗匹配网络包括配置成选择性地激活多个无功元件的PIN二极管开关阵列。 所公开的无功元件的布置在宽范围的阻抗失配条件下提供实时阻抗校正。