公开(公告)号：US20070235823A1

公开(公告)日：2007-10-11

申请号：US11393369

申请日：2006-03-30

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Chih-Hsin Ko ,  Jyu-Horng Shieh ,  Baw-Ching Perng ,  Syun-Ming Jang

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Chih-Hsin Ko ,  Jyu-Horng Shieh ,  Baw-Ching Perng ,  Syun-Ming Jang

IPC分类号： H01L29/94 ,  H01L29/76 ,  H01L31/00

CPC分类号： H01L21/823807 ,  H01L21/823864 ,  H01L29/7843 ,  Y10S438/981

摘要： A semiconductor structure includes a substrate, and a first MOS device on the first region of the substrate wherein the first MOS device includes a first spacer liner. The semiconductor structure further includes a second MOS device on the second region wherein the second MOS device includes a second spacer liner. A first stressed film having a first thickness is formed over the first MOS device and directly on the first spacer liner. A second stressed film having a second thickness is formed over the second MOS device and directly on the second spacer liner. The first and the second stressed films may be formed of a same material.

摘要翻译： 半导体结构包括衬底和在衬底的第一区域上的第一MOS器件，其中第一MOS器件包括第一间隔衬垫。 半导体结构还包括在第二区域上的第二MOS器件，其中第二MOS器件包括第二间隔衬垫。 在第一MOS器件上形成具有第一厚度的第一应力膜，并直接在第一间隔衬垫上。 在第二MOS器件上形成具有第二厚度的第二应力膜，并且直接在第二间隔衬垫上。 第一和第二应力膜可以由相同的材料形成。

公开(公告)号：US07378308B2

公开(公告)日：2008-05-27

申请号：US11393369

申请日：2006-03-30

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Chih-Hsin Ko ,  Jyu-Horng Shieh ,  Baw-Ching Perng ,  Syun-Ming Jang

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Chih-Hsin Ko ,  Jyu-Horng Shieh ,  Baw-Ching Perng ,  Syun-Ming Jang

IPC分类号： H01L21/8238

CPC分类号： H01L21/823807 ,  H01L21/823864 ,  H01L29/7843 ,  Y10S438/981

摘要： A semiconductor structure includes a substrate, and a first MOS device on the first region of the substrate wherein the first MOS device includes a first spacer liner. The semiconductor structure further includes a second MOS device on the second region wherein the second MOS device includes a second spacer liner. A first stressed film having a first thickness is formed over the first MOS device and directly on the first spacer liner. A second stressed film having a second thickness is formed over the second MOS device and directly on the second spacer liner. The first and the second stressed films may be formed of a same material.

摘要翻译： 半导体结构包括衬底和在衬底的第一区域上的第一MOS器件，其中第一MOS器件包括第一间隔衬垫。 半导体结构还包括在第二区域上的第二MOS器件，其中第二MOS器件包括第二间隔衬垫。 在第一MOS器件上形成具有第一厚度的第一应力膜，并直接在第一间隔衬垫上。 在第二MOS器件上形成具有第二厚度的第二应力膜，并且直接在第二间隔衬垫上。 第一和第二应力膜可以由相同的材料形成。

公开(公告)号：US07400401B2

公开(公告)日：2008-07-15

申请号：US11096049

申请日：2005-03-31

申请人： Jang-Shiang Tsai ,  Peng-Fu Hsu ,  Baw-Ching Perng ,  Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Hun-Jan Tao

发明人： Jang-Shiang Tsai ,  Peng-Fu Hsu ,  Baw-Ching Perng ,  Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Hun-Jan Tao

IPC分类号： G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211

摘要： A method and system for determining the dielectric constant of a low-k dielectric film on a production substrate include measuring the electronic component of the dielectric constant using an ellipsometer, measuring the ionic component of the dielectric constant using an IR spectrometer, measuring the overall dielectric constant using a microwave spectrometer and deriving the dipolar component of the dielectric constant. The measurements and determination are non-contact and may be carried out on a production device that is further processed following the measurements.

摘要翻译： 用于确定制造基板上的低k电介质膜的介电常数的方法和系统包括使用椭偏仪测量介电常数的电子部件，使用IR光谱仪测量介电常数的离子分量，测量总电介质 使用微波光谱仪恒定并导出介电常数的偶极分量。 测量和确定是非接触的，并且可以在进行测量后进一步处理的生产设备上进行。

公开(公告)号：US20060220653A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：US11096049

申请日：2005-03-31

申请人： Jang-Shiang Tsai ,  Peng-Fu Hsu ,  Baw-Ching Perng ,  Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Hun-Jan Tao

发明人： Jang-Shiang Tsai ,  Peng-Fu Hsu ,  Baw-Ching Perng ,  Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Hun-Jan Tao

IPC分类号： G01R31/00 ,  G01N21/00 ,  G01J4/00

CPC分类号： G01N21/211

摘要： A method and system for determining the dielectric constant of a low-k dielectric film on a production substrate include measuring the electronic component of the dielectric constant using an ellipsometer, measuring the ionic component of the dielectric constant using an IR spectrometer, measuring the overall dielectric constant using a microwave spectrometer and deriving the dipolar component of the dielectric constant. The measurements and determination are non-contact and may be carried out on a production device that is further processed following the measurements.

摘要翻译： 用于确定制造基板上的低k电介质膜的介电常数的方法和系统包括使用椭偏仪测量介电常数的电子部件，使用IR光谱仪测量介电常数的离子分量，测量总电介质 使用微波光谱仪恒定并导出介电常数的偶极分量。 测量和确定是非接触的，并且可以在进行测量后进一步处理的生产设备上进行。

公开(公告)号：US20080122107A1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：US11534553

申请日：2006-09-22

申请人： Jang-Shiang Tsai ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Wang Hsu ,  De-Fang Chen ,  Chia-Hui Lin ,  Syun-Ming Jang

发明人： Jang-Shiang Tsai ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Wang Hsu ,  De-Fang Chen ,  Chia-Hui Lin ,  Syun-Ming Jang

IPC分类号： H01L23/52 ,  H01L21/311

CPC分类号： H01L21/31144 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76811

摘要： A method of forming an opening on a low-k dielectric layer using a polysilicon hard mask rather than a metal hard mask as used in prior art. A polysilicon hard mask is formed over a low-k dielectric layer and a photoresist layer is formed over the polysilicon hard mask. The photoresist layer is patterned and the polysilicon hard mask is etched with a gas plasma to create exposed portions of the low-k dielectric layer. The photoresist layer in stripped prior to the etching of the exposed portions of the low-k dielectric layer to avoid damage to the low-k dielectric layer.

摘要翻译： 使用现有技术中使用的多晶硅硬掩模而不是金属硬掩模在低k电介质层上形成开口的方法。 在低k电介质层上形成多晶硅硬掩模，并且在多晶硅硬掩模上形成光致抗蚀剂层。 对光致抗蚀剂层进行构图，并用气体等离子体蚀刻多晶硅硬掩模以产生低k电介质层的暴露部分。 在蚀刻低k电介质层的暴露部分之前剥离的光致抗蚀剂层，以避免损坏低k电介质层。

公开(公告)号：US07271448B2

公开(公告)日：2007-09-18

申请号：US11057423

申请日：2005-02-14

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Hun-Jan Tao ,  Chang-Yun Chang ,  Zhong Tang Xuan ,  Sheng-Da Liu

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Hun-Jan Tao ,  Chang-Yun Chang ,  Zhong Tang Xuan ,  Sheng-Da Liu

IPC分类号： H01L29/94

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/78687

摘要： A multiple gate region FET device for forming up to 6 FET devices and method for forming the same, the device including a multiple fin shaped structure comprising a semiconductor material disposed on a substrate; said multiple fin shaped structure comprising substantially parallel spaced apart sidewall portions, each of said sidewall portions comprising major inner and outer surfaces and an upper surface; wherein, each of said surfaces comprises a surface for forming an overlying field effect transistor (FET).

摘要翻译： 一种用于形成多达6个FET器件的多栅极区域FET器件及其形成方法，该器件包括多个鳍状结构，其包括设置在衬底上的半导体材料; 所述多个鳍状结构包括基本上平行的间隔开的侧壁部分，每个所述侧壁部分包括主要内表面和外表面以及上表面; 其中，每个所述表面包括用于形成上覆场效应晶体管（FET）的表面。

公开(公告)号：US20060154478A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：US11035325

申请日：2005-01-12

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Peng-Fu Hsu ,  Hun-Jan Tao

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Yi-Nien Su ,  Peng-Fu Hsu ,  Hun-Jan Tao

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/76802 ,  H01L21/76835

摘要： Methods and structures for forming a contact hole structure are disclosed. These methods first form a substantially silicon-free material layer over a substrate. A material layer is formed over the substantially silicon-free material layer. A contact hole is formed within the substantially silicon-free material layer and the material layer without substantially damaging the substrate. In addition, a conductive layer is formed in the contact hole so as to form a contact structure.

摘要翻译： 公开了形成接触孔结构的方法和结构。 这些方法首先在衬底上形成基本上无硅的材料层。 在基本无硅材料层上形成材料层。 在基本无硅的材料层和材料层内形成接触孔，而基本上不损坏衬底。 此外，在接触孔中形成导电层以形成接触结构。

公开(公告)号：US20060063322A1

公开(公告)日：2006-03-23

申请号：US10946494

申请日：2004-09-21

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Chien Chiang

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Chien Chiang

IPC分类号： H01L21/8238 ,  H01L21/302

CPC分类号： H01L29/66553 ,  H01L21/28079 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/495 ,  H01L29/4975 ,  H01L29/517 ,  H01L29/518 ,  H01L29/66583

摘要： A semiconductor device provides a gate structure that includes a conductive portion and a high-k dielectric material formed beneath and along sides of the conductive material. An additional gate dielectric material such as a gate oxide may be used in addition to the high-k dielectric material. The method for forming the structure includes forming an opening in an organic material, forming the high-k dielectric material and a conductive material within the opening and over the organic material then using chemical mechanical polishing to remove the high-k dielectric material and conductive material from regions outside the gate region.

摘要翻译： 半导体器件提供了一种栅极结构，其包括在导电材料的下面和沿着导电材料的侧面形成的导电部分和高k电介质材料。 除了高k电介质材料之外，可以使用诸如栅极氧化物的附加栅极介电材料。 形成结构的方法包括在有机材料中形成开口，在开口内和有机材料上形成高k电介质材料和导电材料，然后使用化学机械抛光去除高k电介质材料和导电材料 从门区域外的区域。

公开(公告)号：US20050258499A1

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：US11190913

申请日：2005-07-28

申请人： Yi-Chun Huang ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Wang Hsu

发明人： Yi-Chun Huang ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Wang Hsu

IPC分类号： H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/336 ,  H01L21/60 ,  H01L29/06 ,  H01L29/76 ,  H01L31/062

CPC分类号： H01L21/28052 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/665 ,  H01L29/6659

摘要： Semiconductor devices and methods for fabricating the same. The semiconductor device includes a resistance-reduced transistor with metallized bilayer overlying source/drain regions and gate electrode thereof. A first dielectric layer with a conductive contact overlies the resistance-reduced transistor. A second dielectric layer having a first conductive feature overlies the first dielectric layer. A third dielectric layer with a second conductive feature overlies the second dielectric layer, forming a conductive pathway down to the top surface of the metallized bilayer over one of the source/drain regions or the gate electrode layer.

摘要翻译： 半导体器件及其制造方法。 半导体器件包括具有覆盖源极/漏极区域的金属化双层的电阻降低的晶体管及其栅电极。 具有导电接触的第一介电层覆盖电阻减小的晶体管。 具有第一导电特征的第二介电层覆盖在第一介电层上。 具有第二导电特征的第三电介质层覆盖在第二电介质层上，在源极/漏极区域或栅极电极层之一上形成向下至金属化双层的顶表面的导电通路。

公开(公告)号：US07179701B2

公开(公告)日：2007-02-20

申请号：US10946494

申请日：2004-09-21

申请人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Chien Chiang

发明人： Ju-Wang Hsu ,  Jyu-Horng Shieh ,  Ju-Chien Chiang

IPC分类号： H01L21/8238 ,  H01L21/336

CPC分类号： H01L29/66553 ,  H01L21/28079 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/495 ,  H01L29/4975 ,  H01L29/517 ,  H01L29/518 ,  H01L29/66583

摘要： A semiconductor device provides a gate structure that includes a conductive portion and a high-k dielectric material formed beneath and along sides of the conductive material. An additional gate dielectric material such as a gate oxide may be used in addition to the high-k dielectric material. The method for forming the structure includes forming an opening in an organic material, forming the high-k dielectric material and a conductive material within the opening and over the organic material then using chemical mechanical polishing to remove the high-k dielectric material and conductive material from regions outside the gate region.

摘要翻译： 半导体器件提供了一种栅极结构，其包括在导电材料的下面和沿着导电材料的侧面形成的导电部分和高k电介质材料。 除了高k电介质材料之外，可以使用诸如栅极氧化物的附加栅极介电材料。 形成结构的方法包括在有机材料中形成开口，在开口内和有机材料上形成高k电介质材料和导电材料，然后使用化学机械抛光去除高k电介质材料和导电材料 从门区域外的区域。