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    System for patterning flexible foils
    4.
    发明授权
    System for patterning flexible foils 有权
    柔性箔图案系统

    公开(公告)号：US08570491B2

    公开(公告)日：2013-10-29

    申请号：US12919966

    申请日：2009-02-27

    申请人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Maria Peter ,  Peter Theodorus Maria Giesen ,  Wilhelmus Johannes Maria de Laat

    发明人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Maria Peter ,  Peter Theodorus Maria Giesen ,  Wilhelmus Johannes Maria de Laat

    IPC分类号： G03B27/58 ,  G03B27/42 ,  G03B27/32 ,  G03F7/20 ,  B23Q3/154

    CPC分类号： G03F7/707 ,  B23Q3/1546 ,  B32B38/1825 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70783

    摘要： According to one aspect, the invention provides a table for compensating deformation in flexible foils (1) The table comprises a supportive base (2) and a deformation compensation system (3). This system comprises a plurality of movable elements (4), supported by the base (2), wherein the movable elements form a surface for supporting the flexible foil. The movable elements comprise clamps (6) for clamping the foil (5). The movable elements (4) are individually movable parallel to the surface for supporting the foil, so as to stretch the clamped foil into a predefined shape. The table for compensating deformation in flexible foils may be used in a manufacturing process of flexible functional foils to compensate deformation of the foils during sequential patterning.

    摘要翻译： 根据一个方面，本发明提供了一种用于补偿柔性箔中的变形的表（1）。该表包括支撑基座（2）和变形补偿系统（3）。 该系统包括由基部（2）支撑的多个可移动元件（4），其中可移动元件形成用于支撑柔性箔片的表面。 可移动元件包括用于夹紧箔片（5）的夹具（6）。 可移动元件（4）能够平行于用于支撑箔片的表面移动，从而将夹持的箔片拉伸成预定形状。 用于补偿柔性箔中的变形的表可以用于柔性功能箔的制造过程中，以在顺序图案化期间补偿箔的变形。

    SYSTEM FOR PATTERNING FLEXIBLE FOILS
    5.
    发明申请
    SYSTEM FOR PATTERNING FLEXIBLE FOILS 有权
    用于绘制柔性纤维的系统

    公开(公告)号：US20110261336A1

    公开(公告)日：2011-10-27

    申请号：US12919966

    申请日：2009-02-27

    申请人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Maria Peter ,  Peter Theodorus Maria Giesen ,  Wilhelmus Johannes Maria Da Laat

    发明人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Maria Peter ,  Peter Theodorus Maria Giesen ,  Wilhelmus Johannes Maria Da Laat

    IPC分类号： G03B27/42

    CPC分类号： G03F7/707 ,  B23Q3/1546 ,  B32B38/1825 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70783

    摘要： According to one aspect, the invention provides a table for compensating deformation in flexible foils (1) The table comprises a supportive base (2) and a deformation compensation system (3). This system comprises a plurality of movable elements (4), supported by the base (2), wherein the movable elements form a surface for supporting the flexible foil. The movable elements comprise clamps (6) for clamping the foil (5). The movable elements (4) are individually movable parallel to the surface for supporting the foil, so as to stretch the clamped foil into a predefined shape. The table for compensating deformation in flexible foils may be used in a manufacturing process of flexible functional foils to compensate deformation of the foils during sequential patterning.

    摘要翻译： 根据一个方面，本发明提供了一种用于补偿柔性箔中的变形的表（1）。该表包括支撑基座（2）和变形补偿系统（3）。 该系统包括由基部（2）支撑的多个可移动元件（4），其中可移动元件形成用于支撑柔性箔片的表面。 可移动元件包括用于夹紧箔片（5）的夹具（6）。 可移动元件（4）能够平行于用于支撑箔片的表面移动，从而将夹持的箔片拉伸成预定形状。 用于补偿柔性箔中的变形的表可以用于柔性功能箔的制造过程中，以在顺序图案化期间补偿箔的变形。

    Scanned writing of an exposure pattern on a substrate having a spot size modulator and dual motor for moving the substrate table and a laser spot relative to each other
    6.
    发明授权
    Scanned writing of an exposure pattern on a substrate having a spot size modulator and dual motor for moving the substrate table and a laser spot relative to each other 有权
    在具有点尺寸调制器和双电机的基板上扫描曝光图案，用于移动基板台和相对于彼此的激光点

    公开(公告)号：US08319174B2

    公开(公告)日：2012-11-27

    申请号：US12669253

    申请日：2008-07-15

    申请人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Peter Theodorus Maria Giesen

    发明人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Peter Theodorus Maria Giesen

    IPC分类号： H01J3/14

    CPC分类号： H01J3/14 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70466

    摘要： An exposure pattern is written on a substrate, by scanning a light spot along a trajectory over the substrate and switching it on and off according to a desired pattern. Respective spot sizes of the light for illuminating the substrate in respective parts of the trajectory according to a geometry of the pattern. Respective pitch values between successive ones of the parts of the trajectory are selected, in relation to the spot size selected for the respective parts. The light spot is scanned over the substrate along the trajectory, with the selected pitch values between the trajectory parts and a position dependent spot size along the trajectory. In an embodiment a helical trajectory is used.

    摘要翻译： 通过沿着基板上的轨迹扫描光点并根据期望的图案将其打开和关闭来将曝光图案写入基板。 用于根据图案的几何形状在轨迹的各个部分中照射基底的光的各个斑点尺寸。 相对于为各个部分选择的光斑尺寸，选择轨迹的连续部分之间的相对间距值。 沿着轨迹将光点扫描在基板上，轨迹部分之间的所选间距值和沿着轨迹的位置相关光点尺寸。 在一个实施例中，使用螺旋轨迹。

    SCANNED WRITING OF AN EXPOSURE PATTERN ON A SUBSTRATE
    7.
    发明申请
    SCANNED WRITING OF AN EXPOSURE PATTERN ON A SUBSTRATE 有权
    在基板上扫描曝光图案

    公开(公告)号：US20100195073A1

    公开(公告)日：2010-08-05

    申请号：US12669253

    申请日：2008-07-15

    申请人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Peter Theodorus Maria Giesen

    发明人： Erwin Rinaldo Meinders ,  Peter Theodorus Maria Giesen

    IPC分类号： G03B27/54

    CPC分类号： H01J3/14 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70466

    摘要： An exposure pattern is written on a substrate, by scanning a light spot along a trajectory over the substrate and switching it on and off according to a desired pattern. Respective spot sizes of the light for illuminating the substrate in respective parts of the trajectory according to a geometry of the pattern. Respective pitch values between successive ones of the parts of the trajectory are selected, in relation to the spot size selected for the respective parts. The light spot is scanned over the substrate along the trajectory, with the selected pitch values between the trajectory parts and a position dependent spot size along the trajectory. In an embodiment a helical trajectory is used.

    摘要翻译： 通过沿着基板上的轨迹扫描光点并根据期望的图案将其打开和关闭来将曝光图案写入基板。 用于根据图案的几何形状在轨迹的各个部分中照射基底的光的各个斑点尺寸。 相对于为各个部分选择的光斑尺寸，选择轨迹的连续部分之间的相对间距值。 沿着轨迹将光点扫描在基板上，轨迹部分之间的所选间距值和沿着轨迹的位置相关光点尺寸。 在一个实施例中，使用螺旋轨迹。

    Method for forming a multi-level surface on a substrate with areas of different wettability and a semiconductor device having the same
    8.
    发明授权
    Method for forming a multi-level surface on a substrate with areas of different wettability and a semiconductor device having the same 有权
    在具有不同润湿性的区域的基板上形成多层表面的方法和具有该多层表面的半导体器件

    公开(公告)号：US08895438B2

    公开(公告)日：2014-11-25

    申请号：US13129260

    申请日：2009-11-13

    申请人： Maria Peter ,  Erwin Rinaldo Meinders

    发明人： Maria Peter ,  Erwin Rinaldo Meinders

    IPC分类号： H01L21/44 ,  B82Y40/00 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/00 ,  B29C59/02 ,  B29C35/08

    CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

    摘要： The invention relates to a method 10 for forming a multi-level surface on a substrate 2, wherein said surface comprises areas of different wettability, the method comprising the step (A, B) of applying a multi-level stamp to the substrate for forming the multi-level surface, said multi-level stamp having different structural regions 1a arranged along the multi-level surface for locally altering wettability properties of at least a portion of a level of the multi-level surface 2a, 2b. The invention further relates to a semiconductor device and a method for manufacturing a semiconductor device.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于在基底2上形成多层表面的方法10，其中所述表面包括不同润湿性的区域，该方法包括将多层印模施加到基底上用于成形的步骤（A，B） 所述多层表面具有沿多层表面布置的不同结构区域1a，用于局部地改变多层表面2a，2b的至少一部分的润湿性能。 本发明还涉及半导体器件和半导体器件的制造方法。

    DATA RECORDING WRITE STRATEGY OPTIMISATION
    9.
    发明申请
    DATA RECORDING WRITE STRATEGY OPTIMISATION 审中-公开
    数据记录写策略优化

    公开(公告)号：US20090022048A1

    公开(公告)日：2009-01-22

    申请号：US10596502

    申请日：2004-12-15

    申请人： Gerardus Rudolph Langereis ,  Erwin Rinaldo Meinders ,  Joachim Wilhelm Hellmig

    发明人： Gerardus Rudolph Langereis ,  Erwin Rinaldo Meinders ,  Joachim Wilhelm Hellmig

    IPC分类号： G11B5/02

    CPC分类号： G11B20/10009

    摘要： The present invention relates to determining at least one write strategy, using a write strategy model comprising first and second parameters, for recording data on a recording medium comprising, providing at least one set of randomised first parameters, (102, step 202), writing at least one test data, 104, pattern by using said at least one set of first randomised first parameters, (102), (106, step 204), reading the recorded test data pattern, (108, step 206) and calculating a set of second parameters, (114),(112, step 208), based on said read test data pattern (110) and the at least one set of first randomised parameters, (102). From the calculated set of second parameters, (114) and the real data to be recorded, 118, sets of first parameters (120) are calculated, (step 210). The real data (118) are recorded (122, step 212) by using the chosen write strategy model.

    摘要翻译： 本发明涉及使用包括第一和第二参数的写入策略模型来确定至少一个写入策略，用于在记录介质上记录数据，包括提供至少一组随机的第一参数（102，步骤202），写入 通过使用所述至少一组第一随机化第一参数，（102），（106，步骤204），读取所记录的测试数据模式，（108，步骤206）和计算一组 （114），（112，步骤208），基于所述读取测试数据模式（110）和所述至少一组第一随机化参数（102）。 从计算出的第二参数集合（114）和要记录的实际数据118计算第一参数集合（120）（步骤210）。 通过使用所选择的写入策略模型来记录实际数据（118）（122，步骤212）。

    Apparatus and method for recording an information on a recordable optical record carrier using oval spot profile
    10.
    发明授权
    Apparatus and method for recording an information on a recordable optical record carrier using oval spot profile 失效
    使用椭圆形光斑轮廓在可记录光学记录载体上记录信息的装置和方法

    公开(公告)号：US07397734B2

    公开(公告)日：2008-07-08

    申请号：US10537065

    申请日：2003-11-06

    申请人： Hubert Cécile François Martens ,  Erwin Rinaldo Meinders

    发明人： Hubert Cécile François Martens ,  Erwin Rinaldo Meinders

    IPC分类号： G11B7/00

    CPC分类号： B82Y10/00 ,  G11B7/1369 ,  G11B7/139 ,  G11B7/1398

    摘要： A method and a corresponding apparatus for recording an information on a recordable optical record carrier (2) by irradiation of a light beam through an optical system (3-7) onto said record carrier (2) for forming marks and lands representing said information along an information recording direction (t), obtains a higher recording density, and thus higher data capacity, by using astigmatism for influencing the light beam from the light source (8) to the record carrier (2) during recording of information so as to obtain a light beam having a substantially oval spot profile having a shorter axis in the information recording direction (t), i.e., the tangential direction for an optical disc, compared to the direction (r) orthogonal thereto, i.e., the radial direction.

    摘要翻译： 一种用于通过将光束通过光学系统（3-7）照射到所述记录载体（2）上来记录可记录光学记录载体（2）上的信息的方法和相应装置，用于形成表示所述信息的标记和平台 信息记录方向（t）通过在记录信息期间通过使用用于影响从光源（8）到记录载体（2）的光束的散光来获得更高的记录密度，从而获得更高的数据容量，从而获得 与沿其正交的方向（r）相比，具有在信息记录方向（t）上具有较短轴线的基本上椭圆形的光斑轮廓，即光盘的切线方向。