OPTICAL MEMBER MADE OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS, AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION
    51.
    发明申请
    OPTICAL MEMBER MADE OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS, AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION 审中-公开
    合成石英玻璃的光学部件及其生产工艺

    公开(公告)号:WO2005105685A1

    公开(公告)日:2005-11-10

    申请号:PCT/JP2005/007281

    申请日:2005-04-08

    IPC分类号: C03C3/06

    摘要: To reduce the change in the refractive index of an irradiated portion of synthetic quartz glass, caused by the irradiation with a high energy light emitted from a light source such as a KrF excimer laser or an ArF excimer laser. A process for producing an optical member made of synthetic quartz glass, wherein the OH group concentration of the optical member is set depending upon the energy density of the laser beam employed, to adjust the ratio R (KJ/cm 2 .ppb) -1 of the change in the refractive index of the optical member to the cumulative irradiation energy (KJ/cm 2 ) by the laser, to be 0≤R≤0.2, thereby to control the change in the refractive index of the optical member made of synthetic quartz glass by the irradiation with a laser beam to be within a predetermined range.

    摘要翻译: 为了减少由诸如KrF准分子激光器或ArF准分子激光器的光源发射的高能量光的照射引起的合成石英玻璃的照射部分的折射率的变化。 一种制造由合成石英玻璃制成的光学部件的方法,其中根据所使用的激光束的能量密度设置光学部件的OH基浓度,以调节比率R(KJ / cm 2) 光学构件的折射率相对于激光的累积照射能量(KJ / cm 2)的变化的<-1>为0≤R≤0.2,从而控制折射率的变化 通过用激光束照射由合成石英玻璃制成的光学构件的折射率在预定范围内。

    光ファイバ母材の製造方法、光ファイバの製造方法、および、光ファイバ
    53.
    发明申请
    光ファイバ母材の製造方法、光ファイバの製造方法、および、光ファイバ 审中-公开
    用于生产光纤预制件的方法,用于生产光纤和光纤的方法

    公开(公告)号:WO2005014498A1

    公开(公告)日:2005-02-17

    申请号:PCT/JP2004/011431

    申请日:2004-08-03

    IPC分类号: C03B37/018

    摘要:  所望の屈折率プロファイルを得るとともにOH基の吸収に起因する損失の増加を抑制することのできる光ファイバ母材と光ファイバの製造方法、および、この光ファイバの製造方法により製造された光ファイバを提供する。外径が20 mm以上150 mm以下であり、肉厚が2 mm以上8 mm以下であるシリカガラス製の出発パイプの内側に、フッ素、ゲルマニウム、リン、塩素のいずれかを含むコアとなるガラス層およびクラッドとなるガラス層を内付け法により堆積させコアとなるガラス層を有するパイプとし、このパイプを中実化して、表面から深さ1mmまでの部分に存在する水酸基の濃度が10重量ppm以下であるガラスロッドとする。

    摘要翻译: 可以抑制光纤预制体和光纤的制造方法,其中不仅可以获得所需的折射率分布,而且还可以抑制由OH基吸收引起的任何损耗增加; 以及通过该光纤制造方法制造的光纤。 外径为20〜150mm,厚度为2〜8mm的二氧化硅玻璃起始管,含有氟,锗,磷,氯中的任意一种,芯层形成玻璃层和包覆层形成玻璃层, 该管根据内部沉积方法从而获得具有芯玻璃层的管。 管子被处理成具有固体核心的管子。 因此,获得玻璃棒,其中存在于从表面延伸至1mm深度的区域中的羟基浓度为10重量ppm以下。

    SOL-GEL PROCESS FOR THE PRODUCTION OF GLASSY ARTICLES
    55.
    发明申请
    SOL-GEL PROCESS FOR THE PRODUCTION OF GLASSY ARTICLES 审中-公开
    用于生产玻璃制品的溶胶凝胶工艺

    公开(公告)号:WO2004063105A1

    公开(公告)日:2004-07-29

    申请号:PCT/EP2003/014759

    申请日:2003-12-23

    IPC分类号: C03C1/00

    摘要: Glassy articles are prepared by subjecting to hydrolysis and policondensation a solution or suspension of a suitable precursor, mainly comprising a silicon alkoxide, and by drying the obtained gel in a pressure chamber, the gel solvent having been substituted by a non-protic solvent, mainly acetone, under nitrogen flowing, at temperature and pressure conditions lower than the gel solvent critical values. The dried gel is then densified by a thermal treatment.

    摘要翻译: 玻璃制品通过对主要包含硅醇盐的合适前体的溶液或悬浮液进行水解和缩聚,并通过在压力室中干燥获得的凝胶来制备,凝胶溶剂已被非质子溶剂代替,主要 丙酮,在氮气流下,在低于凝胶溶剂临界值的温度和压力条件下。 然后将干燥的凝胶通过热处理致密化。

    光学部材用合成石英ガラス、投影露光装置および投影露光方法
    56.
    发明申请
    光学部材用合成石英ガラス、投影露光装置および投影露光方法 审中-公开
    用于光学部件的合成石英玻璃,投影曝光装置和投影曝光方法

    公开(公告)号:WO2003091175A1

    公开(公告)日:2003-11-06

    申请号:PCT/JP2003/005193

    申请日:2003-04-23

    IPC分类号: C03C3/06

    摘要: ArFエキシマレーザ光を光源とする光学装置内でエネルギー密度2mJ/cm 2 /pulse以下にて使用されるか、あるいはKrFエキシマレーザ光を光源とする光学装置内でエネルギー密度30mJ/cm 2 /pulse以下にて使用される光学部材用合成石英ガラスにおいて、水素分子濃度が1×10 16 分子/cm 3 以上5×10 16 分子/cm 3 未満の範囲内にあることを特徴とする光学部材用合成石英ガラス。

    摘要翻译: 用于光学构件的合成石英玻璃用于具有ArF准分子激光器作为能量密度为2mJ / cm 2 /脉冲或更低的光源的光学装置中,或者在具有KrF准分子激光器作为光源的光学装置中 能量密度为30mJ / cm 2 /脉冲以下。 用于光学构件的合成石英玻璃的特征在于氢分子浓度在1×10 16分子/ cm 3以上且小于5×10 16分子/ cm 3的范围内, 3>。

    GERMANIUM-FREE SILICATE WAVEGUIDE COMPOSITIONS FOR ENHANCED L-BAND AND S-BAND EMISSION AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
    59.
    发明申请
    GERMANIUM-FREE SILICATE WAVEGUIDE COMPOSITIONS FOR ENHANCED L-BAND AND S-BAND EMISSION AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE 审中-公开
    用于增强L带和S带排放的无锗硅酸盐波长组合物及其制造方法

    公开(公告)号:WO03057643A2

    公开(公告)日:2003-07-17

    申请号:PCT/US0238303

    申请日:2002-12-03

    摘要: A method for manufacturing an optical fiber and the resulting article. The method including the steps of: providing a substrate tube; depositing high purity silica-based cladding layers on the inside of the tube; depositing a germanium-free core comprising a glass including silica, and oxides of Al, La, Er, and Tm; collapsing the substrate tube to form a preform; and drawing the preform to yield an optical fiber. A germanium-free co-doped silicate optical waveguide in accordance with the present invention includes a core material comprising silica, aluminum, lanthanum, erbium and thulium, wherein the concentration of Er is from 15 ppm to 3000 ppm; Al is from 0.5 mol% to 15 mol%; La is less than 2 mol%; and Tm is from 150 ppm to 10000 ppm. In an exemplary specific embodiment the concentration of Al is from 4 mol% to 10 mol%; and the concentration of Tm is from 150 ppm to 3000 ppm. The core may further include F. In an exemplary embodiment, the concentration of F is less than or equal to 6 mol%. The waveguide may be an optical fiber, a shaped fiber or other light-guiding waveguides. An amplifier according to the present invention includes the optical fiber described above.

    摘要翻译: 一种制造光纤的方法和所得到的制品。 该方法包括以下步骤:提供衬底管; 在管的内侧沉积高纯度的二氧化硅基包覆层; 沉积包含二氧化硅的玻璃和Al,La,Er和Tm的氧化物的无锗芯; 塌缩基材管以形成预制件; 并拉伸预成型件以产生光纤。 根据本发明的无锗的共掺硅酸盐光波导包括含有二氧化硅,铝,镧,铒和and的核心材料,其中Er的浓度为15ppm至3000ppm; Al为0.5摩尔%〜15摩尔%。 La小于2mol%; Tm为150ppm〜10000ppm。 在一个示例性具体实施方案中,Al的浓度为4mol%至10mol%; Tm的浓度为150ppm〜3000ppm。 芯可以进一步包括F.在一个示例性实施方案中,F的浓度小于或等于6mol%。 波导可以是光纤,成形光纤或其他导光波导。 根据本发明的放大器包括上述光纤。