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公开(公告)号：WO2009057268A1
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：PCT/JP2008/003041
申请日：2008-10-27
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
IPC: B05D3/00 , B05C5/00 , B05D1/26 , G02F1/13 , G02F1/1341
CPC classification number: B41J13/0027 , B41J3/28 , G02F1/1341 , G02F2001/13415
Abstract: 課題：ノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら液体材料の滴下を行う技術において、ノズルの移動速度を高速化し、生産性を向上することができる液体材料の滴下方法およびプログラム並びに装置の提供。 解決手段：滴下点を有するワークを基板上に複数配列し、複数のワーク上を吐出装置の有するノズルが直線経路で複数回縦断または横断するようノズルと基板とを一定速度で相対移動させながら吐出装置に吐出信号を送信して液体材料を滴下する方法であって、 直線経路毎に滴下点間の最短距離（Ｌ０）が異なる場合に、一の直線経路における滴下点間の最短距離（Ｌ０）と、吐出装置が一の吐出をするのに要する時間（ｆ０）とを算出し、Ｌ０／ｆ０に基づき走査経路毎にノズルと基板の相対移動速度を設定することを特徴とする液体材料の滴下方法および当該方法を実施するための装置。
Abstract translation: 本发明提供一种方法，程序和装置，用于通过相对移动喷嘴和基板以固定速度滴下液体材料，以提高喷嘴移动速度并提高生产率。 解决问题的方法在一种方法中，将多个具有滴点的工件布置在基板上，在将放电装置的喷嘴和基板以一定的方式相对移动的同时，将放电信号传送到放电装置 固定速度在线性路径上在工件上纵向横移或横向横移多次，并且液体材料掉落。 在滴点之间的最短距离（L0）以线性路径变化的情况下，一条直线路径上的滴点之间的最短距离（L0）与放电装置进行一次放电所需的时间（f0） 并且基于L0 / f0的值，针对每个扫描路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。 还提供了一种用于实现这种方法的装置。
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公开(公告)号：WO2010001608A1
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：PCT/JP2009/003064
申请日：2009-07-02
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L21/563 , H01L24/743 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2924/01004
Abstract: 課題：塗布作業の前後を通じて、半導体チップの載置された基板の温度変化を小さくし、接続部の破壊を防ぐことができる基板加熱装置、それを備える塗布装置および基板加熱方法の提供。 解決手段：一の方向に搬送され、搬送の途中でその上に配置されたワークに対し塗布作業が行われる基板を下方から加熱するための基板加熱装置であって、前記基板の底面に当接し、基板を加熱する平らな上面、および、該上面に形成され、前記基板の底面に加熱用気体を噴出する噴出用開口を具備する加熱部材と、加熱部材を昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする基板加熱装置、それを備える液体材料塗布装置および基板加熱方法。
Abstract translation: 提供一种基板加热装置，其降低了基板的温度变化，由此安装半导体芯片，并且防止了在施加操作之前和之后连接部分的断裂。 还提供了一种设置有这种基板加热装置和基板加热方法的涂布装置。 基板加热装置用于从下方加热基板。 基板沿一个方向转印，并且在基板被转印时，对布置在基板上的工件进行施加操作。 基板加热装置设置有加热部件，该加热部件具有与基板的底面抵接的平坦的上表面，用于加热基板;以及喷射口，形成在上表面上，用于将加热气体喷射到 基质。 基板加热装置还设置有用于升高加热构件的升降机构。 还提供了设置有这种基板加热装置的液体材料施加装置和基板加热方法。
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公开(公告)号：WO2009044524A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/JP2008/002705
申请日：2008-09-29
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C5/0216 , B05C5/0225 , B05C11/1005
Abstract: 課題：液体材料の応答時間の遅れや経時的な粘度の変化などの問題を予め多数の制御データを準備しなくとも解消することができる液体材料の塗布装置、塗布方法およびプログラムの提供。 解決手段：ワークと、ワークと対向するスクリュー式ディスペンサを一定速度で相対移動させ、液体材料の吐出量を非一定で連続塗布するにあたり、塗布開始前に吐出量を変化させる際の応答遅れ時間を算出する応答時間算出工程を有する塗布方法であって、応答時間算出工程は、移動速度を一定とした塗布の途中でディスペンサに吐出量を変化させる信号を送信し、その時間を記憶する第１工程と、塗布された液体材料を計測することで吐出量の変化開始時間を算出し、その時間を記憶する第２工程と、第１工程で記憶した時間と第２工程で記憶した時間との差分値を吐出量を変化させる際の応答遅れ時間として記憶する第３工程と、を有する液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム。
Abstract translation: [问题]用于解决问题的液体材料施加器，施加方法和程序，即液体材料的响应时间的延迟和粘度随时间的变化而不需要准备大量的控制数据。 解决问题的方法一种液体材料施加方法，用于在将工件和螺旋分配器以一定的速度相对移动的同时，通过与工件相对的螺钉分配器将液体材料连续地施加到工件上，同时分配非液体材料的量 -constantly。 该方法包括响应时间计算步骤，用于计算在施用之前分配的液体材料的量变化时的响应延迟时间。 响应时间计算步骤包括：第一子步骤，在移动速度恒定并且存储时间的应用期间发送用于改变分配给分配器的液体材料量的信号的信号;计算时间的第二子步骤 当通过测量施加的液体材料并存储时间来开始分配的液体材料的量的变化，并且存储第一子步骤和第二子步骤之间存储的时间之间的差的第三子步骤， 作为当分配的液体材料的量变化时的响应延迟时间的步骤。 还提供了涂抹器和程序。
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公开(公告)号：WO2008146472A1
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：PCT/JP2008/001279
申请日：2008-05-22
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
Abstract: 課題：作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる作業装置の提供。 解決手段：作業者が進入可能な第一の方向に延出された通路を有する架台と、前記架台の上方で第一の方向と異なる第二の方向に延伸されたフレームと、前記通路を含む架台上を第一の方向に移動自在に構成されたテーブルと、前記テーブルと対向してフレームに配設され、第二の方向に移動自在の作業ヘッドとを備え、前記テーブルと前記作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置。
Abstract translation: [问题]提供一种能够容易地维护工作头并执行维护而不损害清洁的工作装置。 解决问题的手段本台架工作装置包括具有沿着工人可以接近的第一方向延伸的通道的搁板，在其余部分上延伸的框架和在与第一方向不同的第二方向上延伸的桌子， 其余的第一方向具有通道，并且工作头设置在与桌子相对的框架上并可在第二方向上移动。 工作台和工作头相对于彼此移动，从而可以将期望的工件施加到放置在工作台上的工件上。
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公开(公告)号：WO2008126420A1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/JP2008/000952
申请日：2008-04-11
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: B41J2/1707 , B41J2/16508 , B41J2/16532 , B41J2/16552 , B41J2/175 , B41J3/28
Abstract: 課題 インクの吐出性能を回復させノズル抜けが発生しない良好な塗布ができるインクジェットヘッドのメンテナンスを実現する。 解決手段 インクジェットヘッド（１）と、インクジェットヘッドを着脱可能に保持するヘッド保持部材（２）と、液体供給路および加圧エア供給路と接続される切替機構（３）と、を備えた液体材料塗布装置の吐出ヘッドであって、前記切替機構（３）は、インクジェットヘッド（１）に、液体および加圧エアのいずれかを選択供給する。
Abstract translation: [问题]进行喷墨头维护以恢复喷墨性能并且优良地施加墨而不产生喷嘴去除。 用于解决问题的手段针对具有喷墨头（1）的液体材料施加装置，用于可拆卸地保持喷墨头的头部保持构件（2）和切换机构（ 3）连接到液体供应路径和加压空气供应路径。 切换机构（3）选择性地向喷墨头（1）供应液体或加压空气。
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公开(公告)号：WO2008126373A1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/JP2008/000787
申请日：2008-03-28
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: B05C11/1034 , B05C5/0237
Abstract: 課題：少ない量の液材の吐出が要求される条件下においても、良好な飛滴吐出を行うことができる、液材吐出装置および方法の提供。 解決手段：押出部材を高速前進することにより、液室内の液材の一部を吐出口から液滴の状態で吐出する液滴吐出方法であって、液材を吐出する吐出口を有する液室と、液室より幅狭のプランジャーおよび当接部を有し、プランジャーの先端部が液室内を進退動する押出部材と、押出部材のプランジャーと反対側に隣接して配設され、ピストンおよび当接部と対向する衝突部を有する衝突部材とを設け、前記衝突部を前記当接部に衝突させることにより、前記押出部材を高速前進させて液材を吐出することを特徴とする液滴吐出方法および当該方法を実施するための液材吐出装置。
Abstract translation: [问题]即使需要少量液体材料的排出，也能够优异地进行液滴放电的液体材料排出装置和方法。 解决问题的手段一种液滴排出方法，用于通过使挤出构件高速推进从排出口排出液体室中的液体材料的一部分。 用于执行该方法的液体材料排出装置具有液体室，该液体室具有用于排放液体材料的排放口，挤出构件具有柱塞和接触部分，该柱塞和接触部分的宽度比液体室的宽度窄，其中柱塞 前进和后退，以及设置在挤压构件的柱塞相对侧的碰撞构件，以与挤压构件相邻并且具有面向活塞和接触区段的碰撞区段。 当碰撞部分与接触部分碰撞时，挤出部件高速前进以排出液体材料。
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公开(公告)号：WO2009136492A1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：PCT/JP2009/001993
申请日：2009-05-07
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: H01L21/67326 , H01L24/48 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01087 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 課題：簡単な構造で、容易に位置決めすることができ、反りや曲がりを矯正した状態を保つことができる位置決め治具の提供。 解決手段：端部に素子固定部を有するリードと、前記リードを複数連設するタイバーとを備えてなるリードフレームの位置決め治具であって、前記リードが直立した状態で挿入され、前記リードフレームが狭着固定されるリードフレーム挿入用溝が形成された支持部材を有し、前記支持部材は、その上面が前記素子固定部の外側底部と当接する上部当接面を有することを特徴とするリードフレームの位置決め治具。
Abstract translation: 提供了一种对准夹具，其可以通过简单的结构容易地执行引线框架的对准，并且保持其引导框架的翘曲和弯曲被校正的状态。 夹具具有在端部具有元件固定部的引线，以及多个引线串联配置的连接杆。 夹具具有支撑构件，其具有形成在其上的引线框插入槽，用于将引线竖直插入并将引线框架固定在其中。 支撑构件具有上邻接表面，上表面邻接元件固定部分的外底部。
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公开(公告)号：WO2009104421A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2009/000750
申请日：2009-02-20
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: B05C5/0225 , B05C5/0233 , B05C5/0275 , B05C11/1015 , B05C11/1034 , B05C11/1039
Abstract: 塗布作業中における再吸引動作を、吐出精度を低下させることなく、最小限とする。 液体材料の貯留部（４０）と、プランジャー（３０・３１）が挿通される複数の計量部（３２・３３）と、プランジャー駆動装置（２０）と、各計量部（３２・３３）と一対一に対応する複数のノズル（５５・５６）と、を備え、計量部（３２・３３）へ充填した液体材料を複数回にわたって吐出する液体材料の吐出装置であって、前記プランジャー駆動装置（２０）が全てのプランジャー（３０・３１）を同時に進退移動させる一のプランジャー駆動装置で構成されている。
Abstract translation: 用于排出液体材料的装置，其中施加作业中的再吸入操作最小化而不降低排出精度。 用于排出液体材料的装置具有液体材料容纳部分（40），插入柱塞（30,31）的测量部分（32,33），柱塞驱动器（20）和具有喷嘴（55,56）的喷嘴 与测量部分（32,33）一一对应，并且放电装置多次放置放置在测量部分（32,33）中的液体材料。 排放装置使用单个柱塞驱动器（20）来同时推进和缩回所有柱塞（30,31）。
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公开(公告)号：WO2009104383A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/JP2009/000649
申请日：2009-02-18
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: B05B12/008 , B05B1/083 , H01L21/563 , H01L24/16 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/83 , H01L2224/16225 , H01L2224/16238 , H01L2224/27312 , H01L2224/2919 , H01L2224/32052 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/743 , H01L2224/83104 , H01L2224/83192 , H01L2224/92125 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 課題：複雑なパラメータの計算が不要であり、吐出部の移動速度に影響を及ぼすことがない液体材料の塗布方法、その装置およびそのプログラムの提供。 解決手段：ノズルとワークとを相対移動しながら液体材料をノズルから吐出し、ワークに対し規定した塗布量の液体材料を塗布する塗布方法において、吐出パルス信号および休止パルス信号を送信する回数を総パルス数として規定し、総パルス数のうち塗布量を達成するために必要な吐出パルス信号の数を規定し、残りを休止パルス信号として規定する初期パラメータ設定工程、予め設定した補正周期で、補正周期の時点におけるノズルからの吐出量を計測し、吐出量の補正量を算出する補正量算出工程、および、補正量算出工程で算出した補正量に基づき吐出パルス信号の数と休止パルス信号の数を調整する吐出量補正工程、とを含むことを特徴とする塗布方法、その装置並びにそのプログラム。
Abstract translation: 提供了一种用于施加液体材料的方法，其中不需要计算复杂参数，并且不影响喷射部件的移动速度，其装置及其程序。 一种涂布方法，其中，当喷嘴和工件相对于彼此移动并且工件涂覆有特定量的液体材料时，液体材料从喷嘴喷射，所述涂布方法包括以下步骤：初始参数 指定喷出脉冲信号和暂停脉冲信号的发送次数的设定步骤作为总脉冲数，规定为了达到施加量而在总脉冲数之外所需的喷出脉冲信号的数量， 余数被指定为暂停脉冲信号; 校正量计算步骤，其中在预设的校正周期中，测量在校正周期时从喷嘴的喷射量并计算校正喷射量; 以及喷射量校正步骤，其中基于在校正量计算步骤中计算的校正量来调整喷射脉冲信号的数量和暂停脉冲信号的数量。 一种设备及其程序。
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公开(公告)号：WO2008132833A1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/JP2008/001044
申请日：2008-04-22
Applicant: 武蔵エンジニアリング株式会社 , 生島和正
Inventor： 生島和正
CPC classification number: H01L21/6715 , B41J3/28 , B41J29/13
Abstract: 課題：作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる、作業装置および作業装置用カバーの提供。 解決手段：架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする作業装置および作業装置用カバー。
Abstract translation: 本发明提供一种可以容易地保持工作头并且可以进行维护而不会降低清洁度的工作装置和用于工作装置的盖子。 工作装置相对于彼此移动安装在托架和面对桌子的工作头上的工作台，从而对安装在工作台上的工件执行所需的工作。 该工作装置包括：设置在滑架上的多个支撑件，由支撑件支撑并沿第一方向延伸的框架;以及以第一方向可移动地布置在框架上的工作头。 工作装置和作业装置盖的特征在于，框架的端部部分延伸到托架的外边缘的外侧，并且工作头可以移动到外边缘的外侧 的马车。
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