Abstract:
Eine Halbleiterdiode weist eine ersten Halbleiterschicht (102) eines ersten Leitungstyps und eine zweite Halbleiterschicht eines zweiten Leitungstyps mit einer Dotierung auf. Die zweite Halbleiterschicht weist einen mit der ersten Halbleiterschicht verbundenen vertikalen Durchkontaktierungsbereich (106) auf, in der die Dotierung derart verändert ist, dass der Durchkontaktierungsbereich (106) den ersten Leitungstyp aufweist. Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Halbleiterdiode beschrieben.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist, wobei die strukturierte Oberfläche (11) zumindest stellenweise durch Erhebungen (E1, E2) erster (H1) und zweiter Höhe (H2) gebildet ist, wobei die erste Höhe (H1) größer ist als die zweite Höhe (H2); - Bereitstellen eines zweiten Wafers (3); - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Wafers (3); - Strukturieren der dem zweiten Wafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2), wobei die Erhebungen (E1, E2) als Gräben (G1, G2) erster und zweiter Tiefe in den Fotolack (2) abgedruckt werden; - Anwendung eines Strukturierungsverf ahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (30) des zweiten Wafers (3) übertragen wird.
Abstract:
Ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements mit Barrierenschichten zur Verkapselung des Bauelements umfasst insbesondere die Schritte: - Bereitstellen eines Substrats (1) mit zumindest einer funktionellen Schicht (22), - Aufbringen zumindest einer ersten Barrierenschicht (3) auf der funktionellen Schicht (22) mittels plasmaunterstützter Atomschichtenabscheidung (PEALD) und - Aufbringen zumindest einer zweiten Barrierenschicht (4) auf der funktionellen Schicht (22) mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD).
Abstract:
Ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements mit Barrierenschichten zur Verkapselung des Bauelements umfasst insbesondere die Schritte: - Bereitstellen eines Substrats (1) mit zumindest einer funktionellen Schicht (22), - Aufbringen zumindest einer ersten Barrierenschicht (3) auf der funktionellen Schicht (22) mittels plasmaloser Atomschichtenabscheidung (PLALD) und - Aufbringen zumindest einer zweiten Barrierenschicht (4) auf der funktionellen Schicht (22) mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD).
Abstract:
Es wird ein optoelektronisches Bauelement angegeben, das eine Halbleiterschichtenfolge (10) mit einem optoelektronisch aktiven Bereich und eine dielektrische Schicht (20) auf der Halbleiterschichtenfolge (10) sowie eine Metallschicht (40) auf der dielektrischen Schicht (20) aufweist. Zwischen der dielektrischen Schicht (20) und der Metallschicht (40) ist eine Haftschicht (30) angeordnet, die kovalent mit der dielektrischen Schicht (20) und mit der Metallschicht (40) verbunden ist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelements angegeben.
Abstract:
The invention relates to an optoelectronic component, which has a semiconductor layer sequence (10) having an optoelectronically active region and a dielectric layer (20) on the semiconductor layer sequence (10) and a metal layer (40) on the dielectric layer (20). An adhesive layer (30) is arranged between the dielectric layer (20) and the metal layer (40), which adhesive layer is connected covalently to the dielectric layer (20) and the metal layer (40). The invention further relate to a method for producing an optoelectronic component.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Vereinzeln eines Bauelementverbunds (1) in eine Mehrzahl von Bauelementbereichen (10) angegeben, bei dem ein Bauelementverbund mit einer Halbleiterschichtenfolge (2), die einen zur Erzeugung oder zum Empfangen von elektromagnetischer Strahlung vorgesehenen Bereich aufweist, bereitgestellt wird. Der Bauelementverbund wird an einem starren Hilfsträger (6) befestigt. Der Bauelementverbund wird in die Mehrzahl von Bauelementbereichen vereinzelt, wobei für jeden Bauelementbereich jeweils ein Halbleiterkörper (25) aus der Halbleiterschichtenfolge hervorgeht. Die Bauelementbereiche werden von dem Hilfsträger entfernt.
Abstract:
Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden Schichtsystems und ein reflektierendes Schichtsystem zur Aufbringung auf ein III/V-Verbindungshalbleitermaterial (4), wobei eine erste Schicht (1), die Phosphosilikatglas enthält, direkt auf das Halbleitersubstrat (4) aufgebracht ist. Hierauf befindet sich eine zweite Schicht (2), die Siliziumnitrid enthält. Daran anschließend ist eine metallische Schicht (3) aufgebracht.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkörpers (3) mit den folgenden Schritten angegeben: - Bereitstellen eines Halbleiterwafers mit mindestens zwei Chipbereichen (1) und mindestens einem Trennbereich (2), der zwischen den Chipbereichen (1) angeordnet ist, wobei der Halbleiterwafer eine Schichtenfolge aufweist, deren äußerste Schicht zumindest innerhalb des Trennbereiches (2) eine transmittierende Schicht (8) aufweist, die für elektromagnetische Strahlung durchlässig ist, - Durchführen zumindest einer der folgenden Maßnahmen: Entfernen der transmittierenden Schicht (8) innerhalb des Trennbereichs (2), Aufbringen einer absorbierenden Schicht (16) innerhalb des Trennbereichs, Erhöhen des Absorptionskoeffizients der transmittierenden Schicht innerhalb des Trennbereichs, und - Trennen der Chipbereiche (1) entlang der Trennbereiche (2) mittels eines Lasers.
Abstract:
Es wird ein Trägersubstrat (10) für eine Halbleiterschichtenfolge angegeben, das eine erste Hauptfläche (11) und eine der ersten Hauptfläche gegenüberliegende zweite Hauptfläche (12) aufweist. Zwischen der ersten Hauptfläche und der zweiten Hauptfläche ist eine Diodenstruktur (2) ausgebildet, die die erste Hauptfläche von der zweiten Hauptfläche zumindest für eine Polarität einer elektrischen Spannung elektrisch isoliert. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterchips (3) mit einem Trägersubstrat angegeben.