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公开(公告)号：WO2013170516A1
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/CN2012/076877
申请日：2012-06-14
CPC classification number: H01L21/02052 , C23C22/58 , C23G1/10 , H01L21/02057
Abstract: 一种锗基器件的界面处理方法，包括如下步骤：1）对半导体锗基衬底进行清洗；2）在质量百分浓度15%~36%的浓盐酸溶液中浸泡，然后用去离子水反复冲洗干净，去除锗基衬底表面的自然氧化层；3）将锗基衬底在质量百分浓度5%~10%的稀盐酸溶液中浸泡，然后用去离子水反复冲洗干净，完成对锗基器件表面的钝化处理。
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公开(公告)号：WO2013155775A1
公开(公告)日：2013-10-24
申请号：PCT/CN2012/076875
申请日：2012-06-14
IPC: H01L21/762 , H01L21/763 , H01L21/76
CPC classification number: H01L21/76232 , H01L21/02052 , H01L21/02236 , H01L21/02255 , H01L21/28255 , H01L21/32 , H01L21/7621 , H01L21/763
Abstract: 本发明公开了一种实现锗基MOS器件有源区之间隔离的方法，在锗基衬底表面上覆盖一薄层多晶硅或多晶锗硅，然后在有源区被保护的情况下，通过两步氧化形成表面覆盖二氧化硅层或氧化锗硅层的二氧化锗隔离结构，这种以多晶硅多晶锗硅作为牺牲层的两步氧化工艺有利于提高所制备的二氧化锗隔离的质量，减小局部场氧氧化产生的鸟嘴效应，从而显著提高锗器件的性能。
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公开(公告)号：WO2013152535A1
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：PCT/CN2012/074965
申请日：2012-05-02
IPC: H01L21/336 , H01L21/28
CPC classification number: H01L21/823456 , H01L21/26506 , H01L21/2652 , H01L21/26586 , H01L21/28123 , H01L21/823431 , H01L21/823481 , H01L29/165 , H01L29/41783 , H01L29/66545 , H01L29/66628 , H01L29/66795 , H01L29/6681 , H01L29/66818 , H01L29/785
Abstract: 公开了一种大规模集成电路中鳍形场效应晶体管的制备方法。利用浅沟槽隔离化学机械抛光平面进行第一次假栅的光刻和刻蚀，然后形成源漏，再淀积中间介质层，利用化学机械抛光将中间介质层研磨到第一次假栅的顶部，利用干法刻蚀和湿法腐蚀结合的方法去除假栅，并利用中间介质层形成硬掩模回刻浅沟槽隔离介质，从而仅仅在栅电极的区域形成鳍结构，此后进行真实的栅介质（113）和栅电极材料（115）的淀积，完成最终器件结构。由此可以获得平整的栅线条光刻平面，同时避免了栅材料在鳍侧墙上的残留问题。
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公开(公告)号：WO2016134618A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/CN2016/000097
申请日：2016-02-24
IPC: C02F1/46
CPC classification number: C02F1/46
Abstract: 一种可控制电解水酸碱性的无膜电解水方法，包括容器（10）、安装在容器（10）中的无膜电解电极组件（8）、可控电解电源（9）；原水装入容器（10），可控电解电源（9）给无膜电解电极组件（8）供电；水在无膜电解电极组件（8）的阴阳电极间隙（3）中被电解；可控电解电源（9）通过交替给无膜电解电极组件（8）提供极性相反的两种电解电压控制电解水的酸碱性，或兼顾控制其它电解水指标；当可控电解电源（9）供给无膜电解电极组件（8）极性相反的电压时，所制电解水pH值具有倾向酸性或碱性相反变化的不同趋势；阴阳电解电极间隙（3）按合理较小化原则设计、其间隙（3）面积按合理较大化原则设计，提高电解水效率达到控制目标。
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公开(公告)号：WO2016134615A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/CN2016/000093
申请日：2016-02-24
IPC: C02F1/461
CPC classification number: C02F1/461
Abstract: 一种发生电解水蒸汽的装置，包括有进水口（18）与蒸汽输出口（13）的蒸汽发生器（14）、可控电解电源（9）、电解电极组件、可对蒸汽发生器（14）中储水进行加热的加热系统（5）；可控电解电源（9）给电解电极组件提供电解电流，电解电极组件对蒸汽发生器（14）中储水作电解；加热系统（5）将蒸汽发生器（14）中电解水加热至沸腾产生蒸汽；电解水蒸汽从蒸汽输出口（13）输出；电解电极组件采用较高效率无膜电解水技术方案，对于储水容器中宽温度范围包括沸腾的储水可作有效电解，使得电解水蒸汽达到所需要的一定指标；电解电极组件不同极性电极（1，2）之间所留间隙（3）的间距按合理较小化原则设计，间隙（3）的面积按合理较大化原则设计，水在不同极性电极（1，2）间隙（3）中能较顺利流动，提高电解水及其水蒸汽指标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2011120357A1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/CN2011/070924
申请日：2011-02-11
Applicant: 腾讯科技(深圳)有限公司 , 陈宇宁 , 黎明 , 黄辉 , 彭鲤航
IPC: H04L9/32
CPC classification number: H04L9/3271 , G06F21/30 , H04L9/3226
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公开(公告)号：WO2011047526A1
公开(公告)日：2011-04-28
申请号：PCT/CN2010/001324
申请日：2010-08-31
CPC classification number: F02B75/32 , F01B1/04 , F01B1/06 , F01B9/023 , F02F1/00 , F02F7/0012 , F04B35/01 , F04B39/12 , Y10T74/18248
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公开(公告)号：WO2014201852A1
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：PCT/CN2014/000585
申请日：2014-06-16
CPC classification number: C02F1/46109 , C02F2001/46123 , C02F2001/46152 , C02F2001/46171 , C02F2201/4612 , C02F2201/4614 , C25B11/03 , C25B15/02 , C25B15/04 , Y02E60/366
Abstract: 一种可将纯净水制成电解水的简易高效电解装置，包括可控电解电源（1），与可控电解电源（1）连接的电解极板组件（18），工作时电解极板组件（18）浸泡在欲电解的水中；电解极板组件（18）的阴阳电极之间留有间隙，间隙距离在大于0mm、小于10m之间，间隙按合理较小化原则设计，必要时小于0.1mm;电解极板组件（18）在所占一定空间内，其阴阳电极之间间隙的面积按合理较大化原则设计。还公开了一种可将纯净水制成电解水的简易电解方法。
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公开(公告)号：WO2010148629A1
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：PCT/CN2010/000554
申请日：2010-04-22
Applicant: 北京中清能发动机技术有限公司 , 黎明 , 黎正中
CPC classification number: F04B35/01 , F04B53/006 , F16C9/04 , F16C17/04 , F16C33/103 , F16C33/1065 , Y10T74/18248
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公开(公告)号：WO2016134620A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/CN2016/000099
申请日：2016-02-24
IPC: C02F1/461
CPC classification number: C02F1/461
Abstract: 一种电极为孔柱式结构的新型电解水装置，其特征是：包括电解电极组件、安放电解电极组件的电解槽（10）、给电解电极组件供电的电解电源；电解电极组件由两个不同极性的电极（1，2）构成，分别为筒孔状和柱状，筒孔状电极数目为N个，N等于或大于1，各筒孔电极（1）的位置为机械固定并相互电连接；柱状电极（2）的柱数目为M个，M等于或大于1，各个柱位置为机械固定并相互电连接；筒孔状电极（1）与柱状电极（2）对应插接，即柱状电极（2）各柱插入各对应筒孔中，对插的柱状电极（2）表面与筒孔状电极（1）相对表面之间留有对水作电解的间隙（3）；电解过程电极间隙（3）内的水可流动；电极间隙（3）两个端口位置的外部留有一定空间（11，12），以便水在被电解的过程中，能在电极间隙（3）中流动。
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