公开(公告)号：WO2016015781A1

公开(公告)日：2016-02-04

申请号：PCT/EP2014/066632

申请日：2014-08-01

Applicant: VEGA GRIESHABER KG

Inventor： KOPP, Thomas

IPC: G01L19/14 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01L19/0007 ,  G01L19/141 ,  G01L19/145

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Druckmessanordnung (1) mit einer in einem Gehäuse (3) angeordneten keramischen Druckmesszelle (5) und einem in Axialrichtung (A) und zum Prozess hin angeordneten keramischen Prozessanschluss (7), wobei die Druckmesszelle (5) mit dem Prozessanschluss (7) eine Stoffschlüssige Verbindung (6) aufweist.

Abstract translation: 本发明涉及一种压力测量装置（1），其具有在壳体（3），布置陶瓷压力测量单元（5）并且在轴向方向（A）和设置成朝向陶瓷过程连接（7）的方法，其中所述压力测量单元（5）（与过程连接 7）的材料的连接（6）。

公开(公告)号：WO2013118843A1

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：PCT/JP2013/052948

申请日：2013-02-07

Applicant: 富士電機株式会社

Inventor： 芦野　仁泰

IPC: G01L19/14 ,  G01L19/00 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01L19/14 ,  B23K10/02 ,  B23K26/20 ,  B32B37/12 ,  B32B38/0008 ,  B32B38/18 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/143 ,  G01L19/145 ,  G01P1/023 ,  G01P15/08 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 　圧力センサ（１００）は、樹脂で一体成形されて形成されるソケット部（１）およびナット部（２）と、ナット部（２）の凹部（３）の開口部側壁（４）に接着剤（５）で密閉固定されるネジ部（６）と、ネジ部（６）に固定され、ナット部（２）の凹部（３）に配置されるセンスエレメント（７）とを備える。ソケット部（１）、ナット部（２）およびネジ部（６）でパッケージ（８）が構成される。ネジ部（６）には被圧力測定の流体を導く貫通孔（９）が形成される。センスエレメント（７）には外部導出端子（１０）が固定される。この外部導出端子（１０）は、ナット部（２）の凹部（３）の底部（３ａ）の貫通孔（１１）に通されソケット部（１）に接着剤（１２）で密閉固定される。外部導出端子（１０）は、外部配線と接続するための接続端子である。

Abstract translation: 压力传感器（100）具有：与树脂一体成形的插座部（1）和螺母部（2）; 螺纹部分（6），其通过粘合剂（5）与所述螺母部分（2）的凹部（3）气密地固定到所述开口侧壁（4）上; 以及固定在所述螺纹部（6）上且设置在所述螺母部（2）的所述凹部（3）中的传感元件（7）。 包装（8）由插座部（1），螺母部（2）和螺丝部（6）构成。 在螺纹部（6）中，形成用于引导要测量其压力的流体的通孔（9）。 外部引出端子（10）固定到感测元件（7）上。 外部引出端子（10）穿过螺母部分（2）的凹部（3）的底部（3a）中的通孔（11），并通过所述通孔（11）气密地固定到插座部分 粘合剂（12）。 外部引出端子（10）是用于与外部布线连接的连接端子。

公开(公告)号：WO2016066322A1

公开(公告)日：2016-05-06

申请号：PCT/EP2015/071284

申请日：2015-09-17

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： THAM, Anh Tuan ,  ROSSBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke

IPC: G01L19/14 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L19/145

Abstract: Es ist ein keramischer Drucksensor mit einer mit einem Druck (p, p 1 , p 2 ) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren keramischen Messmembran (1), einem Grundkörper (3, 29) und einer einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss einer Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3, 29) verbindenden Aktivhartlötung (7) mit verbesserten Messeigenschaften, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung beschrieben, bei dem die verbesserten Messeigenschaften dadurch erzielt werden, dass in einem der Messmembran (1) zugewandten Randbereich (17) der Aktivhartlötung (7) enthaltene Spannungen durch gezieltes, räumlich auf den Randbereich (17) konzentriertes Erwärmen des Randbereichs (17) auf eine Nachbehandlungstemperatur (T), die größer gleich einer Temperatur ist, bei der das Aktivhartlot plastisch verformbar ist, reduziert werden.

Abstract translation: 它是具有压力（P，P1，P2）的陶瓷压力传感器可被作用，这取决于压力可弹性变形的陶瓷测量膜片（1），基体（3，29）和测量膜的一个外边缘（1）（包括一个压力室 5）具有面向所述基体（3端侧的测量膜片（1）中的一个的外边缘，连接29）Aktivhartlötung（7）具有用于其制剂，其中所述改进的测量性能列于，在一个实现中描述改进的测量性能和处理 测量膜片（1）的面向Aktivhartlötung的边缘区域（17）（7）给定的电压通过选择性，在空间上对后处理温度（T）大于或等于一个温度边缘区域（17）的浓缩的加热的边缘区域（17），在该 活性钎焊料是可塑性变形可以减小。

公开(公告)号：WO2012124437A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：PCT/JP2012/054082

申请日：2012-02-21

Applicant: オムロン株式会社 ,  金井 聡庸 ,  安達 佳孝 ,  清水 正男 ,  田中 純一 ,  佐々木 昌

Inventor： 金井　聡庸 ,  安達　佳孝 ,  清水　正男 ,  田中　純一 ,  佐々木　昌

IPC: H01L23/02 ,  G01F1/684 ,  G01L9/00 ,  H01L23/08 ,  H01L23/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B7/0048 ,  G01L19/141 ,  G01L19/145 ,  H01L23/055 ,  H01L23/13 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/562 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/15156 ,  H01L2924/1579 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014

Abstract: 　射出成形が困難な溝を有する応力緩和構造に対し、応力緩和効果を保ちながら容易に射出成形できるようにするために、本発明のセンサパッケージは、半導体センサチップ（１）と反対側の裏面（２ｂ）に半導体センサチップ搭載領域（２ａ）を取り囲むように溝（４）が形成され、溝（４）の内側の樹脂部分と溝（４）の外側の樹脂部分とを連結する架橋部（５）が形成されている。

Abstract translation: 为了容易地注射模具具有难以注射模具的凹槽的应力消除结构，同时保持减轻应力的效果，该传感器封装具有：形成在后表面（2b）上的凹槽（4） 在半导体芯片（1）的相反侧，以环绕半导体传感器芯片安装区域（2a）; 以及交链部（5），其将形成在所述槽（4）的内侧的树脂部与所述槽（4）的外侧的树脂部分连接，形成在所述后表面（2b）上。

公开(公告)号：WO2012115747A1

公开(公告)日：2012-08-30

申请号：PCT/US2012/023082

申请日：2012-01-30

Applicant: CONTINENTAL AUTOMOTIVE SYSTEMS, INC. ,  CHIOU, Jen-Huang Albert ,  CHEN, Shiuh-Hui Steven

Inventor： CHIOU, Jen-Huang Albert ,  CHEN, Shiuh-Hui Steven

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L19/04 ,  G01L19/145

Abstract: In a pressure sensing element made of piezoresistors formed into a silicon substrate, thermally-induced stresses on the piezoresistors and thermally-induced voltage offsets can be reduced by thinning the substrate prior to forming the resistors and then forming the resistors into the thinned-out recess. Forming a circular or disk-shaped recess in the substrate and then forming the resistors therein is believed to cause thermally-induced stresses to be evenly distributed and/or cancelled out on all four piezoresistors of a Wheatstone bridge circuit.

Abstract translation: 在由形成为硅衬底的压电电阻器制成的压力感测元件中，可以通过在形成电阻器之前使衬底变薄，然后将电阻器形成为薄型凹陷凹陷部来减小压敏电阻器上的热诱导应力和热感应电压偏移 。 认为在衬底中形成圆形或圆盘形凹槽，然后在其中形成电阻器被认为导致热诱导应力在惠斯通电桥电路的所有四个压阻上均匀分布和/或抵消。

公开(公告)号：WO2016198227A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/EP2016/060456

申请日：2016-05-10

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： ROSSBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke ,  RETTENMAYR, Markus ,  SIEGMUND, Peter ,  KÜHN, Uta ,  PAULY, Simon ,  PONATH, Nils

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/14

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L19/145

Abstract: Es ist ein Drucksensor mit zwei miteinander über eine durch Aktivhartlötung eines Aktivhartlots hergestellte Aktivhartlötung (7) verbundenen Körpern, insb. einer mit einem Druck (p) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (1), insb. einer keramischen Messmembran (1), und einem Grundkörper (3), insb. einem keramischen Grundkörper (3), die durch eine einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss einer Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) verbindenden Aktivhartlötung (7) verbunden sind, dessen Messeigenschaften verbessert wurden, indem die Aktivhartlötung (7) einen von den Abmessungen der Aktivhartlötung (7) und den Werkstoffen der Körper abhängigen, an einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten mindestens eines der Körper, insb. der Messmembran (1), angepassten thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist.

Abstract translation: 有具有两个彼此经由Aktivhartlötung活性钎焊Aktivhartlötung（7）连接的机构，尤指与压力（P）A可以采取行动，这取决于压力可弹性变形的测量膜片（1），尤指一种陶瓷测量膜片（1），和制得的溶液的压力传感器 的基体（3），尤指一种陶瓷基体（3）由（1）的面向包括一个压力室（5）与所述测量膜片的一（1）在基体的端面的外边缘测量膜的一个外边缘（3）定义 连接Aktivhartlötung（7）被连接，它的测量的性质由Aktivhartlötung（7）Aktivhartlötung（7）的依赖于机构中的至少一个的热膨胀系数的尺寸和所述主体的所述材料中的一种，尤其。测量膜片进行了改进（1 具有）的热膨胀的调整系数。

公开(公告)号：WO2016037817A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：PCT/EP2015/069052

申请日：2015-08-19

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： DREWES, Ulfert ,  ROSSBERG, Andreas ,  THAM, Anh Tuan

IPC: G01L19/14 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0048 ,  G01L19/145 ,  G01L19/146 ,  G01L19/147

Abstract: Es ist ein Drucksensor, mit einem Gehäuse (17, 51), insb. einem metallischen Gehäuse (17, 51), einer in dem Gehäuse (17, 51) zwischen einem eine Öffnung (19) des Gehäuses (17) außenseitlich allseitig umschließenden Absatz (21) und einem Gegenlager (23) eingespannten Druckmesszelle (1), insb. einer keramischen Druckmesszelle (1), die eine auf einem Grundkörper (3) unter Einschluss einer Druckmesskammer (5) angeordnete Messmembran (7) aufweist, und deren Messmembran (7) über die Öffnung (21) mit einem Druck (p) beaufschlagbar ist, beschrieben, dessen Druckmesszelle (1), insb. dessen Messmembran (7), vor in radialer Richtung wirkenden thermomechanischen Spannungen geschützt ist, indem zwischen einem äußeren Rand der Messmembran (7) und dem Absatz (21) ein Anpassungskörper (27, 31, 33) angeordnet ist, der einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der entlang des Anpassungskörper (27, 31, 33) in vom Absatz (21) zur Messmembran (7) verlaufender Richtung von einem einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α M ) des Absatzes (21) entsprechenden thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf einen einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α k ) der Messmembran (7) entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten absinkt.

Abstract translation: 有压力传感器，包括：壳体（17，51），尤指außenseitlich侧壳体（17）段的开口（19）之间包围的金属壳（17，51），一个在所述壳体（17，51） （21）和支座（23）夹紧压力测量单元（1），尤指一种陶瓷压力测量单元（1），布置在基体（3），其包括一个压力测量腔室中的一个（5）测量膜片（7），并且测量膜片（ 7）（通过开口21）由一压力（p作用时），如所描述，所述压力测量单元（1），尤指测量膜片（7）被保护免受由所述测量膜片的外边缘之间在径向方向上的热机械应力作用 （7）和所述肩部（21）具有匹配元件（27，31，33）被布置，其具有沿从所述肩部（21）中延伸的调整体（27，31，33）的热膨胀系数的测量膜片（7） 从蛋方向 肩部（21）的热膨胀系数（αM）的NEM系数减小对应于相应的膨胀系数的测量膜片（7）的热膨胀系数的热膨胀系数（αk）的。

公开(公告)号：WO2015050247A1

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：PCT/JP2014/076551

申请日：2014-10-03

Applicant: 株式会社フジクラ

Inventor： 高山　直樹 ,  冨田　道和 ,  須藤　勇気 ,  奥出　聡

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/14

CPC classification number: G01L9/0042 ,  G01L9/0051 ,  G01L9/025 ,  G01L19/0069 ,  G01L19/0092 ,  G01L19/04 ,  G01L19/0654 ,  G01L19/145 ,  H01L23/053 ,  H01L23/16 ,  H01L23/4952 ,  H01L23/49558 ,  H01L23/49575 ,  H01L23/49861 ,  H01L24/48 ,  H01L24/49 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48106 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/49175 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/8592 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/152 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207 ,  H01L2224/85399 ,  H01L2224/05599

Abstract: 　本発明の半導体圧力センサは、第１面及び第２面を有するリードフレーム（４）と、前記リードフレーム（４）を支持する樹脂製の支持体（５）とを有する基体部（１）と、前記リードフレーム（４）の前記第１面に設けられた圧力センサチップ（２）と、前記リードフレーム（４）の前記第２面に設けられ、前記支持体（５）に埋設され、複数の面を有する形状で形成され、前記複数の面のうち少なくとも一面に形成されかつ前記支持体（５）よりも低いヤング率を有する応力緩和層（３２、３３、３４、３５、３６）を含み、前記圧力センサチップ（２）から出力されたセンサ信号を受けて圧力検出信号を出力する制御部（３）と、を備え、前記圧力センサチップ（２）と前記制御部（３）とは、平面視において少なくとも一部が重なる。

Abstract translation: 该半导体压力传感器设置有：基部单元（1），其包括具有第一表面和第二表面的引线框架（4）和支撑引线框架（4）的树脂支撑体（5）; 设置在引线框架（4）的第一表面上的压力传感器芯片（2）; 以及控制单元（3），其设置在所述引线框架（4）的第二表面上以嵌入所述支撑体（5）中并且形成为具有多个表面的形状，并且包括应力松弛 层（32,33,34,35,36），其形成在所述多个表面中的至少一个表面上并且具有比所述支撑体（5）更低的杨氏模量。 控制单元（3）接收从压力传感器芯片（2）输出的传感器信号并输出​​压力检测信号。 当在平面图中观察时，压力传感器芯片（2）和控制单元（3）至少部分地彼此重叠。

公开(公告)号：WO2017067707A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：PCT/EP2016/071395

申请日：2016-09-12

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： SIXTENSSON, Daniel ,  HAKER, Fred ,  MÜLLER, Dennis ,  GUTH, Andreas ,  ZIERMANN, Rene

IPC: G01L19/14 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L19/145 ,  G01L19/04

Abstract: Es ist eine auf einfache Weise herstellbare Druckmesseinrichtung mit einem Träger (1,3,5), insb. einem Träger (1,3,5) aus Metall, insb. aus Edelstahl, einem mit dem Träger (1,3,5) verbundenen Sockel (7,9,11 ) und einem auf einem frei stehenden Ende des Sockels (7,9,11 ) montierten Drucksensor (13), beschrieben, dessen Drucksensor (13) vor thermomechanischen Spannungen geschützten ist und sich dadurch auszeichnet, dass der Sockel (7,9,11 ) eine auf dem Träger (1,3,5) angeordnete Basis (25,27,29) umfasst, der Sockel (7,9,11 ) einen sich von der Basis (25, 27, 29) in Richtung des Drucksensors (13) erstreckenden, das frei stehende Ende des Sockels (7, 9,11 ) umfassenden Fortsatz (31 ) umfasst, die Basis (25, 27, 29) eine Grundfläche aufweist, die größer als eine Grundfläche des Fortsatzes (31) ist, und der Fortsatz (31) eine Grundfläche aufweist, die kleiner als eine Grundfläche des darauf montierten Drucksensors (13) ist.

Abstract translation: 它是一种压力测量装置，其可以以简单的方式用载体（1,3,5），尤其是金属（1,3,5）载体（特别是不锈钢）制成， 与BEAR载体安装GER连接（1,3,5）插座（7,9,11）和上插座的独立端（7,9,11）压力传感器（13）描述了所述压力传感器（13 ）被保护以免受热机械应力，并且其特征在于，所述基座（7,9,11）包括布置在所述载体（1,3,5）上的基座（25,27,29），所述基座（ 7,9,11）包括一个从所述压力传感器（13延伸的方向上的基体（25，27，29）），所述插座（7的分离的端部，其包括9.11）延伸部（31），（基 25,27,29）具有比所述延长部（31）的底面大的底面，所述延长部（31）具有比所述突起（31）的底面小的底面， 在其上安装压力传感器（13） 吨。

公开(公告)号：WO2016087148A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：PCT/EP2015/075500

申请日：2015-11-03

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

Inventor： DREWES, Ulfert ,  PONATH, Nils ,  ROSSBERG, Andreas ,  SCHMIDT, Elke ,  THAM, Anh Tuan

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0075 ,  G01L9/0044 ,  G01L19/145

Abstract: Druckmesszelle (1), umfassend: einen im Wesentlichen zumindest abschnittsweise zylindrischen Grundköper (3); eine Messmembran (2), die entlang einer umlaufenden Fügestelle unter Bildung einer Messkammer (5) zwischen dem Grundkörper (3) und der Messmembran (2) druckdicht gefügt ist; ein Fügemittel (12), das entlang der umlaufenden Fügestelle (4) zwischen dem Grundkörper (3) und der Messmembran (2) zur Fügung dient; dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (3) und/oder die Messmembran (2) eine im Wesentlichen stufenförmige Vertiefung (13) aufweist, in der das Fügemittel (12) zumindest teilweise eingebracht ist, so dass ein Minimalabstand zwischen Grundkörper (3) und Messmembran (2) entsteht.

Abstract translation: 压力测量单元（1），包括：基本上至少部分圆柱形的基体（3）; 一测量膜片（2），沿周向接头的压力密闭的方式，形成所述基体（3）和测量膜片（2）被接合之间的测量室（5）; 沿周向接头（4）的接合装置（12）被用于在基体之间的加成（3）和测量膜片（2）; 其特征在于，所述基体（3）和/或所述测量膜片（2）具有在其中接合装置（12）被至少部分地插入一个大致阶梯状的凹部（13），从而使基体之间的最小距离（3）和测量膜片 （2）就产生了。