光電変換素子
    2.
    发明申请
    光電変換素子 审中-公开
    光电转换元件

    公开(公告)号:WO2013024632A1

    公开(公告)日:2013-02-21

    申请号:PCT/JP2012/066541

    申请日:2012-06-28

    Abstract:  本発明の光電変換素子(100)は、n型窒化物半導体層(200)、i型窒化物半導体積層体(400)およびp型窒化物半導体層(500)がこの順で積層されてなり、i型窒化物半導体積層体(400)は、少なくとも二つのi型窒化物半導体層(402),(404)と、二つのi型窒化物半導体層(402),(404)の間に設けられている窒化物半導体からなるガイド層(403)とを備え、ガイド層(403)は、二つのi型窒化物半導体層(402),(404)より大きいバンドギャップを有する。

    Abstract translation: 该光电转换元件(100)包括依次层叠的n型氮化物半导体层(200),i型氮化物半导体层叠体(400)和p型氮化物半导体层(500)。 i型氮化物半导体层叠体(400)具有至少两个i型氮化物半导体层(402,404)和设置在两个i型氮化物半导体层之间的氮化物半导体层(403) (402,404)。 引导层(403)具有比两个i型氮化物半导体层(402,404)更大的带隙。

    光電変換素子
    4.
    发明申请
    光電変換素子 审中-公开
    光电转换元件

    公开(公告)号:WO2012073941A1

    公开(公告)日:2012-06-07

    申请号:PCT/JP2011/077490

    申请日:2011-11-29

    Abstract:  光電変換素子は、基板(11)と、基板(11)上に設けられた半導体積層体(12)と、半導体積層体(12)上に設けられた導電層(13)と、を備える。半導体積層体(12)は、p型窒化物半導体層(14)、i型窒化物半導体層(15)およびn型窒化物半導体層(16)を有するpin構造体を含む。pin構造体は、p型窒化物半導体層(14)とi型窒化物半導体層(15)との間、またはn型窒化物半導体層(16)とi型窒化物半導体層(15)との間に、反射層(17)を有する。

    Abstract translation: 光电转换元件包括基板(11),布置在基板(11)上的半导体层叠体(12)和布置在半导体层叠体(12)上的导电层(13)。 半导体层叠体(12)包括由p型氮化物半导体层(14),i型氮化物半导体层(15)和n型氮化物半导体层(16)构成的引脚结构。 引脚结构在p型氮化物半导体层(14)和i型氮化物半导体层(15)之间或在n型氮化物半导体层(16)和i型氮化物之间具有反射层(17) 半导体层(15)。

    多結晶シリコン薄膜の形成方法、多結晶シリコン薄膜基板、シリコン薄膜太陽電池及びシリコン薄膜トランジスタ装置
    5.
    发明申请
    多結晶シリコン薄膜の形成方法、多結晶シリコン薄膜基板、シリコン薄膜太陽電池及びシリコン薄膜トランジスタ装置 审中-公开
    形成多晶硅薄膜的方法,多晶硅薄膜基板,硅薄膜太阳能电池和硅薄膜晶体管器件

    公开(公告)号:WO2011161901A1

    公开(公告)日:2011-12-29

    申请号:PCT/JP2011/003399

    申请日:2011-06-15

    Inventor: 川島 孝啓

    Abstract:  多結晶シリコン薄膜を高速で形成することができる多結晶シリコン薄膜の形成方法、多結晶シリコン薄膜基板、シリコン薄膜太陽電池及びシリコン薄膜トランジスタ装置を提供する。多結晶シリコン薄膜の形成方法は、基板(31)を準備する第1工程と、第1多結晶シリコン相(32a)と非結晶シリコン相(32b)とを含む第1シリコン薄膜の前駆体(32)を形成する第2工程と、第1シリコン薄膜の前駆体(32)を、第1多結晶シリコン相(32a)を露出することで、第1多結晶シリコン相(32a)を主成分とした第1シリコン薄膜(32c)として再形成する第3工程と、第1シリコン薄膜(32c)上に、第2多結晶シリコン相(33a)を主成分とする第2シリコン薄膜(33)を形成する第4工程と、を含み、第2多結晶シリコン相(33a)は、第1多結晶シリコン相(32a)を種結晶として成長されたものである。

    Abstract translation: 公开了一种形成多晶硅薄膜的方法,其中可以高速形成多晶硅薄膜,多晶硅薄膜基板,硅薄膜太阳能电池和硅薄膜晶体管器件。 形成多晶硅薄膜的方法包括:制备基板(31)的第一步骤; 第二步骤,其中形成第一硅薄膜的前体(32),所述前体包括第一多晶硅相(32a)和非晶硅相(32b); 第三步骤,通过使第一多晶硅相(32a)暴露,第一硅薄膜的前体(32)再次形成为具有第一多晶硅相(32a)作为主要成分的第一硅薄膜(32c) ; 以及在第一硅薄膜(32c)上形成有以第二多晶硅相(33a)为主要成分的第二硅薄膜(33)的第四步骤。 第二多晶硅相(33a)以第一多晶硅相(32a)作为晶种生长。

    SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
    6.
    发明申请
    SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF 审中-公开
    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:WO2011068065A1

    公开(公告)日:2011-06-09

    申请号:PCT/JP2010/070951

    申请日:2010-11-17

    Inventor: MATSUDA, Koichi

    Abstract: In order to solve a problem that, in an initial stage of film growth in a plasma CVD method, it is difficult to form a silicon layer which is excellent in crystallinity, provided is a semiconductor device, including: a substrate; a crystalline silicon layer; a titanium oxide layer containing titanium oxide as a main component; and a pair of electrodes electrically connected to the crystalline silicon layer, in which: the titanium oxide layer and the crystalline silicon layer are formed on the substrate in the mentioned order from the substrate side; and the titanium oxide layer and the crystalline silicon layer are formed in contact to each other.

    Abstract translation: 为了解决在等离子体CVD法的膜生长的初期阶段,难以形成结晶性优异的硅层,只要是半导体装置,包括:基板; 晶体硅层; 以氧化钛为主要成分的氧化钛层; 以及与该结晶硅层电连接的一对电极,其中:从基板侧以上述顺序在基板上形成氧化钛层和结晶硅层; 并且氧化钛层和晶体硅层彼此接触地形成。

    半導体基板、光電変換デバイス、半導体基板の製造方法、および光電変換デバイスの製造方法
    9.
    发明申请
    半導体基板、光電変換デバイス、半導体基板の製造方法、および光電変換デバイスの製造方法 审中-公开
    半导体基板,光电转换装置,制造半导体基板的方法和制造光电转换装置的方法

    公开(公告)号:WO2010140371A1

    公开(公告)日:2010-12-09

    申请号:PCT/JP2010/003721

    申请日:2010-06-03

    Abstract:  シリコンを含むベース基板と、ベース基板上に形成され、ベース基板の表面を露出する開口を有し、結晶成長を阻害する阻害体と、開口の内部に露出されたベース基板の表面に接して、開口の内部に形成された光吸収構造体と、を備え、光吸収構造体は、第1伝導型第1半導体と、第1伝導型第1半導体の上方に形成され、第1伝導型第1半導体と反対の伝導型を有する第2伝導型第1半導体と、第1伝導型第1半導体と第2伝導型第1半導体との間に形成され、第1伝導型第1半導体および第2伝導型第1半導体よりも有効キャリア濃度が低い低キャリア濃度第1半導体とを含む第1半導体と、第2伝導型第1半導体に格子整合または擬格子整合し、第2伝導型第1半導体と反対の伝導型を有する第1伝導型第2半導体と、第1伝導型第2半導体の上方に形成され、第1伝導型第2半導体と反対の伝導型を有する第2伝導型第2半導体と、第1伝導型第2半導体と第2伝導型第2半導体との間に形成され、第1伝導型第2半導体および第2伝導型第2半導体よりも有効キャリア濃度が低い低キャリア濃度第2半導体とを含む第2半導体とを有する半導体基板を提供する。

    Abstract translation: 公开了一种半导体衬底,其具有:含有硅的基底衬底; 形成在基底基板上的抑制元件具有从基体基板的表面露出的开口,抑制晶体生长; 以及光吸收结构,其通过与暴露在开口内部的基底表面接触而形成在开口内部。 光吸收结构具有第一半导体,其包括:第一导电型第一半导体; 第二导电型第一半导体,其形成在第一导电类型的第一半导体之上并且具有与第一导电类型的第一半导体的导电类型相反的导电类型; 以及低载流子浓度的第一半导体,其形成在第一导电型第一半导体与第二导电型第一半导体之间,并且具有比第一导电型第一半导体低的第一导电型第一半导体的有效载流子浓度, 。 光吸收结构还具有第二半导体,其包括:第一导电型第二半导体,其与第二导电型第一半导体晶格匹配或准晶格匹配,并且具有与第二导电类型相反的导电类型 第一半导体; 第二导电类型的第二半导体,其形成在第一导电类型的第二半导体之上并且具有与第一导电类型的第二半导体的导电类型相反的导电类型; 以及低载流子浓度的第二半导体,其形成在第一导电型第二半导体与第二导电型第二半导体之间,并且具有比第一导电型第二半导体低的第二导电类型的第二半导体的有效载流子浓度; 。

    光電変換装置の製造方法および光電変換装置
    10.
    发明申请
    光電変換装置の製造方法および光電変換装置 审中-公开
    光电转换装置制造方法和光电转换装置

    公开(公告)号:WO2010052981A1

    公开(公告)日:2010-05-14

    申请号:PCT/JP2009/067247

    申请日:2009-10-02

    Abstract:  中間コンタクト層分離溝を介して電流が漏洩することを可及的に防止した光電変換装置の製造方法を提供する。アモルファスシリコンを主成分とするトップ層(91)を製膜する工程と、トップ層(91)上に、電気的および光学的に接続される中間コンタクト層(93)を製膜する工程と、パルスレーザーを照射して、中間コンタクト層(93)を除去するとともに、トップ層(91)まで到達する中間コンタクト層分離溝(14)を形成して中間コンタクト層(93)を分離する工程と、中間コンタクト層(93)上および中間コンタクト層分離溝(14)内に、電気的および光学的に接続されるとともに、微結晶シリコンを主成分とするボトム層(92)を製膜する工程とを有する。中間コンタクト層分離溝(14)は、トップ層(91)のi層内にて終端している。

    Abstract translation: 本发明提供一种能够有效地防止经由中间接触层分离槽的电流泄漏的光电转换装置的制造方法。 该方法包括:形成含有非晶硅作为主要成分的顶层(91)的步骤; 在顶层(91)上形成的步骤,与顶层(91)电连接和光学连接的中间接触层(93)。 用于施加脉冲激光以去除中间层(93)并形成到达顶层(91)以分离中间接触层(93)的中间接触层分离槽(14)的步骤; 以及在中间接触层(93)和中间接触层分离槽(14)中形成含有微晶硅作为主要成分的底层(92)的步骤,底层(92)电连接和光学地连接到 中间接触层(93)。 中间接触层分离槽(14)终止在顶层(91)的i层中。

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