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公开(公告)号：CN104704674A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380053202.6
申请日：2013-12-05
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： H01M10/486 , G01K7/22 , G01K13/00 , G01R31/3606 , G01R31/3644 , G01R31/3696 , H01M2/305
摘要： 本发明提供一种电池状态监视装置及具备该电池状态监视装置的电池模块。本发明的电池状态监视装置(3)具备：基板(100)，形成有供电池(2)的电极端子(75)插通的端子插通孔(111B)；固定件(141B)，由导热材料制成，设置于端子插通孔(111B)的周围，在端子插通孔(111B)中插通有电极端子(75)的状态下，与电极端子(75)相接而安装于电极端子(75)；及温度测量件(151)，固定于基板(100)，经由固定件(141B)测量电极端子(75)的温度。
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公开(公告)号：CN101568821B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200780047527.8
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
摘要： 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光，检测由结晶质硅膜反射的反射光，对检测出的反射光的辉度的参数进行计测，并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号：CN102165282A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980138478.8
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要： 本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板(W)从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基板(W)的扩散透过光进行受光的受光元件；和基于由受光元件接受的光的强度求出薄膜的雾度率的计算机(7)。计算机(7)具有将雾度率与扩散透过光的光强度建立关联而成的雾度率特性，利用该雾度率特性和由上述受光元件接受的光强度求出雾度率。
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公开(公告)号：CN111948659A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010080491.0
申请日：2020-02-05
申请人： 三菱重工业株式会社
发明人： 川添浩平
IPC分类号： G01S17/06 , G01S17/931
摘要： 本发明提供能够以更良好的精度生成三维信息的激光雷达装置。本发明是一种激光雷达装置，具有：扫描仪部，将形成为线状以在规定的第一方向上延伸的激光、即线状激光改变发射光角并向测量对象区域照射，从而沿与所述第一方向正交的第二方向对所述测量对象区域进行扫描；接收信号生成部，接收照射到所述测量对象区域的所述线状激光的反射光，生成接收信号；存储部，存储所述线状激光的所述第二方向上的形状失真信息；以及三维信息生成部，基于所述第二方向的校正位置信息，生成所述测量对象区域的三维信息，所述第二方向的校正位置信息是根据所述形状失真信息对基于所述接收信号和所述发射光角算出的所述第二方向上的位置信息进行校正而得到的。
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公开(公告)号：CN107407722B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201580076971.7
申请日：2015-11-19
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/4865 , G01S17/42 , G01S17/894 , G01S17/93 , G01S17/931 , G01C3/06 , G01B11/24 , G02B26/10 , G02B27/09 , G08G1/16 , B61L15/00 , B61L23/00
摘要： 具备：激光光源(11)；送光侧透镜(12)，其使从激光光源(11)发出的激光(L)成形为点状；扫描器(13)，其使成形为点状的激光(L)在计测对象区域(A)的水平方向(X)以及垂直方向(Y)上一边扫描一边照射；受光侧透镜(16)，其接收从计测对象区域(A)反射的反射光(R)；受光侧光学系统(17)，其使利用受光侧透镜(16)接收到的反射光(R)分别在水平方向(X)以及垂直方向(Y)上聚光；受光元件(18)，其接收利用受光侧光学系统(17)聚光后的反射光(R)；信息生成部(21)，其基于受光元件(18)输出的接收信号，生成计测对象区域(A)的三维信息。
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公开(公告)号：CN107110777A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580067967.4
申请日：2015-11-25
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01N21/39 , F23N1/02 , F23N5/00 , F23N5/08 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554
CPC分类号： F23N5/08 , F23N1/02 , F23N5/00 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554 , G01N21/39 , G01N2021/3125
摘要： 气体分析装置具备：测定部，其在多个测量路径上测定激光的吸收量，该激光包括与燃烧炉内的燃烧气体所含有的同一成分的至少两个电子能级跃迁对应的吸收波长；基准设定部，其设定基准气体浓度分布以及基准温度分布；以及解析部，其以使实测出的吸收量与基准吸收量的偏差成为最小的方式解开包含气体浓度分布以及温度分布来作为变量的二维分布函数，由此求出气体浓度分布以及温度分布。
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公开(公告)号：CN102105991B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN200980128810.2
申请日：2009-10-02
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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公开(公告)号：CN101568821A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047527.8
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
摘要： 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光，检测由结晶质硅膜反射的反射光，对检测出的反射光的辉度的参数进行计测，并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号：CN101568797A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047754.0
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/303
摘要： 本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光，分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值，基于该计测结果，对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性，在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。
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公开(公告)号：CN101568796A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047607.3
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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