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公开(公告)号：CN102165282A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980138478.8
申请日：2009-07-02
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
Abstract: 本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板(W)从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基板(W)的扩散透过光进行受光的受光元件；和基于由受光元件接受的光的强度求出薄膜的雾度率的计算机(7)。计算机(7)具有将雾度率与扩散透过光的光强度建立关联而成的雾度率特性，利用该雾度率特性和由上述受光元件接受的光强度求出雾度率。
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公开(公告)号：CN119731695A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202380062754.7
申请日：2023-09-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 气体泄漏检测装置获取通过按时间序列对现场进行拍摄而获得的多个图像数据，并通过对两个图像数据之间的各像素的亮度进行比较，按图像数据中所包含的每个像素评价亮度变化。通过按每个像素累计亮度变化，计算图像数据中的亮度变化频率分布。在现场中泄漏的气体根据如此计算出的亮度变化频率分布来检测。
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公开(公告)号：CN119487374A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202380053469.9
申请日：2023-02-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: G01M3/02
Abstract: 在气体泄漏监视方法中，使用搭载于第一UAV的气体检测装置对从场地泄漏的气体进行检测，使用搭载于第一UAV搭载的位置测定装置取得气体的位置信息。然后，将搭载有包括接触式气体传感器的浓度测定装置的第二UAV向与位置信息对应的气体泄漏位置的上方移动，对气体泄漏位置处的气体的浓度进行测定。基于由气体检测装置检测到的气体的体积以及由浓度测定装置测定出的浓度来算出气体的泄漏量。
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公开(公告)号：CN102216596A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980145925.2
申请日：2009-12-08
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: F02D41/0025 , F02D19/0623 , F02D19/0634 , F02D19/0649 , F02D19/0657 , F02D41/22 , F02D2200/0611 , Y02T10/36 , Y02T10/40
Abstract: 本发明提供一种柴油发动机燃料健全性控制系统，具备：密度计测仪(11)，实时地计测柴油发动机(D/E)的燃料(F)中的密度；MCR计测仪(12)，实时地计测柴油发动机(D/E)的燃料(F)中的残碳量(MCR：micro carbon residue)；和控制装置(CPU)(13)，当求得燃料(F)中的密度及残碳量(MCR)的值后的结果在预先求得的密度和MCR之间的特性映射的健全性范围以外时，变更柴油发动机运转模式。
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公开(公告)号：CN102105991A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980128810.2
申请日：2009-10-02
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111948659A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010080491.0
申请日：2020-02-05
Applicant: 三菱重工业株式会社
Inventor： 川添浩平
IPC: G01S17/06 , G01S17/931
Abstract: 本发明提供能够以更良好的精度生成三维信息的激光雷达装置。本发明是一种激光雷达装置，具有：扫描仪部，将形成为线状以在规定的第一方向上延伸的激光、即线状激光改变发射光角并向测量对象区域照射，从而沿与所述第一方向正交的第二方向对所述测量对象区域进行扫描；接收信号生成部，接收照射到所述测量对象区域的所述线状激光的反射光，生成接收信号；存储部，存储所述线状激光的所述第二方向上的形状失真信息；以及三维信息生成部，基于所述第二方向的校正位置信息，生成所述测量对象区域的三维信息，所述第二方向的校正位置信息是根据所述形状失真信息对基于所述接收信号和所述发射光角算出的所述第二方向上的位置信息进行校正而得到的。
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公开(公告)号：CN107407722B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201580076971.7
申请日：2015-11-19
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: G01S7/481 , G01S7/4865 , G01S17/42 , G01S17/894 , G01S17/93 , G01S17/931 , G01C3/06 , G01B11/24 , G02B26/10 , G02B27/09 , G08G1/16 , B61L15/00 , B61L23/00
Abstract: 具备：激光光源(11)；送光侧透镜(12)，其使从激光光源(11)发出的激光(L)成形为点状；扫描器(13)，其使成形为点状的激光(L)在计测对象区域(A)的水平方向(X)以及垂直方向(Y)上一边扫描一边照射；受光侧透镜(16)，其接收从计测对象区域(A)反射的反射光(R)；受光侧光学系统(17)，其使利用受光侧透镜(16)接收到的反射光(R)分别在水平方向(X)以及垂直方向(Y)上聚光；受光元件(18)，其接收利用受光侧光学系统(17)聚光后的反射光(R)；信息生成部(21)，其基于受光元件(18)输出的接收信号，生成计测对象区域(A)的三维信息。
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公开(公告)号：CN107110777A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580067967.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: G01N21/39 , F23N1/02 , F23N5/00 , F23N5/08 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554
CPC classification number: F23N5/08 , F23N1/02 , F23N5/00 , G01K11/00 , G01N21/3504 , G01N21/3554 , G01N21/39 , G01N2021/3125
Abstract: 气体分析装置具备：测定部，其在多个测量路径上测定激光的吸收量，该激光包括与燃烧炉内的燃烧气体所含有的同一成分的至少两个电子能级跃迁对应的吸收波长；基准设定部，其设定基准气体浓度分布以及基准温度分布；以及解析部，其以使实测出的吸收量与基准吸收量的偏差成为最小的方式解开包含气体浓度分布以及温度分布来作为变量的二维分布函数，由此求出气体浓度分布以及温度分布。
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公开(公告)号：CN102105991B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN200980128810.2
申请日：2009-10-02
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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公开(公告)号：CN101568821A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780047527.8
申请日：2007-10-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
Abstract: 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光，检测由结晶质硅膜反射的反射光，对检测出的反射光的辉度的参数进行计测，并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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