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公开(公告)号：CN111004985A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911164952.6
申请日：2019-11-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明属于金属材料加工和微电子材料制造技术领域的一种镍钒溅射靶材的制备方法。所述镍钒溅射靶材的制备方法，包括对镍钒铸锭依次进行1)热锻造、2)退火、3)冷变形和4)二次退火。所述镍钒溅射靶材中V的含量为7±0.7％，镍钒铸锭的纯度为99.9％-99.995％。所得镍钒溅射靶材的晶粒度≤150μm，晶粒细小，分布均匀。本发明所述的镍钒溅射靶材，纯度高，在99.9％以上；组织结构致密无气孔，晶粒细小均匀，晶粒度≤150μm，无磁性，溅镀效率高，可广泛应用于电子元器件、通讯、太阳能光伏光电等行业。
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公开(公告)号：CN109338314A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811471674.4
申请日：2018-12-04
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明属于集成电路用溅射靶材制造技术领域，公开了一种超细晶铜锰合金靶材的加工方法。该方法主要包括如下步骤：1)对铜锰合金铸锭进行高温锻造开坯；2)对步骤1)所得物进行150-250℃多轮次低温三向锻造；3)对步骤2)所得物在425-475℃进行再结晶热处理；4)对步骤3)所得物进行多次冷变形+回复退火，得到超细晶铜锰合金靶材。本发明得到的长寿命铜锰合金靶材其寿命可达3000kwh，平均晶粒尺寸在1μm以下，维氏硬度超过140HV，(220)取向百分比超过80％，可以有效提高靶材利用率，能够满足集成电路28nm及以下工艺制程的要求。
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公开(公告)号：CN209256427U
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201821777695.4
申请日：2018-10-31
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种普车加工不规则坯料外径的装夹装置。其包括前装夹圆板和后装夹圆板，前装夹圆板两个面分别是普车装夹面和坯料装夹面，后装夹圆板一侧为坯料装夹面，另一侧为普车连接面，普车连接面中心设与普车顶尖配合使用的圆孔，前装夹圆板和后装夹圆板之间装夹坯料的“三明治”装夹装置，消除了装夹偏心，避免了普车直接装夹不牢靠造成的安全隐患，也避免了多次装夹找正的繁琐，保证了装夹可靠，减少了装夹时间。
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公开(公告)号：CN211679870U
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201922467890.8
申请日：2019-12-31
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了集成电路用高纯金属熔炼与铸造技术领域的一种分体式高纯金属浇铸模具的底座。具体包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔；所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。本实用新型提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座适用于所有采用倾转式顶部浇铸的圆柱形模具设备，解决了传统单体式模具底座体积大、质量重、不易更换的难题。
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公开(公告)号：CN207646278U
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201721664317.0
申请日：2017-12-04
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种三向加热热处理炉的高效退火支架，其包括固定装置和隔热附件；固定装置包括：长条主干、短棒、焊接连接点和固定装置底座；隔热附件包括：外部保护板、通风孔和隔热填充物；本实用新型提供具有阻挡下底板辐射的影响，也不影响循环风的走向，达到对温度敏感度高的高纯金属靶材对热处理温度均匀性更高的使用要求，实现退火靶坯组织均匀且细小的目的。同时该退火支架能够同时退火N个靶坯，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN217453540U
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202122678822.3
申请日：2021-11-04
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B24C9/00
摘要： 本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，特别涉及一种靶材喷砂装置，包括：上盖、中间压圈、底座环、底座中心升降装置和法兰喷砂靶材。该喷砂装置的使用步骤为：放置底座环；底座中心升降装置升起，并在其上放置靶材；底座中心升降装置落下，连同靶材平稳置于底座环内径中；依据中间压圈和底座环的尺寸配合和安装孔连接关系，安装中间压圈；通过把手在靶面处放置上盖。该实用新型有效的解决了正面没有吊装孔靶材的喷砂难题。
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公开(公告)号：CN206286860U
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201621386987.6
申请日：2016-12-16
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23Q3/06
摘要： 本实用新型涉及一种立车快换装夹装置，包括三爪底座和圆弧附件。所述三爪底座是由三个台阶底座组成，所述台阶底座具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为第一定位面，在两层台阶上分别设有第一连接孔。三个圆弧附件与三个台阶底座一一对应；所述圆弧附件为台阶状且具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为圆弧夹紧面，三个圆弧附件的圆弧夹紧面的直径均相等；在圆弧附件的底部设有凸台，凸台的外侧面为第二定位面，与所述第一定位面配合进行定位；在圆弧附件的两层台阶上分别设有第二连接孔与所述第一连接孔相对应，以便连接安装。进一步地，所述第一定位面和第二定位面为直径相等的圆弧面，使得定位基准得以加强，定位可靠。
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公开(公告)号：CN213977861U
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202022531818.X
申请日：2020-11-05
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本实用新型公开了属于金属剪切和焊接领域的一种使用筒形背板的靶材组件；其中上盖板和下底环分别与圆筒的上下端面焊接，靶面与上盖板的上端面焊接；下底环和机台部件均放置于机台基板上，机台部件位于上盖板、圆筒和下底环围成的筒状区域内，且机台部件和上盖板、圆筒、下底环之间均留有缝隙。本实用新型的筒形背板中的上盖板和下底环来源于同一块圆形坯料，再与圆筒通过焊接方式连接形成筒形背板。本实用新型极大地降低传统方法中因材料大量切削而造成的原料浪费，提高了材料利用率；且适用于各种尺寸的筒形背板的制备，适用范围广。
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公开(公告)号：CN207642214U
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201721572065.9
申请日：2017-11-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种靶材背板快速成型装置，所述装置包括外圆环和冲压头，将加热坯料置于成型装置外圆环内，采用锻锤将冲压头压入坯料表面，使坯料充满成型装置，实现靶材背板快速成型。本实用新型适用于铝合金、铜及铜合金背板加工，采用快速成型装置，不仅能简化工序，提高加工效率，提升成品率，还能极大的降低成本。
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公开(公告)号：CN206854799U
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201621461049.8
申请日：2016-12-29
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于焊接模具范围的一种一体式焊接工装。所述一体式焊接工装的本体是由环形侧壁和圆形底组成的圆盘蝶形；圆盘蝶的圆形底为平底，中央开一圆通孔，在环形侧壁的内周面上设有定位台阶和外凸缘，外凸缘的上表面设置上凸缘，在外凸缘的上表面形成一圆环，并在上凸缘上开设有沿周向均布的四个凹槽。通过采用本实用新型提供的一体式焊接工装，既能够实现浸泡式焊接，避免焊缝不连续、出现孔洞等问题，也能够实现定位，从而极大地提高焊接效率。此外，本实用新型提供的一体式焊接工装操作简单，无需装配，能够保证良好的定位精度。
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