压力传感器模块及电子部件

    公开(公告)号:CN101566513A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200910137358.8

    申请日:2009-04-24

    Abstract: 本发明涉及压力传感器模块及电子部件,该压力传感器模块具有:压力传感器,其在半导体基板一面的中心区域的内部具有与该一面大致平行地扩展的间隙部,以位于该间隙部的一侧的被薄板化的区域作为膜片部,在该膜片部上配置有感压元件,并至少具有在一面上配置于上述膜片部之外的区域、与感压元件电连接的导电部;凸块,其按照各导电部配置,与该导电部分别电连接;层叠基板,其具有通过凸块与布线基材电连接。其中,布线基材配置于层叠基板的内部,布线基材的与凸块电连接的面的至少一部分从层叠基板中露出。

    压力传感器模块及电子部件

    公开(公告)号:CN102519655A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201210003048.9

    申请日:2009-04-24

    Abstract: 本发明涉及压力传感器模块及电子部件,该压力传感器模块具有:压力传感器,其在半导体基板一面的中心区域的内部具有与该一面大致平行地扩展的间隙部,以位于该间隙部的一侧的被薄板化的区域作为膜片部,在该膜片部上配置有感压元件,并至少具有在一面上配置于上述膜片部之外的区域、与感压元件电连接的导电部;凸块,其按照各导电部配置,与该导电部分别电连接;层叠基板,其具有通过凸块与布线基材电连接。其中,布线基材配置于层叠基板的内部,布线基材的与凸块电连接的面的至少一部分从层叠基板中露出。

    压力传感器模块
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101542257B

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN200780044175.0

    申请日:2007-11-13

    CPC classification number: G01L9/0054

    Abstract: 本发明的压力传感器模块(10),具有压力传感器(11)和层叠基板(21)。在压力传感器(11)的膜片部(14)附近形成电极(17)。层叠基板(21)层叠有多个基板(21a、21b),并使压力传感器(11)内置于其内部。构成压力传感器(11)的膜片部(14)的一面暴露于空间部。通过本发明,可以提供易于小型化、薄型化且能够高密度安装的压力传感器模块。

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