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    机械部件、机械系统和用于运行机械部件的方法
    12.
    发明公开
    机械部件、机械系统和用于运行机械部件的方法 有权

    公开(公告)号：CN103787266A

    公开(公告)日：2014-05-14

    申请号：CN201310756911.2

    申请日：2013-10-25

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： M·I·阿尔迪布斯 ,  F·N·恩吉蒙齐 ,  J·穆霍

    IPC分类号： B81B7/02 ,  G01P15/097 ,  G01P3/42

    CPC分类号： B81C99/003 ,  G02B26/0833

    摘要： 本发明涉及一种机械部件，所述机械部件具有保持装置(10)、可调节部件(12)、第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b)，所述可调节部件(12)能够至少处于具有第一固有频率的第一振动模式中和具有与所述第一固有频率不同的第二固有频率的第二振动模式中，借助所述第一传感器装置能够提供第一传感器信号(U1)，借助所述第二传感器装置能够提供第二传感器信号(U2)，其中，所述第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b)彼此连接，使得能够借助至少所述第一传感器信号(U1)和所述第二传感器信号(U2)生成一个总信号(Uges，54)，所述总信号具有由所述总信号(Uges，54)的在激励所述第一振动模式时出现的第一最大量值和所述总信号(Uges，54)的在激励所述第二振动模式时出现的第二最大量值构成的有利的总比例。本发明也涉及一种机械系统和一种用于运行机械部件的方法。

    具有内置校准能力的压力传感器
    16.
    发明公开
    具有内置校准能力的压力传感器 失效

    公开(公告)号：CN104697703A

    公开(公告)日：2015-06-10

    申请号：CN201410655567.2

    申请日：2014-11-18

    申请人： 飞思卡尔半导体公司

    发明人： C·S·达沃森 ,  P·T·琼斯

    IPC分类号： G01L9/12 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

    CPC分类号： G01L27/002 ,  B81B2201/0264 ,  B81C99/003 ,  G01L9/0073 ,  H01L41/08

    摘要： 本发明涉及具有内置校准能力的压力传感器。MEMS压力传感器(70)包括传感单元(80)、测试单元(82)和密封结构(84)。所述测试单元包括测试腔(104)，并且所述密封结构(84)与所述测试腔相通，其中所述密封结构被配置为破裂以将位于所述测试腔(104)内的初始腔压力(51)改变至环境压力(26)。校准方法(180)包含在破裂所述密封结构之前从所述测试单元获得(184)测试信号(186)，并且在所述密封结构破裂之后获得(194)另一个测试信号(196)。所述测试信号被用于计算所述测试单元的灵敏度(200)，所计算的灵敏度被用于估计所述传感单元的所述灵敏度(204)并且所述估计的灵敏度(204)可以被用于校准所述传感单元。

    驱动控制微机械装置的设备和方法
    19.
    发明授权
    驱动控制微机械装置的设备和方法 失效

    公开(公告)号：CN101276691B

    公开(公告)日：2011-12-21

    申请号：CN200810086194.6

    申请日：2008-03-18

    申请人： 富士通株式会社

    发明人： 米泽游 ,  岛内岳明 ,  三岛直之 ,  上田知史 ,  宓晓宇 ,  今井雅彦

    IPC分类号： H01G7/06 ,  H01G7/00 ,  B81B7/02 ,  H01H47/00 ,  H01L41/00

    CPC分类号： H01G5/16 ,  B81B7/008 ,  B81C99/003 ,  H01H2059/0018

    摘要： 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流的正侧和负侧，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取所述微机械装置的电容的时间常数或用于识别出所述电容的时间常数所需的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。

    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法
    20.
    发明授权
    平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法 有权

    公开(公告)号：CN103998894B

    公开(公告)日：2017-12-05

    申请号：CN201280059912.5

    申请日：2012-12-03

    申请人： 萨甘安全防护公司

    发明人： A·金洛伊

    IPC分类号： G01C19/574

    CPC分类号： G01C19/574 ,  B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81C99/0025 ,  B81C99/003 ,  B81C99/0045

    摘要： MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。