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公开(公告)号:CN107112209A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580069607.8
申请日:2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B),并且满足要求(1):ECG值大于或等于2.30GPa,其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积%以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号:CN106574007A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201580041479.6
申请日:2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F220/18 , B05D3/06 , B05D3/12 , C08F2/48 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/102 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/4846 , H05K3/06 , H05K3/064
Abstract: 一种光固化性组合物,其包括聚合性化合物;和光聚合引发剂,其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物,其中通式(1)中,Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团,R1表示可具有取代基的烷基或氢原子,R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基,m为2以上的整数,和n为1以上的整数。
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公开(公告)号:CN104640884B
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201380048923.8
申请日:2013-09-20
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/004 , B29K2105/0005 , B29K2909/00 , B29L2011/00 , B29L2031/3425 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F2/48 , C08F22/105 , C08F222/1006 , C09D4/00 , C09D7/47 , G03F7/0002 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/20 , G03F7/38 , G03F7/40 , H05K3/06
Abstract: 要用于制造具有高生产性的膜的本发明的光固化性组合物是一种光固化性组合物,其要用于在所述光固化性组合物与在其表面上具有凹凸图案的模具接触的状态下,通过将所述光固化性组合物使用光来固化而制造具有预定图案形状的膜,所述光固化性组合物包括:聚合性化合物;光聚合引发剂;用于通过光刺激来产生气体的感光性气体产生剂;和用于增加在所述模具和所述光固化性组合物之间的界面处的产生自所述感光性气体产生剂的所述气体的聚集速率的气体产生促进剂,其中所述气体产生促进剂包括没有聚合性取代基的含氟原子的表面活性剂。
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公开(公告)号:CN104379611B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201380029490.1
申请日:2013-05-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/44 , B29C59/02 , C08F2/46 , C08F20/18 , C08G85/00 , H01L21/027 , B29K27/12 , B29K71/00 , C07C43/11
CPC classification number: C08F222/1006 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F20/18 , C08F2222/1013 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/11 , Y10T428/24802
Abstract: 一种固化性组合物,其含有聚合性化合物和聚合引发剂。所述聚合引发剂引发聚合从而固化所述聚合性化合物。所述固化性组合物进一步含有具有以下通式(1)和(2)的化合物:[化学式1][化学式2]其中X1选自羟基、羧基、磺基、氨基和烷氧基,l1表示在0至7的范围内的整数,m1表示在1至5的范围内的整数,并且n1表示在1至16的范围内的整数;并且X2选自羟基、羧基、磺基、氨基和烷氧基,l2表示在0至7的范围内的整数,m2表示在1至5的范围内的整数,并且n2表示在1至16的范围内的整数。
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公开(公告)号:CN105580109A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201480053312.7
申请日:2014-09-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H05K3/245 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/0274
Abstract: 提供一种精确且简便地检测模具与基板的对准标记的方法,并相应地提供高通量的图案化膜的形成方法,以及还提供光学组件的制造方法、电路板的制造方法和电子组件的制造方法。图案化膜通过光-纳米压印来形成。在所述方法中,气体满足下述不等式(1):|nM-nR|≤|nM-nR′| (1)在不等式(1)中,nR表示在光的波长下不含气体的组合物的折射率,nR′表示在所述光的波长下含有气体的光固化性组合物的折射率,和nM表示在所述光的波长下模具的折射率。
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公开(公告)号:CN104662049A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201380048860.6
申请日:2013-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/768 , H01L23/532 , H05K3/10
Abstract: 提供一种具有高填充性并能够在通过利用光压印法生产膜时降低脱模力的光固化性组合物,和使用该光固化性组合物的膜的制造方法。光固化性组合物为包括至少下列组分(A)至组分(C)的光固化性组合物:(A)可聚合化合物;(B)光聚合引发剂;和(C)由下列通式(1)表示的表面活性剂:Rf1-Rc-X (1)。
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公开(公告)号:CN104379611A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380029490.1
申请日:2013-05-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/44 , B29C59/02 , C08F2/46 , C08F20/18 , C08G85/00 , H01L21/027 , B29K27/12 , B29K71/00 , C07C43/11
CPC classification number: C08F222/1006 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F20/18 , C08F2222/1013 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/11 , Y10T428/24802
Abstract: 一种固化性组合物,其含有聚合性化合物和聚合引发剂。所述聚合引发剂引发聚合从而固化所述聚合性化合物。所述固化性组合物进一步含有具有以下通式(1)和(2)的化合物:[化学式1][化学式2]其中X1选自羟基、羧基、磺基、氨基和烷氧基,l1表示在0至7的范围内的整数,m1表示在1至5的范围内的整数,并且n1表示在1至16的范围内的整数;并且X2选自羟基、羧基、磺基、氨基和烷氧基,l2表示在0至7的范围内的整数,m2表示在1至5的范围内的整数,并且n2表示在1至16的范围内的整数。
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公开(公告)号:CN102213779B
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201110087240.6
申请日:2011-04-02
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 伊藤俊树
CPC classification number: G02B3/0087 , B29D11/00355 , G02B1/041 , C08L33/08 , C08L33/10
Abstract: 透镜和透镜的制备方法。透镜包括透明部件,其中该透明部件含有多种由有机单体形成的聚合物;该透明部件由于该多种聚合物而具有折射率分布;并且将具有比该透明部件低的热膨胀系数的颗粒分散在该透明部件中。
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公开(公告)号:CN102213779A
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN201110087240.6
申请日:2011-04-02
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 伊藤俊树
CPC classification number: G02B3/0087 , B29D11/00355 , G02B1/041 , C08L33/08 , C08L33/10
Abstract: 透镜和透镜的制备方法。透镜包括透明部件,其中该透明部件含有多种由有机单体形成的聚合物;该透明部件由于该多种聚合物而具有折射率分布;并且将具有比该透明部件低的热膨胀系数的颗粒分散在该透明部件中。
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公开(公告)号:CN119644669A
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202411282441.5
申请日:2024-09-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了模具、制造方法、膜形成方法、物品制造方法和压印装置。模具包括第一部分和第二部分,其中,第一部分包括第一表面和位于第一表面的相反侧的第二表面,第二表面包括具有凹形的凹部,第一表面包括具有凸形的凸部,第二部分包括:与第一部分的凸部结合的第三表面和位于第三表面的相反侧的第四表面,在第四表面上形成要转印到转印对象的图案,第一部分由具有第一弹性模量的材料制成,并且第二部分由具有比第一弹性模量低的第二弹性模量的材料制成。
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