一种太阳能电池整厂智能制造控制系统

    公开(公告)号:CN112186077A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202011124021.6

    申请日:2020-10-20

    IPC分类号: H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种太阳能电池整厂智能制造控制系统,包括控制单元、AGV单元和多个控制站点,各控制站点分别对应不同的工艺段,分别为制绒控制站点、退火控制站点、二次清洗控制站点、扩散控制站点、码雅控制站点、PECVD控制站点和丝印控制站点;各控制站点均为独立的控制站点且独立供电,各控制站点之间相互链接且均与控制单元相连以形成环网;所述AGV单元接入所述环网,所述控制单元控制所述AGV单元中的AGV小车在各工艺段之间进行取料和送料作业。本发明具有自动化智能化程度高、生产效率高、安全可靠等优点。

    一种自动裂片装置
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111816590A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010693104.0

    申请日:2020-07-17

    IPC分类号: H01L21/67 H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种自动裂片装置,包括固定基座、旋转机构、取放片机构和裂片机构,旋转机构设在固定基座上,取放片机构包括连接座、两块吸附板和真空吸盘,两块吸附板并排安装在连接座上,两个吸附板之间具有裂片间隙,各吸附板上设有通孔,真空吸盘位于通孔内,连接座与旋转机构连接,并悬空在旋转机构的一侧,所述裂片机构包括惰性气体管道和两个裂片座,两个裂片座设于裂片间隙的两端,并各自固定在连接座上,惰性气体管道安装在两个裂片座上,位于裂片间隙内,惰性气体管道前端采用堵头堵住,惰性气体管道朝下的面上设有成排的多个裂片出气孔。本发明靠管道释放惰性气体使电池片裂开,避免机械等其它方式裂片产生的崩边、崩角等现象。

    一种插片机分区域控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN111694334A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010598268.5

    申请日:2020-06-28

    摘要: 本发明公开了一种插片机分区域控制系统,包括花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元;其中一个工位的控制单元为主控制单元,主控制单元的供电电源的输入端用于连接外部电源,主控制单元的供电电源的输出端则分别与其它各工位控制单元的电源相连;各工位控制单元之间相互通讯连接以形成环网。本发明还公开了一种控制方法,包括:在初始状态下,一键启动各个工位控制单元;在某个工位控制单元出现故障时,故障的工位控制单元跳出自动,进入故障状态,其他工位控制单元则不受影响;故障处理完成后,重新启动此工位控制单元,进入自动模式。本发明具有分区独立控制、测试以及运行效率高等优点。

    一种管式PECVD石墨舟结构
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109524336B

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN201811354016.7

    申请日:2018-11-14

    IPC分类号: H01L21/673 H01L31/18

    摘要: 本发明的管式PECVD石墨舟结构,包括陶瓷基座、两个舟片锁紧盘组件、两个陶瓷固定环、石墨棒和多个舟片,舟片锁紧盘组件包括陶瓷绝缘盘和石墨导电盘,石墨导电盘上设有多个卡槽和多个第一导电槽,卡槽与第一导电槽均匀交错布置,陶瓷绝缘盘上设有多个卡齿,卡齿与卡槽的数量相等且二者配合,卡齿上设有第二导电槽,陶瓷基座上的安装柱面上设有舟片安装槽,陶瓷固定环上设有固定槽,舟片可沿轴向插入舟片安装槽内,舟片前端同时卡在前端的第一导电槽和固定槽内,舟片的后端同时卡在后端的第二导电槽和固定槽内。本发明中舟片呈扇形布置,充分利用石英管的空间,载片量比现有大,石墨舟电极处在石英管的中心,而舟片在电极外周,能使气流场更平顺均匀。

    一种PECVD表面镀膜的上下料方法

    公开(公告)号:CN111628046A

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN202010467836.8

    申请日:2020-05-28

    摘要: 本发明公开了一种PECVD表面镀膜的上下料方法,包括石墨舟就位、石墨舟上缓存架、石墨舟上推舟机构、进舟前镀膜检测、石墨舟进反应室、石墨舟出反应室、石墨舟上传送机构、取片前镀膜检测、石墨舟返回插取片机等步骤。本发明在石墨舟的必经之路上增加两步是否镀膜检测步骤,其一用于检测推舟机构上即将进入反应室内的石墨舟内硅片是否已经进行镀膜,避免出现反应室内出现二次镀膜,其二是用于检测传送机构上将要进入插取片机的硅片是否的镀膜,避免没有进行镀膜的硅片流入下一道工序,从而确保每一舟硅片完成镀膜,而且没有重复镀膜,保证了生产流程的顺畅,硅片的效率更加稳定,提升了电池片的质量。

    平板式PECVD设备的微波天线组件及平板式PECVD设备

    公开(公告)号:CN111485228A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN202010565829.1

    申请日:2020-06-19

    摘要: 本发明公开了一种平板式PECVD设备的微波天线组件,包括微波天线及微波隔离石英管,所述微波天线设于平板式PECVD设备的真空腔室的外侧,所述微波隔离石英管设于所述真空腔室内,微波天线组件还包括石英管旋转驱动件,所述石英管旋转驱动件与所述微波隔离石英管相连。本发明还公开了一种平板式PECVD设备,包括真空腔室,所述真空腔室内设有工件载板及载板输送部件,还包括前述的平板式PECVD设备的微波天线组件。本发明具备有利于减缓薄膜的附着速率,延长石英管更换周期,提高生产效率等优点。

    一种用于石墨舟的预热箱
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108300981B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201711385277.0

    申请日:2017-12-20

    IPC分类号: C23C16/50

    摘要: 本发明公开了一种用于石墨舟的预热箱,包括盖板、预热箱主体和加热元件,预热箱主体包括顶板、后侧板和底板,盖板包括左侧板、右侧板和前侧板,顶板、后侧板、底板与左侧板、右侧板和前侧板围成一个放置石墨舟的空腔,加热元件设于该空腔内,底板的左侧、右侧和前侧分别设有左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁,左侧板、右侧板和前侧板分别支承于左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁上,前侧增高梁与左侧增高梁和右侧增高梁之间预留石墨舟通道,顶板左端面与左侧板的内侧面共面,顶板的右端面与右侧板的内侧面共面,盖板、预热箱主体之间设有驱动盖板沿后侧板升降的升降驱动。本发明具有专门针对石墨舟进行加热、占用空间小的优点。

    利用管式PECVD制备背面全钝化接触太阳电池的方法及背面全钝化接触太阳电池

    公开(公告)号:CN111106183A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201911366006.X

    申请日:2019-12-26

    摘要: 本发明公开了一种利用管式PECVD制备背面全钝化接触太阳电池的方法及背面全钝化接触太阳电池,该方法包括以下步骤:对硅片进行预清洗、双面制绒、正面硼扩散、正面激光选择性掺杂、二次清洗、背面抛光;利用管式PECVD设备背面沉积二氧化硅薄膜层、磷掺杂非晶碳化硅薄膜层,并进行退火处理,使非晶碳化硅转变为微晶碳化硅;沉积Al2O3钝化层和减反射层;丝网印刷和烧结,得到背面全钝化接触太阳电池。本发明方法具有工艺简单、操作方便、成本低廉、与现有产线兼容好、制备可控性好、制备效率高、安全性好等优点,能够制备高效率的背面全钝化接触太阳电池,且适合于大规模制备,利于工业化应用,有着很高的使用价值和很好的应用前景。

    一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置

    公开(公告)号:CN111036013A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201910749071.4

    申请日:2019-08-14

    发明人: 罗志敏 廖惠东

    IPC分类号: B01D50/00

    摘要: 本发明公开了一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置,包括捕捉腔室,所述捕捉腔室内沿尾气的流动方向依次设有用于对尾气进行加热的加热区、用于对尾气进行冷却的冷却区、以及用于对尾气进行过滤的过滤区,所述加热区配设有水汽输入管。本发明具有有利于捕捉尾气中的粉尘,将尾气中的Al(CH3)3进行分解、反应并捕捉等优点。

    一种电加热炉体
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110822903A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201911182187.0

    申请日:2019-11-27

    IPC分类号: F27B17/00 F27D11/02

    摘要: 本发明公开了一种电加热炉体,包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置,内腔体设于炉壳内,隔热层设于内腔体与炉壳之间,炉壳的两端分别设有端盖和炉门,加热装置包括至少一组环形布置的加热丝,加热丝设于隔热层与内腔体之间,加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成,铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端,加热器冷端固定在端盖上,各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构,免去是石英管的搬运和安装环节,用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝,降低炉丝的热容,免去复杂的绕丝和卡绝缘子,将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上,不在炉壳的外圆周面上,避免搬运安装过程中碰断。