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公开(公告)号:CN1733968A
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN200510090359.3
申请日:2005-08-12
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C23C16/513 , C23C16/27
CPC classification number: C23C16/515 , C23C16/26 , Y10T428/30
Abstract: 本发明在使用含有碳源的原料气体生成放电等离子体而形成薄膜时,可以得到品质良好的薄膜。在对置电极(4)、(5)的至少一个上设置基材(6)。通过在含有含碳源原料气体的气氛中,向对置电极(4)、(5)间施加脉冲电压而产生放电等离子体,在基材(6)上生成薄膜(7)。作为脉冲电压施加正脉冲和负脉冲,并且正脉冲和负脉冲的脉冲半幅值小于等于1000ns。
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公开(公告)号:CN1523132A
公开(公告)日:2004-08-25
申请号:CN200410005255.3
申请日:2004-02-17
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C23C16/515
CPC classification number: C23C16/515 , C23C16/045 , C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/45557
Abstract: 本发明的目的是在一个过程中可再现地形成薄膜,所述过程用于通过等离子体CVD在面向在基片中形成的空间的内壁表面上形成薄膜。薄膜22被产生于基片20的内壁表面20b上,该表面面向在基片20中形成的空间23。基片20被包含在用于等离子体CVD过程的室中。用于等离子体反应的气体然后被流到空间23中并且脉冲电压被施加于基片20上,而基本上不将直流偏置电压施加于基片20上,从而在内壁表面20b上形成薄膜。
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公开(公告)号:CN113439209B
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN201980090927.X
申请日:2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备:长条的长方体形状的元件主体102,在其内部设置有被测定气体流通部9;测定电极,其配设于被测定气体流通部9的内周面上;以及多孔质的保护层84,其将元件主体102的第一~第五面102a~102e覆盖。将在元件主体102的一部分且是从被测定气体流通部9至第一~第五面102a~102e的各面的部分存在的外壁105中最薄的第五外壁105e设为最薄外壁,将与最薄外壁对应的第五面102e设为最接近面,保护层84中的将最接近面覆盖的第五保护层84e在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁整体重叠。第五保护层84e具有:在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁的80%以上重叠的第五内部空间90e。
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公开(公告)号:CN114347222A
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN202110822392.X
申请日:2021-07-21
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种挤出成型机,其能够制造尺寸精度高且表面性状良好的成型体。挤出成型机(1)具备成型部(20),该成型部(20)构成为:在一端具有口模(21),另一端与挤出部(10)的挤出口(13)连接,并且,在内部配置有格网(22)。成型部(20)在格网(22)与口模(21)之间具有2个以上的温度调节部件(23a、23b),并在2个以上的温度调节部件(23a、23b)之间配置有隔热部件(24)。
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公开(公告)号:CN113439209A
公开(公告)日:2021-09-24
申请号:CN201980090927.X
申请日:2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备:长条的长方体形状的元件主体102,在其内部设置有被测定气体流通部9;测定电极,其配设于被测定气体流通部9的内周面上;以及多孔质的保护层84,其将元件主体102的第一~第五面102a~102e覆盖。将在元件主体102的一部分且是从被测定气体流通部9至第一~第五面102a~102e的各面的部分存在的外壁105中最薄的第五外壁105e设为最薄外壁,将与最薄外壁对应的第五面102e设为最接近面,保护层84中的将最接近面覆盖的第五保护层84e在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁整体重叠。第五保护层84e具有:在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁的80%以上重叠的第五内部空间90e。
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公开(公告)号:CN106664790A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201680002242.1
申请日:2016-08-18
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 原子束源(10)具备:筒状的阴极(20),其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30);设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40;以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50);通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成,从而抑制溅射粒子的射出,该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。
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公开(公告)号:CN103635770B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201280032166.0
申请日:2012-06-29
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: F28D15/00 , F28D21/0003 , F28F21/04 , F28F2265/26
Abstract: 本发明提供一种热交换部件,该热交换器通过缓和热应力从而使由热应力导致的破损难以产生。该热交换部件具有蜂窝构造体(1)和被覆部件。在蜂窝构造体(1)的外周壁(7)具有至少一个狭缝(15)。被覆部件以可以进行在第一流体与第二流体之间的热交换地被覆蜂窝构造体(1)。热交换部件(10)在流通孔格(3)的第一流体与流通被覆部件的外侧的第二流体不混合的状态下,通过蜂窝构造体(1)的外周壁(7)以及被覆部件使第一流体与第二流体进行热交换。
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公开(公告)号:CN101541491B
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN200880000601.5
申请日:2008-07-18
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B28B11/006 , B28B11/007
Abstract: 本发明提供通过缩短时间来消减制造成本的具有封孔部的蜂窝结构体的制造方法及其制造装置。在蜂窝结构体(1)上实施掩模,向该掩模上或与掩模为同一平面上供给具有流动性的封孔材料(31)(浆料或糊料),通过在掩模的表面上使相对于该表面配置成锐角并具有用于对封孔材料(31)加压的加压面的加压部件(24)移动,从而用加压面对封孔材料(31)加压并将封孔材料(31)填充到蜂窝结构体的隔室内。具体地说,使加压面的一部分区域通过封孔材料(31)与掩模接触并在掩模上移动,对封孔材料(31)向隔室一侧加压的同时将剩余的封孔材料(31)向移动方向推出,并且一边形成面接触区域一边加压填充到隔室内。
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公开(公告)号:CN101977743B
公开(公告)日:2012-10-10
申请号:CN200980110684.8
申请日:2009-02-27
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B28B11/006 , B01D46/0001 , B01D2279/30 , B28B11/007
Abstract: 提供一种封孔蜂窝结构体的制造装置以及其制造方法,该制造装置能够通过缩短制造时间而消减制造成本。封孔蜂窝结构体的制造装置,具有:台部(11),其具有用于插入蜂窝结构体(1)的端部的通孔(11h);定位单元,其在台部(11)的通孔(11h)内,使端面(8)露出在第一面(11a)侧地对蜂窝结构体(1)进行定位保持;以及膜保持部(13),其将膜(25)的残余部分固定在台部(11)的第二面(11b)侧。在将膜(25)固定之后或之前,在膜(25)上形成与蜂窝结构体(1)的隔室(3)的开孔相对应的孔,通过向该孔填充封孔材料(31)来制造封孔蜂窝结构体(1)。
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