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公开(公告)号：CN103792482A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201310526787.0
申请日：2013-10-30
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2887 , G01R1/07378
Abstract: 检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统。提供了探针卡隔着真空室与连接体一体化的检查单元。该检查单元防止了设置在探针卡上的探针的顶端的平面度在探针卡由于真空室的吸力（负压）而与连接体一体化时劣化。检查单元包括：探针卡，其在其第一表面具有探针；和连接体，其隔着第一真空室与探针卡的第二表面一体化。第一真空室形成有多个室。
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公开(公告)号：CN102081110B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201010566098.9
申请日：2010-11-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。
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公开(公告)号：CN103456667A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310184743.4
申请日：2013-05-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出；支承机构，其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位，以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。
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公开(公告)号：CN103135046A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210518234.6
申请日：2012-12-05
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R1/0408 , G01R1/06705 , G01R1/07307 , G01R31/26 , G01R31/2608 , G01R31/2648 , G01R31/2865
Abstract: 本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极用探针和吸盘台，在所述吸盘台的上表面，晶片保持部和导电性的探针接触区域相邻地配置，所述探针接触区域与所述晶片保持部电导通，所述表面电极用探与所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对移动了时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对移动。
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公开(公告)号：CN102368079A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN201110168482.8
申请日：2011-06-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。在探针组合体中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝的第1狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝的第2狭缝杆以该第2狭缝相对于第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在第1狭缝杆上，使第1和第2狭缝杆的前部针尖区域的至少一部分分别位于第1和第2狭缝中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102280518A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110079496.2
申请日：2011-03-23
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供了一种探测单元相对平行度调整装置，其能够在短时间内确认探测单元相对于在带状电极的宽度方向并列设置有带状电极的板构件是否平行，并在短时间内对其平行度进行调整。本发明的探测单元相对平行度调整装置包括：对探测单元相对于板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测探测单元和板构件之间的距离的多个传感器；传感器输出取得单元，其取得探针和带状电极相对接近并接触前后的来自各传感器的输出；调整参照信息形成单元，其根据取得的各传感器的输出，形成在探测单元的平行度调整中所参照的信息。
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公开(公告)号：CN101523231B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200780038149.7
申请日：2007-09-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 大里卫知
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R1/0466
Abstract: 电连接装置包括：壳体，其具有第一凹部和多个槽，上述第一凹部为在水平面内向第一方向延伸且向下方开口的第一凹部，至少具有后方侧朝内面，上述多个槽在上述第一方向上隔着间隔并在上述水平面内向与上述第一方向交叉的第二方向延伸；多个触头，该多个触头的各个触头以在上述槽内从上述第一凹部内延伸的状态被配置在上述壳体中，对设置在基板上的导电性部与被检查体的电极进行电连接；以及压针器，其被配置在上述第一凹部。第一凹部的后方侧朝内面包括倾斜部，该倾斜部相对于水平面以及垂直于该水平面的垂直面这两个面倾斜成越往上方越成为前方的状态，各触头在其后端的至少一部分处与倾斜部抵接。由此，触头相对于导电性部的滑动减少。
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公开(公告)号：CN101297445B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200580051922.4
申请日：2005-10-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 长谷川义荣
IPC: H01R43/00
CPC classification number: H01R13/2407 , H01R13/2464
Abstract: 本发明提供一种电连接装置的装配方法。该电连接装置包括支承构件、探针基板和配置于支承构件及探针基板之间的间隔套管。测定支承构件的抵接部位及与其相面对的上述探针基板的抵接部位中的至少一方抵接部位的高度，分别测定多个间隔套管的长度。根据由这些测定获得的测定值，对每个上述两抵接部位之间，选择适合将设于上述探针基板上的多个探针的前端保持在同一个面上的间隔套管。
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公开(公告)号：CN1906493B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200480040463.5
申请日：2004-10-26
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 长谷川义荣
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/06727
Abstract: 一种电连接装置及触头，该电连接装置包括基板、和第1触头组及第2触头组。上述基板具有第1及第2安装部组，该第1及第2安装部组分别具有在第1方向交替配置着的多个第1及第2安装部；上述第1及第2触头组，分别具有多个呈悬臂梁状地分别安装在上述第1及第2安装部上的第1触头及第2触头。上述第1及第2触头使上述基板上的安装位置在与上述第1方向交叉的第2方向错开位置。由此，由于可防止损伤受到安装触头时的热量的影响的相邻安装部，从而可以减小触头的配置间距。
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公开(公告)号：CN102054413A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010535039.5
申请日：2010-11-04
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种平板状被检查体的测试装置，其防止被检查体掉落到触头上。测试装置包括：面板承接件，其具有承接平板状被检查体的矩形的面板承接面；探针单元，其具有探针块，该探针块具有按压于上述被检查体的电极的多个触头；多个保护构件，其位于上述面板承接面的外侧。多个保护构件在上述矩形的至少一条边的方向上隔开间隔，而且各保护构件的上端位于上述触头的最高位置的上方。
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