公开(公告)号：CN106461936A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580031689.7

申请日：2015-05-29

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R·施特劳布 ,  S·平特 ,  J·巴德尔 ,  A·迪尔 ,  F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ,  J·穆霍 ,  H·格鲁茨埃克 ,  S·马克

IPC分类号： G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC分类号： G02B26/085 ,  B81B3/004 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/105 ,  H04N9/312 ,  B81B2201/04

摘要： 本发明公开了一种微镜组件，所述微镜组件具有弹性悬挂的镜；具有至少一个止挡装置，该止挡装置构造成用于在所述镜从该镜的静止位置出发沿预给定方向运动时限制所述镜的运动。此外，本发明公开了一种投影装置。

公开(公告)号：CN105899995A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201480072861.9

申请日：2014-12-16

申请人： 高通MEMS科技公司

发明人： 笹川照夫 ,  理查德·叶 ,  寇斯坦丁·狄米绰夫·乔尔杰夫 ,  赫瑞什科士·维加伊库马尔·班差瓦加

IPC分类号： G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B26/001 ,  B81B3/00 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/047 ,  B81C1/00134 ,  G02B1/12 ,  G02B26/007 ,  G02B26/0841

摘要： 本发明提供关于机电显示装置的系统、方法和设备。在一个方面中，多级干涉调制器IMOD可包含可移到不同位置以产生不同反射色彩的可移动反射器。所述IMOD可包含耦合到所述可移动反射器的背面且对所述可移动反射器提供支撑的可变形元件。所述可变形元件可提供将所述可移动反射器偏置到停置位置的复原力。所述IMOD可包含经配置以在啮合时增加所述复原力的一或多个复原力修改器。所述复原力修改器可位于所述可移动反射器与所述可变形元件之间，以使得当所述可移动反射器移位到接触位置时，所述可变形元件接触所述复原力修改器。

公开(公告)号：CN105628011A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201510784514.5

申请日：2015-11-16

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 金钟云 ,  韩源 ,  宋钟亨

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/5733 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0062 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0822 ,  G01P2015/084 ,  G01C19/56

摘要： 提供一种角速度传感器，所述角速度传感器包括：第一框架内的第一质量体和第二质量体；第一柔性连接器系统，将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架，并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器；第二柔性连接器系统，将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架，并包括驱动器，以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动，从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移，并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。

公开(公告)号：CN105359553A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037706.3

申请日：2014-06-27

申请人： 歌尔声学股份有限公司

发明人： 王喆

IPC分类号： H04R19/04 ,  B81B7/00

CPC分类号： H04R19/04 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/015 ,  B81C2203/0714 ,  H04R19/005 ,  H04R2201/003

摘要： 本发明涉及一种具有悬挂式振膜的硅麦克风以及具有该硅麦克风的系统，所述麦克风包括：硅基底，在所述硅基底中设置有背孔；柔性振膜，设置在所述硅基底的背孔的上方并且与所述硅基底分离；穿孔背板，设置在所述振膜的上方，在所述穿孔背板与所述振膜之间夹有空气间隙；以及精确限定的支撑机构，设置在所述振膜与所述背板之间，所述支撑机构的一端固定在所述振膜的边缘上并且其另一端固定在所述背板上，其中所述振膜和所述背板用于形成可变电容器的电极板。所述具有悬挂式振膜的麦克风可以提高性能的可重复性和可再现性并且可以减少由所述基底引起的振膜应力。

公开(公告)号：CN105228946A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201480027517.8

申请日：2014-03-17

申请人： 维斯普瑞公司

发明人： 达娜·德勒斯 ,  肖恩·J·坎宁安 ,  阿瑟·S·莫里斯

IPC分类号： B81B7/02 ,  H01G5/14

CPC分类号： B81B3/001 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/053 ,  H01G4/1227 ,  H01G5/18

摘要： 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。

公开(公告)号：CN104838275A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201380064812.6

申请日：2013-12-09

申请人： 株式会社村田制作所

发明人： 北居正弘 ,  市丸正幸

IPC分类号： G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC分类号： B81B3/0051 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/123 ,  H01L29/84

摘要： 本发明提供一种能同时实现宽检测频带和高S/N比的角加速度传感器以及加速度传感器。角加速度传感器(10)具有沿着X-Y面的平板面，包括：固定部(12)、锤部(13)、梁部(14)、以及压电电阻元件(15A～15D)。锤部(13)相对于固定部(12)被支承。梁部(14)沿着Y轴延伸，连接固定部(12)和锤部(13)。梁部(14)在X轴方向的宽度尺寸大于梁部(14)和固定部(12)的连接部中宽度方向的尺寸。

公开(公告)号：CN104743494A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410769367.X

申请日：2014-12-12

申请人： 索尼公司

发明人： 秋叶朗 ,  桥本光生 ,  福山宗克

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01P15/125

CPC分类号： B81B3/0051 ,  B81B2203/0136

摘要： 本发明提供了一种能够在确保耐冲击性的同时实现小型化和电压降低的功能元件以及使用这种功能元件的加速度传感器和开关，其中所述功能元件包括：基板；和可动部，所述可动部构造成由所述基板保持并可沿着在所述基板的面内的第一方向移动，其中所述可动部包括具有相对较高刚性的多个第一轴部，所述多个第一轴部以沿着第一方向延伸且彼此线对称的方式并排配置，以及在第一轴部的大致延长线上设置构造成对所述可动部进行制动的突起。

公开(公告)号：CN104627948A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201410637249.3

申请日：2014-11-05

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： J·赖因穆特 ,  J·贡斯卡

IPC分类号： B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC分类号： B81B7/0038 ,  B81B3/0051 ,  B81C1/00238 ,  B81C1/00285 ,  B81C2203/0792 ,  H01L2924/16235

摘要： 本发明涉及一种微机械传感器设备以及相应的制造方法。所述微机械传感器设备包括：具有前侧(VS)和背侧(RS)的CMOS晶片(1)、在所述CMOS晶片(1)的前侧(VS)上构造的具有多个堆叠的印制导线层面(LB0、LB1、LB2)和绝缘层(I)的再布线装置(1a)、具有前侧(V10)和背侧(R10)的MEMS晶片(10)、在所述MEMS晶片(1)的前侧(VS)上构造的微机械传感器装置(MS)、在所述MEMS晶片(10)与所述CMOS晶片(1)之间的键合连接(B)、在所述MEMS晶片(10)与所述CMOS晶片(1)之间的腔(KV)以及施加在多个堆叠的印制导线层面(LB0、LB1、LB2)和绝缘层(I)中的至少一个上的暴露的吸气剂层区域(G1；G1’)，所述传感器装置(MS)密封地包围在所述腔中。

公开(公告)号：CN104512858A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410495680.9

申请日：2014-09-25

申请人： 英特尔公司

发明人： 郑永康 ,  S.K.哈奈 ,  林淇煌

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC分类号： B81C1/0015 ,  B81B3/0051 ,  B81B2207/015 ,  B81C1/00476 ,  B81C2203/0714 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0771 ,  H01L21/568 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/73267

摘要： 半导体封装包括悬挂梁部分，悬挂梁部分包含通孔结构的布置。在一实施例中，悬挂梁部分的第一表面包含边缘，每个边缘部分地定义在第一表面与第二表面之间延伸的多个通孔的相应通孔。第一表面包括多个臂部分，每个臂部分位于相应一对边缘邻近的边缘之间。第一表面包括多个节点部分，每个节点部分位于多个臂部分中的三个或者更多的相应接合处。在另一实施例中，对于多个节点部分的每个节点部分，在节点部分处彼此连结的臂部分的相应总数是不同于四的数，或者在节点部分处彼此连结的两个臂部分具有彼此倾斜的相应中线。

公开(公告)号：CN104297523A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410340387.5

申请日：2014-07-16

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 田中悟

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： B81B3/0021 ,  B81B3/0013 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242

摘要： 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地对物理量进行检测。本发明所涉及的功能元件(100)包括：可动体(20)，其能够沿着第一轴而进行位移；固定部(30)，其通过连结部(40)而对可动体(20)进行支承；可动电极部(8)，其从可动体(20)起延伸；固定电极部(71)，其以与可动电极部(8)对置的方式而配置；延伸部(61)，其从固定部(30)起延伸，并具备与可动电极部(8)的侧面对置的对置部(61a)，对置部(61a)与可动电极部(8)之间的距离(L1)小于固定电极部(71)与可动电极部(8)之间的距离(L2)。