公开(公告)号：CN1890698A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：CN200480035706.6

申请日：2004-11-29

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  桑原秀明 ,  前川慎志 ,  藤井严 ,  伊佐敏行

IPC: G09F9/30

CPC classification number: H01L27/1292 ,  H01L27/12 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3262

Abstract: 本发明的目的是提供一种能够通过利用改进的材料以及通过简化的制造步骤来制造的显示器件，并且提供其制造技术。本发明的显示器件的一个特征是包括具有开口的绝缘层、形成在所述开口中的第一导电层、以及形成在所述绝缘层和第一导电层上的第二导电层，其中第一导电层比第二导电层更宽和更厚，以及其中通过喷溅含有导电材料的微滴来形成第二导电层。

公开(公告)号：CN1828932A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610006916.3

申请日：2006-01-23

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 伊佐敏行 ,  森末将文 ,  川俣郁子

IPC: H01L29/40 ,  H01L23/522 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L29/7869 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1292 ,  H01L51/0022 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的目的在于提供提高材料的使用效率且简化制造步骤的半导体装置、显示装置以及其制造技术。此外，另一个目的在于提供将构成这些半导体装置、显示装置的布线等的图形以高控制性形成为所希望的形状的技术。在喷射由包含导电性材料的组合物构成的多个液滴的第一喷射步骤中，将第一液滴喷射为其中心位置位于第一线上，在喷射多个液滴的第二喷射步骤中，将第二液滴向第一液滴之间喷射并使其中心位置位于平行于第一线的第二线上，来形成具有连续波状形状的侧端部分的导电层。

公开(公告)号：CN1783480A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510129046.4

申请日：2005-11-30

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 伊佐敏行 ,  山崎舜平

IPC: H01L23/522 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/76877 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76849 ,  H01L21/76852 ,  H01L21/76862 ,  H01L21/76864 ,  H01L21/76874 ,  H01L21/7688 ,  H01L23/5222 ,  H01L23/53242 ,  H01L23/53252 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/45 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15184 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种半导体器件及其制造方法，在半导体器件的制造工艺中，电镀和CMP已经导致增加用于形成布线的制造成本的一种问题。相应地，在其上形成掩模之后，在多孔绝缘膜中形成开口，并将含有Ag的导电材料注入开口内。进一步地，通过选择性激光照射烘焙注入开口内的导电材料，形成第一导电层。随后，通过溅射，在整个表面之上形成金属膜，此后去除掩模，以便在第一导电层之上仅仅保留金属膜，由此形成由含有Ag的第一导电层和第二导电层(金属膜)的叠层形成的嵌入布线层。

公开(公告)号：CN1649454A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN200510007056.0

申请日：2005-01-26

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  中村理 ,  前川慎志 ,  藤井严 ,  伊佐敏行

IPC: H05B33/08 ,  H05B33/22 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0022 ,  G09G3/3208 ,  G09G3/3225 ,  G09G2300/0842 ,  G09G2300/0861 ,  G09G2310/0251 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/1292 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/055 ,  H01L51/529

Abstract: 本发明通过提高材料的有效性以及简化步骤来提供了一种显示器件及其制造方法。本发明还提供了形成诸如用于形成显示器件的引线之类的图形的技术，使之具有极佳的可控性的预定形状。制造显示器件的方法包括以下步骤：形成疏液性区域；将激光束选择性地照射到疏液性区域，以形成亲液性区域；在亲液性区域中排放包含导电材料的合成物，以形成栅极电极层；在栅极电极层上形成栅极绝缘层和半导体层；在半导体层上排放包含导电材料的合成物，以形成源极电极层和漏极电极层；以及在源极电极层或漏极电极层上形成像素电极层。