公开(公告)号：CN107667287A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201680032192.1

申请日：2016-06-03

Applicant: 美题隆公司

Inventor： 罗伯特·斯普拉格

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01M11/0278 ,  G01M11/0285 ,  G01N21/255 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/068

Abstract: 公开了用于表征光学滤光片的点瑕疵(包括小孔和点缺陷)的装置和方法。执行通带测试包括：以其光谱范围至少与光学滤光片的通带重叠的通带照明来照射光学滤光片；当利用通带照明照射光学滤光片时，使用二维光电探测器阵列获取光学滤光片的通带图；以及将光学滤光片的点缺陷识别为通带图的低强度位置。执行阻带测试包括：以其光谱范围完全位于光学滤光片的通带之外的阻带照明来照射光学滤光片；当利用阻带照明照射光学滤光片时，使用二维光电探测器阵列获取光学滤光片的阻带图；以及将光学滤光片的小孔识别为阻带图的高强度位置。

公开(公告)号：CN107466365A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201680009020.2

申请日：2016-02-05

Applicant: 生命技术公司

Inventor： J·马克斯

IPC: G01N21/27 ,  G01N21/64 ,  C12Q1/68

CPC classification number: C12Q1/686 ,  G01N21/274 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6452 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/04 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/12746

Abstract: 本教导内容涉及一种方法和系统，用于在多台仪器上归一化光谱。该方法(800)包括至少一台参比仪器和一台测试仪器。每台仪器包括至少一个激发滤光器和至少一个成对布置的发射滤光器。每台仪器进一步包括一块包含多个孔的纯染料板。每个孔含有多种染料，其中每种染料包含一种荧光组分。通过多种滤光器组合从每台仪器采集每种染料的荧光光谱(805、820)，用以构成参比仪器的纯染料矩阵Mref和测试仪器的纯染料矩阵M。然后可以将纯染料光谱乘以每个滤光器对的校正因子(840)，得出经过校正的纯染料光谱，再进行归一化(845)，即可提取多组分数据(850)。

公开(公告)号：CN107271368A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710369282.6

申请日：2017-05-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 马欲飞 ,  何应 ,  于欣 ,  李旭东 ,  彭江波 ,  杨超博 ,  闫仁鹏 ,  樊荣伟 ,  董志伟 ,  佟瑶 ,  陈德应

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/1702 ,  G01N21/01 ,  G01N2021/0106 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明实施例涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种内腔增强光声光谱式痕量气体传感器装置，所述装置包括沿光束传播方向依次设置的半导体激光器、斩波器、激光准直聚焦系统、前腔镜、可调谐滤波器、激光增益介质、石英音叉、后腔镜；所述石英音叉产生的压电信号经阻抗放大器放大后传输至控制与数据采集系统，所述控制与数据采集系统用于检测石英音叉的共振频率，并且实时控制所述斩波器，使之调制的频率f始终为石英音叉的共振频率f0；计算机连接所述控制与数据采集系统，通过上位机软件Labview进行实时控制。本装置能够快速检测出大气环境中存在多种痕量气体。

公开(公告)号：CN104508467B

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201380041032.X

申请日：2013-08-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 丸山芳弘 ,  柴山胜己 ,  伊藤将师 ,  广畑彻 ,  龟井宏记

IPC: G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N2201/068

Abstract: SERS元件(3)包括：基板(4)；细微结构部(7)，其形成于基板(4)的表面(4a)，且具有多个柱(11)；及导电体层(6)，其形成于细微结构部(7)上，且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部(10)。导电体层(6)具有以沿着基板(4)的表面(4a)的方式形成的基底部、及在与各柱(11)对应的位置自基底部突出的多个突出部。在导电体层(6)，通过基底部与突出部，形成有柱(11)突出的方向上的间隔递减的多个间隙(G)。

公开(公告)号：CN107192705A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710325014.4

申请日：2017-05-10

Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院

Inventor： 赵南京 ,  马明俊 ,  方丽 ,  孟德硕 ,  殷高方 ,  甘婷婷 ,  杨瑞芳 ,  肖雪 ,  刘建国 ,  刘文清

IPC: G01N21/71 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/718 ,  G01N21/01 ,  G01N2201/0668 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明公开了一种多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，以单束高能激光脉冲均分为多束，在双焦平面产生多个聚焦作用点同时激发被分析样品及环境气体，形成近似面源的激光等离子体光谱发射，实现单束高能激光脉冲的高效利用与激光等离子体光谱增强激发，有效地实现了水体/土壤/固体废弃物/合金等样品的激光等离子体光谱测量。本发明不仅增大了激光等离子体发射面积，缩小了单束高能激光脉冲单点作用创面，增强了激光等离子体发射强度，而且增加了样品数据代表性和光谱稳定性，降低了样品不均匀性与单束高能激光脉冲单点作用对光谱重复性和材料结构特性的影响，适用于激光诱导击穿光谱技术在不同测量领域中的应用。

公开(公告)号：CN107003624A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580068285.5

申请日：2015-11-19

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： Y·K·斯玛雷弗 ,  S·斯米尔诺夫

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70133 ,  G01N21/4738 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G02B5/04 ,  G02B27/106 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70208

Abstract: 一种检查设备可以使用光瞳对称化器确定衬底上目标的精确OV测量值以减小检查设备对于光瞳面中照射光束的非对称性和非均匀性的敏感性。检查设备包括照射系统，其通过(1)分割照射束为子光束，(2)引导子光束沿着不同光学分支，(3)在两个维度中反转或旋转至少一个子光束，并且沿着照射路径重新组合子光束以对称化强度分布，从而形成了对称照射光瞳。进一步配置照射系统以使得第一子光束和第二子光束具有大于至少一个光源的时间相干性长度并小于物镜光学系统的光瞳面中焦深的光程差。

公开(公告)号：CN107003241A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580058653.8

申请日：2015-08-26

Applicant: 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司

Inventor： 安妮特·格罗特 ,  拉维·萨克塞纳 ,  保罗·伦德奎斯特

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/77

CPC classification number: G01N21/6454 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/648 ,  G01N21/7703 ,  G01N21/78 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2021/7756 ,  G01N2021/7786 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0873 ,  G02B5/1895 ,  G02B5/201 ,  G02B5/285 ,  G02B6/132 ,  G02B6/136 ,  G02B27/4238 ,  G02B27/4244 ,  G02B2006/12102 ,  G02B2006/12109 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14685

Abstract: 本申请提供了一种集成分析器件阵列及其生产方法。所述阵列用于分析以大数量高密度方式分布的高度复用的光学反应(包括诸如如核苷酸测序反应的生化反应)。所述器件实现了使用诸如光谱、幅度和时间分辨率或它们的组合之类的特征来对光信号进行高灵敏度的区分。所述器件包括集成衍射光束成形元件，其提供对从光学反应发射的光进行空间分离。

公开(公告)号：CN104303264B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201380024955.4

申请日：2013-03-13

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 科恩·德韦尔 ,  塞德里克·卡雷特

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/068 ,  G03F7/7065 ,  G05B23/0216 ,  G05B23/0229 ,  G05B2219/37224 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明揭示一种用于半导体装置的自动化检验的检验配方产生的方法、计算机系统及设备。为产生所述检验配方，使用参考数据集。借助初始配方对所述参考数据集(参考晶片图)的裸片的图像执行自动检验。将来自所述自动检验的所检测检验结果分类，且将所述经分类检验结果与裸片中的缺陷的专家分类进行比较。自动产生过杀及漏杀数目。根据所述过杀及漏杀数目，修改检验配方参数。如果所述检测及/或所述分类低于预定义阈值，那么重复自动检验。

公开(公告)号：CN106290395A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610893962.3

申请日：2016-10-12

Applicant: 湖北器长光电股份有限公司

Inventor： 刘学峰 ,  吴秋野

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明涉及一种基于图像处理的晶圆检测装置，包括计算机、固定装置、相机、设置于相机上的显微筒镜、光源、三维平台、电机控制机箱以及设置到显微筒镜底部的显微物镜，相机位于显微筒镜的顶端，且相机和显微筒镜连接并固定在固定装置上且位于固定装置的一侧，光源位于显微筒镜的一侧且接入显微筒镜，且光源与相机相连接，三维平台位于显微筒镜的下侧，且显微物镜与三维平台的载物台正对，相机与计算机相连接，电机控制机箱分别与三维平台和计算机相连接。本发明具有系统简单，容易操作的优势，相较于一般的图像拼接技术具有拼接精度高的优势。

公开(公告)号：CN106248636A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610581593.4

申请日：2016-07-22

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 柴向旭 ,  李富全 ,  朱启华 ,  冯斌 ,  冯曦 ,  王芳 ,  敬域堃 ,  王礼权 ,  向勇 ,  韩伟 ,  李恪宇

IPC: G01N21/59 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01N21/01 ,  G01N2021/0112 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明公开了一种测量材料非线性吸收曲线的方法，所述的方法采用晶体倍频系统和色散棱镜获得所需的单波长激光，然后通过长焦透镜提高入射激光强度，采用科学级CCD相机记录入射激光的能量和光斑尺寸，通过能量计测得出射激光能量，获得了待测样品的非线性吸收曲线。本发明的测量材料非线性吸收曲线的方法提高了非线性吸收曲线的测量范围，简化了非线性吸收曲线测量系统，实现了多波长、宽范围、高精度非线性吸收曲线测量。