能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法

    公开(公告)号:CN107229185A

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201710184709.5

    申请日:2017-03-24

    CPC classification number: G03F7/004

    Abstract: 本发明涉及能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法。本发明的课题在于提供热重量稳定性优异的能量敏感性组合物、以及使其固化而得到的固化物及固化物的制造方法。本发明提供一种能量敏感性组合物,其包含选自下述组中的至少1种化合物成分(P)、和(Q)式(a1)表示的锍盐,所述组由(P1)基于阳离子性及/或酸催化性方式的聚合性以及/或者交联性化合物、(P2)在酸的作用下在显影液中的溶解性增大的化合物、和(Px)自由基聚合性或交联性的化合物构成。

    能量敏感性树脂组合物
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106575080A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201580033498.4

    申请日:2015-06-11

    Abstract: 本发明提供:即使在低温下对聚苯并噁唑前体进行热处理的情况下,也带来拉伸伸长率之类的机械特性和耐药品性优异、着色受到抑制、透明性高的聚苯并噁唑树脂的能量敏感性树脂组合物;使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法;以及使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。本发明所涉及的能量敏感性树脂组合物含有:聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A),所述聚苯并噁唑前体是使芳香族二胺二醇与二甲酰化合物或二羧酸二卤化物反应而获得的。

    图案形成方法
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106292205A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610454609.5

    申请日:2016-06-21

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种图案形成方法,所述图案形成方法中,在使用包含碱性填料及/或碱性聚合物的感光性组合物、利用光刻法在基板上形成经图案化的膜时,能够以几乎不残留显影残渣的方式进行曝光后的显影。本发明的解决手段为,在使用包含碱性填料及/或碱性聚合物的感光性组合物、利用光刻法在基板上形成经图案化的膜时,在曝光后的显影中使用下述显影液,所述显影液含有包含非质子性极性有机溶剂的有机溶剂作为溶剂。

    包含含有乙烯基的化合物的组合物

    公开(公告)号:CN105283432A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201480030734.2

    申请日:2014-03-28

    Abstract: 本发明提供一种包含新型的含有乙烯基的化合物的组合物。本发明涉及的组合物包含下述通式(1)所示的含有乙烯基的化合物。式中,W1和W2为下述通式(2)(式中,环Z为芳香族烃环、X为单键或-S-所示的基团、R1为单键或碳原子数1~4的亚烷基、R2为一价烃基等特定取代基、m为0以上的整数。)所示的基团、下述通式(4)所示的基团(式中,环Z、X、R1、R2和m如上所述。)、羟基或(甲基)丙烯酰氧基;环Y1和环Y2为芳香族烃环;R为单键或特定二价基团;R3a和R3b为氰基、卤原子或一价烃基;n1和n2为0~4的整数。

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