公开(公告)号：CN102378895B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201080014830.X

申请日：2010-02-22

申请人： 玛克西姆综合公司

发明人： 亚历桑德鲁·罗基

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5755 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/097 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18

摘要： 本发明涉及一种微机电传感器和一种用来检测加速度和旋转速度的方法，至少其中一个，尤其涉及借助微机电传感器（1）检测相互垂直的空间三轴X,Y和Z方向中的两个方向，其中微机电传感器包括移动安装在基板（2）上的至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）和至少一个感应模块（5），至少一个驱动模块（6；6.1，6.2）相对于至少一个感应模块（5）以一个驱动频率作振动式运动，当传感器的外部加速度产生时，驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个加速度频率偏离，当传感器的外部旋转速度产生时，该驱动模块（6；6.1，6.2）和感应模块（5）以一个旋转速度频率偏离，该加速度频率和旋转速度频率是不同的。微机电传感器的驱动模块和感应模块通过至少一个固定部（3）固定安装在基板上。在驱动模式中，当驱动模块相对于至少一个固定部振动时，在驱动模块和感应模块之间相对于至少一个固定部产生一种不平衡，感应元件检测驱动模块和感应模块的偏离，要取决于以加速度频率和/或旋转速度产生的扭矩和科里奥利力（Coriolisforce）。

公开(公告)号：CN104101339A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201410137013.3

申请日：2014-04-04

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 市川史生

IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5747

CPC分类号： G01P3/16 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5607

摘要： 本发明涉及一种振动元件、电子装置、电子设备以及移动体，其中，振动元件具备：基部；支承臂，其从所述基部延伸出；驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第一电极层、第二电极层以及被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层，并且所述第一电极层被配置于所述驱动用振动臂侧；监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第三电极层、第四电极层以及被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，所述第三电极层被配置于所述驱动用振动臂侧，并且所述监测部对所述驱动用振动臂的振动进行检测。

公开(公告)号：CN103913160A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310746036.X

申请日：2013-12-30

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 金钟云 ,  林俊 ,  李在昌

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5712

摘要： 本发明公开了一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一质量体和第二质量体；第一框架，该第一框架设置在所述第一质量体和第二质量体的外侧以与所述第一质量体和第二质量体间隔；第一弹性件，该第一弹性件在Y轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架；第二弹性件，该第二弹性件在X轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架；第二框架，该第二框架设置在所述第一框架的外侧；第三弹性件，该第三弹性件在X轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接；该第四弹性件在Y轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接，其中，所述第一框架在Z轴方向的厚度小于所述第二框架在Z轴方向的厚度。

公开(公告)号：CN103630127A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201310165983.X

申请日：2013-05-08

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： B·库尔曼 ,  R·舍本 ,  D·C·迈泽尔 ,  B·施密特 ,  T·巴尔斯林科

IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5747

摘要： 本发明涉及转速传感器，其衬底具有主延伸平面，用于探测围绕或与主延伸平面平行地或垂直地延伸的第一方向的转速，转速传感器具有驱动装置、第一和第二科里奥利质量，第一科里奥利质量的至少一部分和第二科里奥利质量的至少一部分在围绕第一方向的转速的情况下经受与垂直于驱动方向和第一方向延伸的探测方向平行的科里奥利加速度，转速传感器具有第一和第二均衡质量，第一均衡质量通过衬底上的第一连接件具有与第一科里奥利质量的耦合并且第二均衡质量通过衬底上的第二连接件具有与第一科里奥利质量的耦合，第一科里奥利质量的由科里奥利加速度引起的与探测方向平行的偏转导致第一和第二均衡质量的分别反向的偏转。

公开(公告)号：CN102947675A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201180031703.5

申请日：2011-04-18

申请人： 高通MEMS科技公司

发明人： C·阿卡 ,  R·V·夏诺伊 ,  J·P·布莱克 ,  K·E·彼得森 ,  S·K·加纳帕斯 ,  P·J·史蒂芬诺

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01C19/5769 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C25/00 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  H01L41/25 ,  H01L41/311 ,  H01L41/312 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155

摘要： 本公开提供了用于制作和使用陀螺仪的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。一些陀螺仪包括驱动框架、中心锚以及部署在中心锚的相对侧上的多个驱动梁。驱动梁可将驱动框架连接至中心锚。驱动梁可包括压电层，并且可配置成使驱动框架在这些驱动梁的平面内扭振。陀螺仪还可包括检验质量块以及多个压电感测梁。至少一些组件可由电镀金属形成。驱动框架可部署在检验质量块内。驱动梁可将驱动框架约束成基本上在驱动梁的平面内旋转。此类器件可被包括在移动设备中，诸如移动显示设备。

公开(公告)号：CN118758279A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202410941298.X

申请日：2024-07-12

申请人： 美新半导体(天津)有限公司

发明人： 邵鹏

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5726

摘要： 本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：质量块；与所述质量块形成正交补偿电容的正交补偿电极；与所述质量块形成驱动电容的驱动电极，其接收驱动信号，其中所述质量块在所述驱动信号的驱动下进行简谐振动；与所述质量块形成驱动检测电容的驱动检测电极；驱动电荷放大器，其输入端耦接至所述驱动检测电极，其输出端输出驱动检测信号；正交补偿单元，其根据所述驱动电荷放大器输出的驱动检测信号得到与所述驱动检测信号同相的正交补偿信号，所述正交补偿信号被连接至所述正交补偿电极。这样，可以减小残余正交误差，进而降低零偏。

公开(公告)号：CN118347483A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410497707.1

申请日：2024-04-24

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 董自强 ,  刘贻兵 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/5726

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种面外检测四质量块MEMS陀螺仪及其电路调理方法,包括基底和四个象限单元，四个象限单元对称分布且均设在基底上，每个象限单元均包括驱动组件、解耦组件、敏感组件及耦合组件，驱动组件包括驱动电极和驱动质量块，解耦组件包括哥式耦合质量块和敏感解耦梁，哥式耦合质量块与驱动质量块通过敏感解耦梁相连，敏感组件包括敏感质量块和敏感上极板，敏感质量块分别和与其正对的基底和敏感上极板形成双电容的敏感双电极，耦合组件将不同象限单元的驱动质量块、哥式耦合质量块及敏感质量块耦合连接。本发明公开的面外检测四质量块MEMS陀螺仪鲁棒性更大、零偏稳定性更好且易于加工。

公开(公告)号：CN113970324B

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202110836575.7

申请日：2021-07-23

申请人： 昇佳电子股份有限公司

发明人： 曾世雄 ,  李世伟 ,  王照勋

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明提供一种陀螺仪的结构，其于一基板的一上方设置一框架，并对应设置一第一、三、六挠性件，以连接一第一、二、三板件，该第一板件以一第二挠性件连接该第二板件，该第二板件以一第四挠性件连接该第三板件，该第二板件设置一第一穿孔，并于该第一穿孔内枢接一旋转板件，该旋转板件以一第五挠性件与该基板的一支撑柱连接，再于基板上对应该第一、二、三板件设置第一、二、三、四感测元件，以感测该些板件的移动及转动，于一实施例中，该第一、三板件穿设穿孔，以对应设置感测元件及驱动元件，利用此结构减少陀螺仪的整体体积。

公开(公告)号：CN107990885B

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN201710906663.3

申请日：2017-09-29

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 泷泽照夫 ,  菊池尊行

IPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C25/00

摘要： 本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。

公开(公告)号：CN114942019A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202210080442.6

申请日：2022-01-24

申请人： 恩智浦美国有限公司

发明人： 阿龙·A·盖斯贝格尔 ,  邵鹏

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5747

摘要： 一种角速率传感器包括与衬底的表面间隔开的第一、第二、第三和第四检验质量块，第一、第二、第三和第四检验质量块中的每一者被配置成沿着平行于衬底的表面的第一和第二横向轴移动。第一耦合结构插入在第一与第二检验质量块之间且互连第一和第二检验质量块。第二耦合结构插入在第二与第三检验质量块之间且互连第二和第三检验质量块。第三耦合结构插入在第三与第四检验质量块之间且互连第三和第四检验质量块。第四耦合结构插入在第四与第一检验质量块之间且互连第四检验质量块和第一检验质量块。第一、第二、第三和第四耦合结构被配置成约束第一、第二、第三和第四检验质量块中的相邻检验质量块沿着第一和第二横向轴的同相运动。