三维光子晶体波导结构
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    发明授权

    公开(公告)号:CN100449340C

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN03802232.X

    申请日:2003-01-16

    IPC分类号: G02B6/12 H01L21/3065

    摘要: 公开了用三维(3D)光子晶体形成的波导结构。所述3D光子晶体包括在固体衬底上形成的周期性空位阵列。所述空位的排列能够创造完全的光子带隙。所述空位可以使用称为”表面变换”的技术来形成,其中包括在衬底表面形成孔以及将衬底退火来启动靠近表面的衬底材料的转移最后在衬底中形成空位。在3D光子晶体中形成可以传输对应于该完全带隙的辐射的通道,由此形成波导。可以通过以下方法来所述波导:令两个光子晶体的区域对接,而其中至少一个区域具有形成在其中的通道。可以通过以下方法来选择带隙的波长:排列周期性空位,使得其点阵常数等于带隙波长的一部分。

    用于电化学-机械抛光的方法和装置

    公开(公告)号:CN101094748A

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200580011769.2

    申请日:2005-02-14

    发明人: 李原熙

    IPC分类号: B24B37/04

    摘要: 公开了用于从微特征工件移除材料的方法和装置。在一个实施例中,将微特征工件与抛光介质的抛光表面相接触,并且被放置于与第一和第二电极的相电连通,第一和第二电极中的至少之一与该工件分开。将抛光液体设置在抛光表面和工件之间,并且该工件和抛光表面中至少一个相对于另一个是移动的。从微特征工件移除材料,并且抛光液体的至少部分通过抛光表面中的至少一个凹陷,以使抛光液体中的间隙被定位在微特征工件和面向该微特征工件的凹陷的表面之间。