平面磁感应器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1801412A

    公开(公告)日:2006-07-12

    申请号:CN200510080011.6

    申请日:2005-06-24

    Abstract: 本发明涉及一种平面磁感应器及其制造方法。该平面磁感应器包括:衬底上形成的绝缘氧化物磁层;与绝缘氧化物磁层的下表面分离而同时又完全嵌入到该绝缘氧化物磁层中的导电线圈;以及形成于绝缘氧化物磁层上的、用于保护该绝缘氧化物磁层的覆盖层。该绝缘氧化物磁层包括:下部绝缘氧化物磁层;以及在下部绝缘氧化物磁层上形成的上部绝缘氧化物磁层,由此该导电线圈完全嵌入到上部绝缘氧化物磁层中。根据本发明的平面磁感应器可实现良好的高频特性以及较高的感应系数,同时体积可有效减小。

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