一种光机模块手操箱
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115524042B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202211240613.3

    申请日:2022-10-11

    IPC分类号: G01L5/00

    摘要: 本发明公开一种光机模块手操箱,涉及光机模块安装技术领域,包括箱体,所述箱体上开设有用于与光机组件对接的连接口,所述箱体内设置有推送单元,所述推送单元上能够安装光机模块,且所述推送单元连接有驱动机构,所述驱动机构能够驱动所述推送单元使所述推送单元上的光机模块穿过所述连接口;所述连接口处设置有密封闸板,当所述箱体与所述光机组件对接时,所述密封闸板能够打开,以使所述光机模块能够穿过所述连接口,当所述箱体与所述光机组件分离时,所述密封闸板能够封闭所述连接口;所述箱体上设置有用于供人手操作的手操作口,所述手操作口上设置有密封组件。本发明能够实现光机模块在洁净环境下的各种安装姿态的集成安装。

    一种工件转移工装
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117817699A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410072146.0

    申请日:2024-01-18

    IPC分类号: B25J15/00 B65G47/90

    摘要: 本发明公开了一种工件转移工装,涉及工件转移设备技术领域,包括连接机构、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构及第五驱动机构;连接机构能够拆卸连接于工件;第一驱动机构驱动连接机构相对于管道偏转;第二驱动机构驱动第一驱动机构在管道外侧沿远离或靠近管道外表面的方向上直线移动;第三驱动机构驱动第四驱动机构和第二驱动机构在管道外侧沿平行于管道轴向的方向上直线移动;第四驱动机构驱动第二驱动机构在管道外侧沿远离或靠近管道外表面的方向上偏转;第五驱动机构驱动第三驱动机构在管道外侧沿垂直于管道外表面的一轴线旋转。本发明提供的工件转移工装,便于对复杂转移路径的工件进行转移,提升工作效率。

    一种自动化干法清洗装置

    公开(公告)号:CN105750272A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610245993.8

    申请日:2016-04-20

    IPC分类号: B08B7/00 B08B13/00

    摘要: 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出,变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗,以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致,用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下,利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。

    一种光学元件在线拆装洁净转运装置及光学元件拆装方法

    公开(公告)号:CN117429870A

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202311648605.7

    申请日:2023-12-05

    IPC分类号: B65G47/90 B23P19/00

    摘要: 本发明公开了一种光学元件在线拆装洁净转运装置及光学元件拆装方法,涉及光学元件的拆装维护技术领域,光学元件在线拆装洁净转运装置包括上装洁净箱、第一平移机构、第二平移机构和抓取机构,所述第一平移机构位于所述上装洁净箱的外部,所述第二平移机构和所述抓取机构均位于所述洁净箱的内部,所述第一平移机构能够驱动所述第二平移机构和所述抓取机构上下运动,所述第二平移机构能够驱动所述抓取机构上下运动,所述抓取机构用于抓取和释放光学元件。本发明通过第一平移机构、第二平移机构和抓取机构实现对光学元件位置的精确定位和调整,以解决光学元件精密安装和在线洁净更换的问题。

    一种光机模块手操箱
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115524042A

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202211240613.3

    申请日:2022-10-11

    IPC分类号: G01L5/00

    摘要: 本发明公开一种光机模块手操箱,涉及光机模块安装技术领域,包括箱体,所述箱体上开设有用于与光机组件对接的连接口,所述箱体内设置有推送单元,所述推送单元上能够安装光机模块,且所述推送单元连接有驱动机构,所述驱动机构能够驱动所述推送单元使所述推送单元上的光机模块穿过所述连接口;所述连接口处设置有密封闸板,当所述箱体与所述光机组件对接时,所述密封闸板能够打开,以使所述光机模块能够穿过所述连接口,当所述箱体与所述光机组件分离时,所述密封闸板能够封闭所述连接口;所述箱体上设置有用于供人手操作的手操作口,所述手操作口上设置有密封组件。本发明能够实现光机模块在洁净环境下的各种安装姿态的集成安装。