公开(公告)号：CN104299873A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201310303905.1

申请日：2013-07-18

申请人： 北京中科信电子装备有限公司

发明人： 高婷婷

IPC分类号： H01J37/15

CPC分类号： H01J37/15 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/3266

摘要： 本发明公开了一种调节多磁极运动的控制方法，包括：工控机(1)、光纤(2)、信号输入输出板(3)、电机驱动板(4)、开关电源(5)、以及多磁极(6)。说明书对一种调节多磁极运动的控制方法作出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

公开(公告)号：CN101996839B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

发明人： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC分类号： H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

摘要： 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。

公开(公告)号：CN101438368A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200680047932.5

申请日：2006-12-06

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 拉塞尔·J·罗 ,  乔纳森·G·英格兰 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森

IPC分类号： H01J3/14

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/18 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/1503 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/266

摘要： 本发明揭示用于防止寄生的子波束影响离子植入的技术。在一个特定的示范性实施例中，所述技术可实现为一种用于防止寄生的子波束影响离子植入的设备。所述设备可包括经配置以来回地扫描点波束进而形成横跨预定宽度的离子波束的控制器。所述设备还可包括小孔机构，其在保持固定时允许点波束穿过。所述设备可进一步包括同步机构，其耦合到控制器和小孔机构，且经配置以致使小孔机构与经扫描的点波束同步地移动，从而允许经扫描的点波束穿过，但阻挡与点波束相关联的一个或一个以上寄生的子波束。

公开(公告)号：CN108701576A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680082561.8

申请日：2016-12-09

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： B·卡斯川普 ,  J·C·H·缪尔肯斯 ,  M·A·范登布林克 ,  约瑟夫·帕卓斯·亨瑞克瑞·本叔普 ,  E·P·斯马克曼 ,  T·朱兹海妮娜 ,  C·A·维索尔伦

IPC分类号： H01J37/065 ,  H01J37/15

CPC分类号： H01J37/263 ,  H01J37/023 ,  H01J37/15 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/2817

摘要： 本发明公开了一种电子束检查设备，该设备包括：多个电子束柱(600)，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子；和致动器系统(600，610)，其配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动(640，630)。所述致动器系统可包括多个第一可移动结构，所述多个第一可移动结构与多个第二可移动结构至少部分地重叠，所述第一可移动结构和所述第二可移动结构支撑所述多个电子束柱。

公开(公告)号：CN103688334B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201180063161.X

申请日：2011-12-12

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 史费特那·瑞都凡诺 ,  彼德·L·凯勒曼 ,  法兰克·辛克莱 ,  罗伯特·C·林德柏格

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/15 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/151

摘要： 一种在静电透镜(700)中控制带电粒子束偏向的方法，包括建立对称静电透镜组态，所述组态包括在对称于中央射线轨迹(702)的未调整位置(L1)上配置多个电极(714,716)，所述多个电极被施加一组未调整电压，以产生相对对称于中央射线轨迹的场。对应于未调整电压的对称电场被计算。多个下部电极(716)被安排至不对称于中央射线轨迹的调整位置(L2)上。一组调整电压由下部电极得到。其中，所述的一组调整电压在对称电场的各自调整位置上具有一组各自相应的电位。当带电粒子通过时，此组调整电压被施加被于不对称的透镜组态。

公开(公告)号：CN1132218C

公开(公告)日：2003-12-24

申请号：CN95108133.0

申请日：1995-06-29

申请人： 艾克塞利斯技术公司

发明人： F·R·特鲁爱拉

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/15 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/31701

摘要： 在一种离子注入设备中，一种可移走的对准夹具90，同一种自对中的夹紧装置92一起，被用来使引出元件孔精确地定位到同预定的束路线对准。引出元件72固定于夹紧装置的支持环94，而夹紧装置安装于对准夹具。被安装于源机箱的对准夹具同预定束路线精密对准。夹紧装置的开口环107固定于围绕着离子发生电弧室18的支持筒80。由于夹紧装置是自对中的，故不危害引出元件孔的对准。在移走对准夹具之后，将可变间隙引出电极装置130固定于源机箱。

公开(公告)号：CN1119338A

公开(公告)日：1996-03-27

申请号：CN95108133.0

申请日：1995-06-29

申请人： 易通公司

发明人： F·R·特鲁爱拉

IPC分类号： H01L21/265

CPC分类号： H01J37/15 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/31701

摘要： 在一种离子注入设备中，一种可移走的对准夹具90，同一种自对中的夹紧装置92一起，被用来使引出元件孔精确地定位到同预定的束路线对准。引出元件72固定于夹紧装置的支持环94，而夹紧装置安装于对准夹具。被安装于源机箱的对准夹具同预定束路线精密对准。夹紧装置的开口环107固定于围绕着离子发生电弧室18的支持筒80。由于夹紧装置是自对中的，故不危害引出元件孔的对准。在移走对准夹具之后，将可变间隙引出电极装置130固定于源机箱。

公开(公告)号：CN104335319B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380029154.7

申请日：2013-04-15

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 乔·波鲁 ,  珍奈特·莫瑞 ,  玛尼·斯尔达斯奇 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC分类号： H01J37/15

CPC分类号： H01J37/3007 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31701

摘要： 本发明提供一种电极调整组件与调整电极的方法，用于工件制程。电极调整组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一端及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一端及第二端可彼此独立地被调整。

公开(公告)号：CN104603078A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201380046452.7

申请日：2013-03-12

申请人： LIMO专利管理有限及两合公司

发明人： V·利索特申克

IPC分类号： C03C23/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J29/70 ,  H01J3/30 ,  H01J29/04 ,  H01J29/48 ,  H01J31/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06308

摘要： 用于产生电子束(4)的装置(20)，包括热阴极(1)、阴极电极(2)、具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置产生的电子束(4)可以穿过该开口，其中，在装置(20)运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，所述装置还包括偏转机构，该偏转机构可以偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4)，其中，偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4)可以被反射和/或所述偏转电极具有相对于电子束(4)的传播方向倾斜的偏转面(9)。

公开(公告)号：CN104335319A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380029154.7

申请日：2013-04-15

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 乔·波鲁 ,  珍奈特·莫瑞 ,  玛尼·斯尔达斯奇 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC分类号： H01J37/15

CPC分类号： H01J37/3007 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31701 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3171

摘要： 一种电极调整方法与装置被揭示以用于工件制程。组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一及第二端可彼此独立地被调整。使用本揭示装置的方法也被揭示。