成膜方法及び成膜装置
    11.
    发明专利
    成膜方法及び成膜装置 有权
    成膜方法和成膜装置

    公开(公告)号:JPWO2013046440A1

    公开(公告)日:2015-03-26

    申请号:JP2011546501

    申请日:2011-09-30

    CPC classification number: B05D1/00 C23C14/022 C23C14/06 C23C14/22 C23C14/546

    Abstract: 実用に耐えうることは勿論、耐摩耗性能がより高められた撥油膜を効率よく成膜することができる成膜方法を提供する。複数の基板14を保持するための基体保持面を持つ基板ホルダ12が真空容器10内に回転可能に配設された成膜装置1において、前記基体保持面の一部の領域のみに向けてイオンビームが照射可能となるような構成、配置及び/又は向きで真空容器10内に設置されたイオン源38と、前記基体保持面の全領域に向けて撥油膜の成膜材料が供給可能となるような配置及び向きで真空容器10内に設置された蒸発源34とを有し、蒸発源34の作動開始前にイオン源38の作動を停止させるように構成したものである。

    Abstract translation: 能够耐受实际应用的,当然,是提供一种薄膜形成装置,能够有效地沉积更增强的斥油性膜的耐磨性的方法。 在成膜装置1中,基板支架12可旋转地设置在所述真空容器具有衬底保持表面,用于保持多个衬底14的10中,仅向衬底固定表面的离子的一部分区域 配置光束能够照射,安装在布置和/或取向的真空容器10的离子源38,防油性膜的成膜材料可朝向衬底固定表面的整个区域被提供 和蒸气源34安装在布置和取向这样,其构成为在启动蒸发源34的操作之前停止所述离子源38的动作将真空容器10内。

    Method and apparatus for manufacturing thin film, and method of manufacturing electronic apparatus
    13.
    发明专利
    Method and apparatus for manufacturing thin film, and method of manufacturing electronic apparatus 有权
    制造薄膜的方法和装置以及制造电子装置的方法

    公开(公告)号:JP2010045150A

    公开(公告)日:2010-02-25

    申请号:JP2008207666

    申请日:2008-08-12

    Inventor: SUMINO KOJI

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To further improve orientation property of thin film forming materials, uniformity and controllability in thickness of a thin film, and stability in forming the thin film. SOLUTION: A method of manufacturing a carbon nanotube thin film 18 includes the first step of preparing a carbon nanotube dispersion liquid 8 including the carbon nanotube dispersed by mixing the carbon nanotube and surface active agent, the second step of forming a dispersion liquid film 31 formed of the carbon nanotube dispersion liquid 8 at the internal circumferential side of an annular dispersion liquid film holding ring 35, the third step of moving the carbon nanotube dispersion liquid 8 to the surface of a substrate 37 in the form of a film by relatively sliding the cylindrical substrate 37 arranged along the internal circumference of the dispersion liquid film holding ring 35 between the central part and external circumferential part of internal space of the dispersion liquid film holding ring 35 and the dispersion liquid film 31 under the condition that these are placed in contact, and the fourth step of forming the carbon nanotube thin film 18 by drying up the dispersion liquid film formed on the surface of the substrate 37. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:为了进一步提高薄膜形成材料的取向性能,薄膜厚度的均匀性和可控性,以及薄膜形成的稳定性。 解决方案:制造碳纳米管薄膜18的方法包括:制备包含通过混合碳纳米管和表面活性剂而分散的碳纳米管的碳纳米管分散液8的第一步骤,形成分散液 在环状分散液膜保持环35的内周侧由碳纳米管分散液8形成的膜31,将碳纳米管分散液8以薄膜形式移动到基板37的表面的第三工序 在分散液膜保持环35和分散液膜31的内部空间的中心部分和外周部分之间沿着分散液膜保持环35的内周布置的圆柱形基板37相对滑动,条件是它们是 并且通过干燥分散体1形成碳纳米管薄膜18的第四步骤 在基板37的表面上形成的鱿鱼膜。版权所有(C)2010,JPO&INPIT

    KR102232034B1 - Apparatus for curing droplet

    公开(公告)号:KR102232034B1

    公开(公告)日:2021-03-25

    申请号:KR1020190068426A

    申请日:2019-06-11

    Inventor: 조천수

    Abstract: 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다.

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