仮固定用両面粘着テープおよびそれを用いた被加工物の仮固定方法
    41.
    发明专利
    仮固定用両面粘着テープおよびそれを用いた被加工物の仮固定方法 有权
    临时固定双面粘合带临时固定方法和使用该工件

    公开(公告)号:JPWO2014162943A1

    公开(公告)日:2017-02-16

    申请号:JP2015510025

    申请日:2014-03-26

    Abstract: 本発明の仮固定用両面粘着テープは、基材と、台座に貼着する第1粘着剤層と、被加工物に貼着する第2粘着剤層と、を備える。前記第1粘着剤層は、第1感圧性接着剤、第1側鎖結晶性ポリマーおよび発泡剤を含有する。前記第2粘着剤層は、第2感圧性接着剤および第2側鎖結晶性ポリマーを含有する。本発明の被加工物の仮固定方法は、前記仮固定用両面粘着テープを所定温度に加熱し、前記被加工物を前記仮固定用両面粘着テープとともに前記台座から剥離する工程と、前記仮固定用両面粘着テープを所定温度に加熱し、前記被加工物を前記仮固定用両面粘着テープから剥離する工程と、を備える。

    Abstract translation: 本发明的临时固定双面压敏粘合带包括一基板,一第一胶粘剂层粘附到基座,与被粘附到工件上的第二粘合层,所述。 所述第一粘合层,第一压敏粘合剂,其包括第一侧链结晶聚合物和发泡剂。 第二压敏粘合剂层包含第二压敏粘合剂和第二侧链结晶聚合物。 用于本发明的工件临时固定方法中,临时固定的双面压敏粘合带的一个步骤是加热至预定的温度,用该临时固定的双面压敏胶粘带,其中,暂时固定在一起剥离从所述基部的工件 使用双面粘合带被加热至规定的温度,并且所述从工件移除的步骤临时固定双面粘合带。

    ウエハ用仮接着材料、それらを用いた仮接着用フィルム、及びウエハ加工体並びにそれらを使用した薄型ウエハの製造方法
    48.
    发明专利
    ウエハ用仮接着材料、それらを用いた仮接着用フィルム、及びウエハ加工体並びにそれらを使用した薄型ウエハの製造方法 有权
    用于波形的临时粘合材料,使用其的临时粘合薄膜和用于制造薄膜的方法以及使用该方法制造薄膜的方法

    公开(公告)号:JP2014241399A

    公开(公告)日:2014-12-25

    申请号:JP2014086148

    申请日:2014-04-18

    Abstract: 【解決手段】光塩基発生剤を含有するシリコーン含有重合体層(A)からなる第一仮接着層及び、該第一仮接着層に積層された光塩基発生剤を含有しない重合体層(A)とは異なるシリコーン含有重合体層(B)からなる第二仮接着層を備えたものであることを特徴とするウエハ用仮接着材料。【効果】本発明の仮接着層は、段差を有するウエハに対しても、膜厚均一性の高い仮接着層を形成でき、この膜厚均一性のため容易に50μm以下の均一な薄型ウエハを得ることが可能となる。更には、薄型ウエハ作製後、このウエハを支持体より剥離する際、少量の露光量によりストレスフリーで剥離することができるため、割れ易い薄型ウエハにダメージを与えることなく容易に扱うことができ、薄型ウエハを容易に製造することができる。【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:为了提供一种临时粘合剂材料,其有助于将晶片临时粘附到支撑构件上,并且还能够形成具有高度差异的基板上的厚度均匀性高的临时粘合剂层,具有高的工艺适应性 到TSV形成和晶片下侧布线,有利于从支撑构件剥离薄晶片并提高生产率,以及临时粘合剂膜以及使用它们制造薄晶片的方法。解决方案:本发明的临时粘合剂层能够形成临时粘合剂 甚至在具有表面高度差异的晶片上,并且由于厚度的均匀性,可以容易地获得厚度为50μm以下的均匀的薄晶片。 此外,由于能够在少量曝光之后使薄片从支撑构件上剥离,所以能够容易地处理易碎的薄晶片而不会对其造成损害,有利于薄晶片的制造。

    Adhesive material having removability
    50.
    发明专利
    Adhesive material having removability 审中-公开
    粘合材料具有可移除性

    公开(公告)号:JP2014132078A

    公开(公告)日:2014-07-17

    申请号:JP2013268824

    申请日:2013-12-26

    CPC classification number: C09J7/20 C09J2201/134 C09J2203/318 Y10T428/2848

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive material achieving both of removability and reliability on an adhesion surface with respect to detachment, occurrence of foaming, or the like.SOLUTION: The adhesive material is to be used for bonding two adherends, and includes two or more adhesive layers, a base layer comprising a transparent polymer sheet, and release films on both of top and back surfaces of the adhesive. The adhesive material has an interface (called as an internal detachment interface) inside, where the adhesive material can be detached in an interface different from bonding surfaces between the adhesive material and the adherends. Since the adhesive material has the internal detachment interface in the inside of the adhesive material, reliability on the adhesive surfaces with the adherends can be increased regardless of the internal detachment interface.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种在剥离,发生发泡等方面实现粘合表面的可除去性和可靠性的粘合剂材料。溶解性:粘合剂材料用于粘合两个被粘物,并且包括两个 或更多的粘合剂层,包含透明聚合物片材的基底层和粘合剂的顶表面和后表面两者上的剥离膜。 粘合剂材料具有内部的界面(称为内部分离界面),其中粘合剂材料可以在与粘合材料和被粘物之间的粘合表面不同的界面中分离。 由于粘合剂材料在粘合剂材料的内部具有内部分离界面,因此可以增加与被粘物的粘合剂表面的可靠性,而与内部分离界面无关。

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