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公开(公告)号:KR1020170143027A
公开(公告)日:2017-12-28
申请号:KR1020177036604
申请日:2014-07-15
发明人: 선,제니퍼와이. , 카눈고,비라자피. , 피로우츠도르,바히드 , 장,잉
IPC分类号: H01L21/3065 , C23C14/08 , C23C14/00 , C23C14/48 , H01L21/67 , H01L21/48 , H01J37/32 , B65D43/02
CPC分类号: H01L21/67023 , B65D43/02 , C23C4/01 , C23C4/04 , C23C4/10 , C23C4/11 , C23C4/12 , C23C4/134 , C23C4/14 , C23C4/16 , C23C14/0015 , C23C14/0021 , C23C14/0031 , C23C14/0036 , C23C14/0052 , C23C14/0084 , C23C14/0094 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/088 , H01J37/32477 , H01J37/32495 , H01J37/32513 , H01J2237/334 , H01L21/67063 , H01L21/67069 , H01L21/6708 , H01L21/67086 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/139 , Y10T428/1393 , H01L21/3065 , C23C14/48 , H01L21/4807 , H01L21/6719
摘要: 물품을제작하는방법은에치반응기용뚜껑또는노즐을제공하는것을포함한다. 이후에, 이온보조증착(IAD)은뚜껑또는노즐의적어도하나의표면상에보호층을증착시키기위해수행되는데, 여기서, 보호층은 300 ㎛미만의두께및 10 마이크로인치또는그 미만의평균표면거칠기를갖는플라즈마내성희토류옥사이드막이다.
摘要翻译: 制造物品的方法包括为蚀刻反应器提供盖或喷嘴。 此后,离子辅助沉积(IAD)是帽或执行到喷嘴,其中所述保护层的厚度小于300㎛厚度和10微英寸或更小的平均表面粗糙度中的至少一个表面上沉积的保护层 耐稀土氧化物薄膜。
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公开(公告)号:KR101685446B1
公开(公告)日:2016-12-12
申请号:KR1020127029510
申请日:2011-05-27
申请人: 쿄세라 코포레이션
CPC分类号: B23B27/14 , B23B27/148 , C23C14/0021 , C23C14/0664 , C23C30/005 , Y10T407/14 , Y10T428/24033 , Y10T428/24413 , Y10T428/24802
摘要: (과제) 내용착성, 내마모성이우수한절삭공구를제공한다. (해결수단) 기체(2)의표면에 TiAlNbM(CN)(단, M은 Si, W, Mo, Ta, Hf, Cr, Zr 및 Y로부터선택되는적어도 1종, 0.1≤a≤0.7, 0≤b≤0.8, 0.02≤d≤0.25, 0≤e≤0.25, a+b+d+e=1, 0≤x≤1)로이루어지는피복층(6)을피복해서이루어짐과아울러절삭면(3)과, 여유면(4)과, 절삭면(3)과여유면(4) 사이에위치하는절삭날(5)을갖고, 또한피복층(6)의표면에액적(7)이존재하고, 여유면(4)에는입경이 300㎚이하인미세액적(7a)이절삭면(3)보다다량존재하고, 여유면(4)에존재하는입경이 1000㎚이상인조대액적(7b)의평균조성이절삭면(3)에존재하는조대액적(7b)의평균조성에비하여 Nb의함유비율이높은절삭공구(1)이다.
摘要翻译: 公开了具有优异的耐焊接性和耐磨性的切削工具。 具体公开了一种切割工具(1),其包括基材(2),涂覆在基材(2)的表面上的涂层(6),并且包含由式Ti a Al b Nb d M e(C 1-x N x)(其中M表示选自Si,W,Mo,Ta,Hf,Cr,Zr和Y中的至少一种元素; 0.1‰¤a‰¤0.7; 0‰¤b‰¤ 0.8; 0.02‰¤‰¤0.25; 0‰¤e‰¤0.25; a + b + d + e = 1; 0‰¤x‰¤1),切面(3),侧面 ),布置在切割面(3)和侧面(4)之间的切割刀片(5)和形成在涂层(6)的表面上的液滴(7),其中, 4)在其上形成了比在切割面(3)上更大的颗粒直径为300nm以下的更细的液滴(7a),并且每个具有粒径的较粗的液滴(7b)的平均化学组成 1000nm以上,并且在侧面(4)上形成的Nb含量高于a中的Nb含量 检查形成在切割面(3)上的每个较粗糙液滴(7b)的化学组成。
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公开(公告)号:KR1020150116766A
公开(公告)日:2015-10-16
申请号:KR1020147030725
申请日:2014-01-22
申请人: 닛토덴코 가부시키가이샤
发明人: 야마다야스미
IPC分类号: C23C14/56 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/00 , C23C14/22 , C23C14/34 , C23C14/14 , B32B37/10 , B32B9/00
CPC分类号: B32B37/1018 , B32B2255/00 , C23C14/0021 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/562
摘要: 본발명의투명가스배리어필름의제조방법은, 롤투 롤방식을이용해서실시된다. 그제조방법은, 긴띠 형상의수지기판(8)을보내는도중에, 상기수지기판(8)에성분이다른복수종의박막을각각복수적층하는공정을갖고, 상기박막의종류수에대응한수의증발원(91, 92)이박막형성에리어에설치되어있고, 상기긴 띠형상의수지기판(8)을상기박막형성에리어와비형성에리어에교대로통과시키고, 상기박막형성에리어에있어서상기수지기판(8)에상기복수의증발원(91, 92)에포함되는재료를각각부착시킴으로써, 상기복수종의박막이복수적층된투명가스배리어층을상기수지기판(8)에형성한다.
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公开(公告)号:KR1020150104575A
公开(公告)日:2015-09-15
申请号:KR1020157019153
申请日:2014-01-09
申请人: 어센트 솔라 테크놀로지스, 인크.
发明人: 우즈로렌스엠. , 리베린로자인 , 암스트롱조셉에이치.
IPC分类号: H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L31/032 , C23C14/00 , C23C14/20 , C23C14/54 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号: H01L31/18 , C23C14/0021 , C23C14/20 , C23C14/541 , H01L21/02422 , H01L21/02568 , H01L21/67115 , H01L31/0322 , H01L31/03928 , Y02E10/541
摘要: 반대편의 전방 및 후방 외측 표면들을 갖는 가요성 폴리이미드 기판 상에 하나 이상의 박막 층들을 증착하기 위한 방법은 하기의 단계들을 포함한다: (a) 가요성 폴리이미드 기판의 전방 외측 표면의 온도가 가요성 폴리이미드 기판의 후방 외측 표면의 온도보다 높도록, 가요성 폴리이미드 기판을 가열하는 단계; 및 (b) 가요성 폴리이미드 기판의 전방 외측 표면 상에 하나 이상의 박막 층들을 증착하는 단계. 이 방법을 실행하기 위한 증착 구역은 (a) 기판의 제1 외측 표면 상에 하나 이상의 금속 재료들을 증착하도록 구성된 하나 이상의 물리적 증기 증착 공급원들; 및 (b) 하나 이상의 복사 구역 경계 히터들을 포함한다.
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公开(公告)号:KR1020140131916A
公开(公告)日:2014-11-14
申请号:KR1020147021634
申请日:2013-01-16
IPC分类号: C23C14/06 , C23C14/24 , H01M10/0562
CPC分类号: C23C14/0036 , C23C14/0021 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/24 , H01M10/0562 , H01M2300/0068
摘要: 본 발명은 기판(1) 위에 LiPON 층을 증착하기 위한 방법에 관한 것으로, 이 경우 적어도 화학 원소 리튬, 인 및 산소를 포함하고 용기(2) 내에 제공된 증발 물질(3)이 진공 챔버 내에서 증발된다. 증발 물질(3)은 적어도 하나의 열 증발 장치(4a;4b)에 의해 가열되고, 동시에 질소 함유 성분이 진공 챔버 내로 유입되거나 질소 함유 물질이 함께 증발되고, 이 경우 용기(2)로부터 상승하는 증기 입자 구름은 기판 위에 증착 전에 플라즈마(7)에 의해 통과된다.
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公开(公告)号:KR1020140041506A
公开(公告)日:2014-04-04
申请号:KR1020137031668
申请日:2011-04-29
CPC分类号: C23C14/243 , C23C14/0021 , C23C14/562 , C23C14/564
摘要: 복수의 이격된 도가니들(120)을 가지는, 반응성 증착 프로세스를 위해서 구성된 가스 랜스 유닛으로서, 공간들이 상기 도가니들 사이에 제공되는 가스 랜스 유닛이 개시된다. 가스 랜스 유닛은 반응성 증착 프로세스를 위한 가스(4)를 제공하기 위한 하나 또는 둘 이상의 배출구들(30)을 가지는 가스 안내 튜브(130), 및 응축물, 특히 알루미늄 응축물을 상기 공간들 위의 하나 또는 둘 이상의 위치들로 안내하기 위한 응축물 안내 요소(140)를 포함한다.
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公开(公告)号:KR1020130098861A
公开(公告)日:2013-09-05
申请号:KR1020127029510
申请日:2011-05-27
申请人: 쿄세라 코포레이션
CPC分类号: B23B27/14 , B23B27/148 , C23C14/0021 , C23C14/0664 , C23C30/005 , Y10T407/14 , Y10T428/24033 , Y10T428/24413 , Y10T428/24802 , B23B2228/08 , B23B2228/10 , C23C14/06 , C23C14/24
摘要: (과제)
내용착성, 내마모성이 우수한 절삭 공구를 제공한다.
(해결 수단)
기체(2)의 표면에 Ti
a Al
b Nb
d M
e (C
1
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x N
x )(단, M은 Si, W, Mo, Ta, Hf, Cr, Zr 및 Y로부터 선택되는 적어도 1종, 0.1≤a≤0.7, 0≤b≤0.8, 0.02≤d≤0.25, 0≤e≤0.25, a+b+d+e=1, 0≤x≤1)로 이루어지는 피복층(6)을 피복해서 이루어짐과 아울러 절삭면(3)과, 여유면(4)과, 절삭면(3)과 여유면(4) 사이에 위치하는 절삭날(5)을 갖고, 또한 피복층(6)의 표면에 액적(7)이 존재하고, 여유면(4)에는 입경이 300㎚ 이하인 미세 액적(7a)이 절삭면(3)보다 다량 존재하고, 여유면(4)에 존재하는 입경이 1000㎚ 이상인 조대 액적(7b)의 평균 조성이 절삭면(3)에 존재하는 조대 액적(7b)의 평균 조성에 비하여 Nb의 함유 비율이 높은 절삭 공구(1)이다.摘要翻译: 公开了具有优异的耐焊接性和耐磨性的切削工具。 具体公开了一种切割工具(1),其包括基材(2),涂覆在基材(2)的表面上的涂层(6),并且包含由式Ti a Al b Nb d M e(C 1-x N x)(其中M表示选自Si,W,Mo,Ta,Hf,Cr,Zr和Y中的至少一种元素; 0.1‰¤a‰¤0.7; 0‰¤b‰¤ 0.8; 0.02‰¤‰¤0.25; 0‰¤e‰¤0.25; a + b + d + e = 1; 0‰¤x‰¤1),切面(3),侧面 ),布置在切割面(3)和侧面(4)之间的切割刀片(5)和形成在涂层(6)的表面上的液滴(7),其中, 4)在其上形成了比在切割面(3)上更大的颗粒直径为300nm以下的更细的液滴(7a),并且每个具有粒径的较粗的液滴(7b)的平均化学组成 1000nm以上,并且在侧面(4)上形成的Nb含量高于a中的Nb含量 检查形成在切割面(3)上的每个较粗糙液滴(7b)的化学组成。
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公开(公告)号:KR1020120014120A
公开(公告)日:2012-02-16
申请号:KR1020117023130
申请日:2009-06-09
申请人: 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
CPC分类号: B23B27/148 , B23B27/14 , B23B2222/80 , B23B2222/84 , B23B2228/10 , B23B2270/54 , B23C2220/48 , B23C2222/84 , C04B41/009 , C04B41/5062 , C04B41/52 , C04B41/87 , C04B41/89 , C04B2111/0025 , C23C14/0021 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T407/27 , Y10T409/303808 , Y10T428/252 , Y10T428/265 , C04B41/5063 , C04B41/5068 , C04B41/4531 , C04B35/00 , C04B35/52 , C04B35/5831
摘要: 본 발명은, 초경합금, 서멧, 세라믹, 고속도강 (HSS), 다결정 다이아몬드 (PCD) 또는 다결정 입방정 질화붕소 (PCBN) 의 본체를 포함하고, 경질 내마모성 코팅이 도포되어 음극 아크 증발 또는 마그네트론 스퍼터링과 같은 물리적 기상 증착 (PVD) 에 의해 성장되는 절삭 공구 인서트에 관한 것이다. 상기 코팅은, 0.45 x Al
1
-x )N
y 의 적어도 하나의 층을 포함한다. 상기 층은 단일 입방정 상 또는 육방정 상과 입방정 상의 혼합물로 구성되는 나노결정질 미세조직을 갖는다. 인서트는 높은 온도를 발생시키는 금속 절삭 분야에서 특히 유용하고, 향상된 크레이터 내마모성을 갖는다.-
公开(公告)号:KR1020080106084A
公开(公告)日:2008-12-04
申请号:KR1020080050668
申请日:2008-05-30
申请人: 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
IPC分类号: C23C14/00
CPC分类号: C23C30/005 , B22F2005/001 , C22C29/08 , C23C14/0021 , C23C14/0641 , Y10T407/1906 , Y10T408/78 , Y10T409/30 , Y10T428/265
摘要: A cemented alloy is provided to improve the abrasion resistance without injuring the toughness and cutting edge protective(edge security) in order to be useful in semi-finished or the finishing of the metal material and is coated onto is provided for insert. As the cemented alloy cutting tool insert for semi-finished or the finish metal cutting task, the materials comprises the Cr / Co weight ratio besides WC is 0.08 ~ 0.12, preferably, 0.09 ~ 0.11 persons 5.5 ~ 8.5, preferably, 6 ~ 8 wt% Co and Cr, and the ratio of the Me / Co =(at% Ti + at% Ta) / at% Co is 0.014 -(CW-Cr) *0.008, and, 0.0005 excess, and ti and the Ta are included, Ti and the Ta preferably exceeds with 0.0007. And CW-Cr =(magnetic % Co + 1.13 * wt% Cr) / wt% Co is 0.75 ~ 0.95, preferably, 0.78 ~ 0.93 this the magnetic % Co is the gravity percentage of the Co having the magnetism.
摘要翻译: 提供胶合合金以提高耐磨性,而不会损伤韧性和切削刃保护(边缘安全性),以便用于半成品或精加工金属材料并被涂覆在刀片上。 作为用于半成品或精加工金属切削任务的胶合合金切削刀片刀片,该材料包括除WC之外的Cr / Co重量比为0.08〜0.12,优选为0.09〜0.11,优选为6〜8重量% %Co和Cr,Me / Co =(at%Ti + at%Ta)/ at%Co的比例为0.014 - (CW-Cr)* 0.008,并且含有0.0005过量,ti和Ta包括 ,Ti和Ta优选超过0.0007。 而CW-Cr =(磁性%Co + 1.13 * wt%Cr)/ wt%Co为0.75〜0.95,优选为0.78〜0.93,磁性%Co为具有磁性的Co的重力百分比。
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公开(公告)号:KR1020080075134A
公开(公告)日:2008-08-14
申请号:KR1020087013193
申请日:2006-11-22
申请人: 슈파컨덕터 테크놀로지스 인코포레이티드
IPC分类号: C23C16/00
CPC分类号: C23C14/0021 , C23C14/24 , C23C14/505 , C23C14/541 , C23C14/546 , C23C14/566
摘要: A heater for growing a thin film on substrates contained on a substrate support member includes a plurality of heater elements. The substrate support member containing the substrates is at least partially surrounded by the plurality of heater elements. At least two of the plurality of heater elements are moveable with respect to one another so as to provide external access to the substrate support member. An oxygen pocket is formed in one of the heater elements or a separate oxygen pocket member and is used for oxidation of the film on the substrates.
摘要翻译: 用于在包含在基板支撑构件上的基板上生长薄膜的加热器包括多个加热器元件。 包含衬底的衬底支撑构件至少部分地被多个加热器元件包围。 多个加热器元件中的至少两个可以相对于彼此移动,以便提供对基板支撑构件的外部通路。 在一个加热器元件或单独的氧气袋部件中形成氧气袋,并且用于氧化衬底上的膜。
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