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1.具有整體式散熱器之塑料球柵陣列封裝 PLASTIC BALL GRID ARRAY PACKAGE WITH INTEGRAL HEATSINK 有权
简体标题: 具有整体式散热器之塑料球栅数组封装 PLASTIC BALL GRID ARRAY PACKAGE WITH INTEGRAL HEATSINK公开(公告)号:TWI303471B
公开(公告)日:2008-11-21
申请号:TW091113866
申请日:2002-06-25
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L21/565 , H01L23/3128 , H01L23/3142 , H01L23/4334 , H01L24/48 , H01L2224/05599 , H01L2224/45099 , H01L2224/48227 , H01L2224/85399 , H01L2924/00014 , H01L2924/15311 , H01L2924/16152 , H01L2924/181 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2924/00012
摘要: 一種塑料球柵陣列半導體封裝利用一金屬熱擴散器,其有一嵌入模蓋中之支撐臂,其中該嵌入之支撐臂未直接連在基板,或其中連在基板上之任何支撐臂係利用彈性材料如彈性黏膠所連接。此外,一構成封裝之方法包括以下步驟;將熱擴散器置於模腔內,置基板於模腔之上,俾基板之模片支撐表面與熱擴散器之支撐臂接觸,及注入模塑材料於空腔中以構成模蓋。基板置於模腔上之寄存器內,俾當模塑材料變硬構成模蓋時,嵌入之熱擴散器在與基板相關之適當位置固定。此外,構成封裝之方法包括以下步驟:將熱擴散器置於基體上俾熱擴散器之至少一支撐臂利用彈性固定物,如彈性黏膠連接在基板上,將模腔置於熱擴散器上,及注入模塑材料於空腔。彈性黏膠在注入模塑材料期間,將熱擴散器保持在與基板成適當之位置'當模塑材料變硬而構成模蓋時,嵌入之熱擴散器與基板以適當位置固定。在某些實施例中,在熱擴散器與模塑化合物間之介面之熱擴散器之下表面甚為粗糙,或包括一黑氧化銅層以改進黏接及熱擴散器與模塑材料間之接觸。本發明可提供製造能力及使用可靠性之大幅改進。
简体摘要: 一种塑料球栅数组半导体封装利用一金属热扩散器,其有一嵌入模盖中之支撑臂,其中该嵌入之支撑臂未直接连在基板,或其中连在基板上之任何支撑臂系利用弹性材料如弹性黏胶所连接。此外,一构成封装之方法包括以下步骤;将热扩散器置于模腔内,置基板于模腔之上,俾基板之模片支撑表面与热扩散器之支撑臂接触,及注入模塑材料于空腔中以构成模盖。基板置于模腔上之寄存器内,俾当模塑材料变硬构成模盖时,嵌入之热扩散器在与基板相关之适当位置固定。此外,构成封装之方法包括以下步骤:将热扩散器置于基体上俾热扩散器之至少一支撑臂利用弹性固定物,如弹性黏胶连接在基板上,将模腔置于热扩散器上,及注入模塑材料于空腔。弹性黏胶在注入模塑材料期间,将热扩散器保持在与基板成适当之位置'当模塑材料变硬而构成模盖时,嵌入之热扩散器与基板以适当位置固定。在某些实施例中,在热扩散器与模塑化合物间之界面之热扩散器之下表面甚为粗糙,或包括一黑氧化铜层以改进黏接及热扩散器与模塑材料间之接触。本发明可提供制造能力及使用可靠性之大幅改进。
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2.用於覆晶之自我共平面性凸塊形狀 SELF-COPLANARITY BUMPING SHAPE FOR FLIP CHIP 有权
简体标题: 用于覆晶之自我共平面性凸块形状 SELF-COPLANARITY BUMPING SHAPE FOR FLIP CHIP公开(公告)号:TWI279881B
公开(公告)日:2007-04-21
申请号:TW091103580
申请日:2002-02-27
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L24/12 , H01L23/49816 , H01L24/11 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/81 , H01L2224/0401 , H01L2224/05567 , H01L2224/05624 , H01L2224/0603 , H01L2224/1134 , H01L2224/11831 , H01L2224/1184 , H01L2224/1308 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/14 , H01L2224/1403 , H01L2224/81801 , H01L2924/00013 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/351 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099 , H01L2224/05552 , H01L2924/00
摘要: 一種金線成形凸塊結構,用於在一對包含一基座部份及一支幹部份的構件之間的電性內連線。該基座部份係固定在要進行內連線的一對構件中的一個當中的銲墊或跡線(例如一積體電路晶片),而該支幹末端設置來接觸其它構件上的金屬墊(例如一印刷電路板),以完成該內連線。根據本發明,該支幹末端被截斷而形成一橫斷平面,而該支幹比該基座更為柔。同時,亦提供一種在一接觸表面上形成一金線成形凸塊的方法,其包含在該表面上形成一凸塊基座部份,由該基座上端拉伸出一通常為錐形的尾端,並截斷該尾端來形成具有一平面橫斷上表面,及具有由該基座部份的上端到該上表面之長度的支幹部份。在一些具體實施例中,至少該金線成形凸塊的尾端部份使用一打線接合工具來形成。同時,亦提供一種在一電子封裝的一第一構件及一第二構件之間內連線的方法,其包含提供具有本發明的金線成形凸塊之構件中的一個,然後在一接合製程中將相對應的凸塊及銲墊放置在一起,該凸塊的支幹部份之柔性可容納該銲墊表面之共平面性的變化。
简体摘要: 一种金线成形凸块结构,用于在一对包含一基座部份及一支干部份的构件之间的电性内连接。该基座部份系固定在要进行内连接的一对构件中的一个当中的焊垫或迹线(例如一集成电路芯片),而该支干末端设置来接触其它构件上的金属垫(例如一印刷电路板),以完成该内连接。根据本发明,该支干末端被截断而形成一横断平面,而该支干比该基座更为柔。同时,亦提供一种在一接触表面上形成一金线成形凸块的方法,其包含在该表面上形成一凸块基座部份,由该基座上端拉伸出一通常为锥形的尾端,并截断该尾端来形成具有一平面横断上表面,及具有由该基座部份的上端到该上表面之长度的支干部份。在一些具体实施例中,至少该金线成形凸块的尾端部份使用一打线接合工具来形成。同时,亦提供一种在一电子封装的一第一构件及一第二构件之间内连接的方法,其包含提供具有本发明的金线成形凸块之构件中的一个,然后在一接合制程中将相对应的凸块及焊垫放置在一起,该凸块的支干部份之柔性可容纳该焊垫表面之共平面性的变化。
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3.用於覆晶互連之精確封裝之裝置及方法 APPARATUS AND PROCESS FOR PRECISE ENCAPSULATION OF FLIP CHIP INTERCONNECTS 有权
简体标题: 用于覆晶互连之精确封装之设备及方法 APPARATUS AND PROCESS FOR PRECISE ENCAPSULATION OF FLIP CHIP INTERCONNECTS公开(公告)号:TWI251317B
公开(公告)日:2006-03-11
申请号:TW091103587
申请日:2002-02-27
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L21/563 , H01L24/29 , H01L2224/11822 , H01L2224/16225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/83191 , H01L2924/00014 , H01L2924/01033 , H01L2924/14 , H01L2924/181 , Y10T29/41 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
摘要: 一種封膠覆晶內連線之方法,其包含施加一限量的封膠樹脂到一積體電路晶片的該內連線側,然後將該晶片與一基板放在一起,其條件為藉由該基板上的接合墊來促進該晶片的內連線側上之凸塊的接合。在一些具體實施例中,施加樹脂到該晶片的步驟包含沉浸該晶片的內連線側到一樹脂池中一預定的深度,然後由該樹脂池退出該晶片。在一些具體實施例中,該施加樹脂到該晶片的步驟包含提供具有一底部的容器,其在該容器中提供一樹脂池成為該容器底部之上一淺的深度,沉浸該晶片到該樹脂池中,所以該凸塊會接觸該容器底部,然後由該樹脂池退出該晶片。以及,用以施加一精確量的封膠樹脂到一晶片之裝置,其包含一具有底部之容器,及用以散佈一封膠樹脂池到該容器底部之上一預定深度的構件。
简体摘要: 一种封胶覆晶内连接之方法,其包含施加一限量的封胶树脂到一集成电路芯片的该内连接侧,然后将该芯片与一基板放在一起,其条件为借由该基板上的接合垫来促进该芯片的内连接侧上之凸块的接合。在一些具体实施例中,施加树脂到该芯片的步骤包含沉浸该芯片的内连接侧到一树脂池中一预定的深度,然后由该树脂池退出该芯片。在一些具体实施例中,该施加树脂到该芯片的步骤包含提供具有一底部的容器,其在该容器中提供一树脂池成为该容器底部之上一浅的深度,沉浸该芯片到该树脂池中,所以该凸块会接触该容器底部,然后由该树脂池退出该芯片。以及,用以施加一精确量的封胶树脂到一芯片之设备,其包含一具有底部之容器,及用以散布一封胶树脂池到该容器底部之上一预定深度的构件。
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4.間隙壁晶粒結構及黏著方法 SPACER DIE STRUCTURE AND METHOD FOR ATTACHING 审中-公开
简体标题: 间隙壁晶粒结构及黏着方法 SPACER DIE STRUCTURE AND METHOD FOR ATTACHING公开(公告)号:TW200605146A
公开(公告)日:2006-02-01
申请号:TW094110510
申请日:2005-04-01
发明人: 朴昇旭 PARK, SEUNG WOOK
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L21/6835 , H01L21/3043 , H01L21/6836 , H01L21/78 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/45 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68368 , H01L2224/2919 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2224/83101 , H01L2224/83191 , H01L2224/8385 , H01L2225/0651 , H01L2225/06575 , H01L2924/01013 , H01L2924/01027 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/0665 , H01L2924/07802 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , Y10T428/14 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2924/3512
摘要: 本發明係揭示一種半導體間隙壁結構,其依序包含一背面磨削膠帶層、一間隙壁黏接層、一半導體間隙壁層、一選項性第二間隙壁黏接層、一切割帶層。在一第一方法中,取得一間隙壁晶圓,其具有第一及第二側、一背面磨削膠帶層及一設於該第一側與該背面磨削膠帶層間之間隙壁黏接層。該第二側係經背面磨削及固接於一切割帶。該背面磨削膠帶被去除,且生成之結構係經切割以產生間隙壁/黏膠晶粒結構。一第二方法係以設於該第一側之背面磨削膠帶層將該第二側進行背面磨削。一保護性覆蓋層與該第二側係以其間之一間隙壁黏接層固接。將該背面磨削膠帶層去除,且剩餘結構被固接於一切割帶,而令該保護性覆蓋層曝露。將該保護性覆蓋層去除,且生成之結構係經切割以產生間隙壁/黏膠晶粒結構。該第二間隙壁黏接層之厚度可經選擇以適應於一凹凸不平之支撐表面。
简体摘要: 本发明系揭示一种半导体间隙壁结构,其依序包含一背面磨削胶带层、一间隙壁黏接层、一半导体间隙壁层、一选项性第二间隙壁黏接层、一切割带层。在一第一方法中,取得一间隙壁晶圆,其具有第一及第二侧、一背面磨削胶带层及一设于该第一侧与该背面磨削胶带层间之间隙壁黏接层。该第二侧系经背面磨削及固接于一切割带。该背面磨削胶带被去除,且生成之结构系经切割以产生间隙壁/黏胶晶粒结构。一第二方法系以设于该第一侧之背面磨削胶带层将该第二侧进行背面磨削。一保护性覆盖层与该第二侧系以其间之一间隙壁黏接层固接。将该背面磨削胶带层去除,且剩余结构被固接于一切割带,而令该保护性覆盖层曝露。将该保护性覆盖层去除,且生成之结构系经切割以产生间隙壁/黏胶晶粒结构。该第二间隙壁黏接层之厚度可经选择以适应于一凹凸不平之支撑表面。
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5.覆晶之互連墊佈局 FLIP CHIP INTERCONNECTION PAD LAYOUT 审中-公开
简体标题: 覆晶之互连垫布局 FLIP CHIP INTERCONNECTION PAD LAYOUT公开(公告)号:TW200522237A
公开(公告)日:2005-07-01
申请号:TW093134034
申请日:2004-11-08
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L23/50 , H01L23/49838 , H01L24/81 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/16225 , H01L2224/81801 , H01L2924/15311 , H01L2924/3011 , H01L2924/3025
摘要: 本發明揭示一種具有晶粒訊號墊之覆晶互連墊,其佈局在接近該晶粒四周之晶粒表面上,及佈置在從該等訊號墊內側的該晶粒表面上之晶粒電源和接地墊;並具有在相應封裝基板上以與該晶粒墊佈局互補之方式排列訊號墊和從遠離該晶粒覆蓋區之晶粒邊緣下的該等訊號墊繞送之訊號線,且具有繞送至在該晶粒覆蓋區下導孔之電源線及接地線。並且,一種覆晶半導體裝置,其中覆晶互連墊佈局具有坐落在該晶粒邊線部分之晶粒訊號墊以及佈置在該等訊號墊之內側之晶粒表面上之晶粒電源和接地墊,而相對應的封裝基板具有與該晶粒墊佈局以互補方式排列之訊號墊和從遠離該晶粒覆蓋區之該晶粒邊綠下之該等訊號墊繞送之訊號線。
简体摘要: 本发明揭示一种具有晶粒信号垫之覆晶互连垫,其布局在接近该晶粒四周之晶粒表面上,及布置在从该等信号垫内侧的该晶粒表面上之晶粒电源和接地垫;并具有在相应封装基板上以与该晶粒垫布局互补之方式排列信号垫和从远离该晶粒覆盖区之晶粒边缘下的该等信号垫绕送之信号线,且具有绕送至在该晶粒覆盖区下导孔之电源线及接地线。并且,一种覆晶半导体设备,其中覆晶互连垫布局具有坐落在该晶粒边线部分之晶粒信号垫以及布置在该等信号垫之内侧之晶粒表面上之晶粒电源和接地垫,而相对应的封装基板具有与该晶粒垫布局以互补方式排列之信号垫和从远离该晶粒覆盖区之该晶粒边绿下之该等信号垫绕送之信号线。
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公开(公告)号:TWI431701B
公开(公告)日:2014-03-21
申请号:TW096131790
申请日:2007-08-28
申请人: 史達晶片公司 , STATS CHIPPAC, INC.
发明人: 雷珍卓D. 潘西 , PENDSE, RAJENDRA D.
CPC分类号: H01L24/16 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/81 , H01L27/14618 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05082 , H01L2224/05624 , H01L2224/1134 , H01L2224/16 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48624 , H01L2224/81192 , H01L2224/81801 , H01L2924/00011 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01022 , H01L2924/01023 , H01L2924/01024 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01051 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099 , H01L2224/48824 , H01L2924/00 , H01L2924/01049
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公开(公告)号:TW200629516A
公开(公告)日:2006-08-16
申请号:TW094136371
申请日:2005-10-18
发明人: 河宗佑 HA, JONGWOO , 鄭泰福 JUNG, TAEBOK
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L24/32 , H01L23/3107 , H01L23/49503 , H01L23/4951 , H01L23/49548 , H01L23/49575 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L25/0652 , H01L25/0657 , H01L25/105 , H01L2224/32145 , H01L2224/32188 , H01L2224/32245 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48257 , H01L2224/4826 , H01L2224/49 , H01L2224/73265 , H01L2225/06562 , H01L2225/06568 , H01L2225/1029 , H01L2225/1058 , H01L2924/00014 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01052 , H01L2924/01073 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/15311 , H01L2924/15331 , H01L2924/181 , H01L2924/19107 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要: 本發明係揭示一種多晶片封裝,其具有包括周邊引線之一引線架,該等引線排列於一位於中心之晶粒腳座周圍。一第一(“上”)晶粒附著於該引線架晶粒腳座之一第一(“頂”)面,該面可為大體上平坦的。該引線架之第二(“底”)面被部分切除(諸如藉由部分蝕刻),以使該晶粒腳座之一外部更薄,並使該等引線之一內部更薄。該引線架之該第二(“底”)面中之此等部分切除的部分提供一空穴,在該空穴中一第二(“下”)晶粒活性面向上附著。該下晶粒可具有位於該活性表面中心附近之結合墊片,且該下晶粒之電互連可由穿過該晶粒腳座與該等引線之間的間隙的焊線來完成;或,該下晶粒可藉由覆晶與該引線架中之該空穴的該晶粒附著面互連來附著並電互連。又,多封裝模組包括至少一個該多晶片引線架封裝。
简体摘要: 本发明系揭示一种多芯片封装,其具有包括周边引线之一引线架,该等引线排列于一位于中心之晶粒脚座周围。一第一(“上”)晶粒附着于该引线架晶粒脚座之一第一(“顶”)面,该面可为大体上平坦的。该引线架之第二(“底”)面被部分切除(诸如借由部分蚀刻),以使该晶粒脚座之一外部更薄,并使该等引线之一内部更薄。该引线架之该第二(“底”)面中之此等部分切除的部分提供一空穴,在该空穴中一第二(“下”)晶粒活性面向上附着。该下晶粒可具有位于该活性表面中心附近之结合垫片,且该下晶粒之电互连可由穿过该晶粒脚座与该等引线之间的间隙的焊线来完成;或,该下晶粒可借由覆晶与该引线架中之该空穴的该晶粒附着面互连来附着并电互连。又,多封装模块包括至少一个该多芯片引线架封装。
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8.跡線上珠之線接合互連 BALL-ON-TRACE WIRE BOND INTERCONNECTION 审中-公开
简体标题: 迹在线珠之线接合互连 BALL-ON-TRACE WIRE BOND INTERCONNECTION公开(公告)号:TW200623373A
公开(公告)日:2006-07-01
申请号:TW094139959
申请日:2005-11-14
发明人: 李勳檡 LEE, HUN-TEAK , 金鍾局 KIM, JONG-KOOK , 金哲殖 KIM, CHULSIK , 張氣連 JANG, KI-YOUN , 雷傑德拉D 潘狄斯 PENDSE, RAJENDRA D.
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L24/85 , H01L23/13 , H01L23/4952 , H01L23/49833 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L2224/04042 , H01L2224/05553 , H01L2224/05554 , H01L2224/05556 , H01L2224/05599 , H01L2224/32225 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/48011 , H01L2224/48091 , H01L2224/48095 , H01L2224/48227 , H01L2224/48455 , H01L2224/48465 , H01L2224/48471 , H01L2224/48475 , H01L2224/48479 , H01L2224/4848 , H01L2224/48599 , H01L2224/48644 , H01L2224/48647 , H01L2224/48699 , H01L2224/48744 , H01L2224/48747 , H01L2224/49109 , H01L2224/49175 , H01L2224/49433 , H01L2224/73265 , H01L2224/85051 , H01L2224/85205 , H01L2224/85444 , H01L2224/85447 , H01L2224/85986 , H01L2224/92 , H01L2224/92247 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01027 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/0106 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2224/85181 , H01L2224/85186 , H01L2924/2065 , H01L2224/78 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/4554
摘要: 本發明揭示一種在一晶粒墊與一接合指狀物之間的線接合互連,其包含在引線指狀物之一接合地點處的一支撐基座、在該晶粒墊上的一珠接合、與在該支撐基座上的一針腳接合,其中在該接合地點處的該引線指狀物之一寬度係小於該支撐基座之一直徑。此外,本發明揭示一半導體封裝,其包含安裝於一基板上並藉由複數個線接合電連接至該基板的一晶粒,其中該等線接合之每個包含接合至該晶粒上的一墊之一線珠與接合至一引線指狀物上之一接合地點上的一支撐基座之針腳,並且其中在該接合地點處的該引線指狀物之該寬度係小於該支撐基座之該直徑。另外,本發明揭示此類封裝,其中封裝基板包含一二層基板,每層包含複數個引線指狀物,其具有約兩倍於晶粒墊節距之一引線指狀物接合節距,第一層及第二層之引線指狀物具有一交錯配置。在某些具體實施例中,在形成一柱塊中使用一線接合工具形成該支撐基座,並且在此類具體實施例中,將該支撐基座冶金式地接合至該引線指狀物。此外,本發明揭示用以形成一半導體晶粒與一基板之間的一線接合互連之一方法,該形成係藉由:提供一晶粒,其係附於一基板之一第一側的一晶粒安裝部分上並與遠離該基板定向的主動側定向,該基板具有包含該基板之第一表面上的引線指狀物之圖案化跡線;於一引線指狀物之一接合地點上形成一支撐基座;於一晶粒墊上形成一第一接合;以及於該支撐基座上形成一第二接合。
简体摘要: 本发明揭示一种在一晶粒垫与一接合指状物之间的线接合互连,其包含在引线指状物之一接合地点处的一支撑基座、在该晶粒垫上的一珠接合、与在该支撑基座上的一针脚接合,其中在该接合地点处的该引线指状物之一宽度系小于该支撑基座之一直径。此外,本发明揭示一半导体封装,其包含安装于一基板上并借由复数个线接合电连接至该基板的一晶粒,其中该等线接合之每个包含接合至该晶粒上的一垫之一线珠与接合至一引线指状物上之一接合地点上的一支撑基座之针脚,并且其中在该接合地点处的该引线指状物之该宽度系小于该支撑基座之该直径。另外,本发明揭示此类封装,其中封装基板包含一二层基板,每层包含复数个引线指状物,其具有约两倍于晶粒垫节距之一引线指状物接合节距,第一层及第二层之引线指状物具有一交错配置。在某些具体实施例中,在形成一柱块中使用一线接合工具形成该支撑基座,并且在此类具体实施例中,将该支撑基座冶金式地接合至该引线指状物。此外,本发明揭示用以形成一半导体晶粒与一基板之间的一线接合互连之一方法,该形成系借由:提供一晶粒,其系附于一基板之一第一侧的一晶粒安装部分上并与远离该基板定向的主动侧定向,该基板具有包含该基板之第一表面上的引线指状物之图案化迹线;于一引线指状物之一接合地点上形成一支撑基座;于一晶粒垫上形成一第一接合;以及于该支撑基座上形成一第二接合。
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9.引線上凸塊之倒裝晶片互連 BUMP-ON-LEAD FLIP CHIP INTERCONNECTION 审中-公开
简体标题: 引在线凸块之倒装芯片互连 BUMP-ON-LEAD FLIP CHIP INTERCONNECTION公开(公告)号:TW200525666A
公开(公告)日:2005-08-01
申请号:TW093134366
申请日:2004-11-10
IPC分类号: H01L
CPC分类号: H01L23/49811 , H01L21/563 , H01L21/76885 , H01L23/49838 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/13111 , H01L2224/1607 , H01L2224/16225 , H01L2224/16238 , H01L2224/2919 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/75 , H01L2224/75301 , H01L2224/81191 , H01L2224/81203 , H01L2224/81801 , H01L2224/83191 , H01L2224/83192 , H01L2224/83856 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/3011 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本發明揭示一種倒裝晶片互連,其形成係將互連凸塊直接嚙合至一引線上,而非嚙合至一捕獲焊墊上。還有,一倒裝晶片封裝包括:一晶粒,其在一作用表面中具有黏在互連焊墊上的焊料凸塊;及一基板,其在一晶粒黏著表面中具有導電接線,其中該等凸塊係直接嚙合在該等接線上。該互連的形成並未採用一焊料遮罩。還有,用於形成一引線上凸塊之倒裝晶片互連的方法也免除焊料遮罩的使用。在某些方法中,會將一可固化黏著劑塗在該晶粒的凸塊上或該基板的接線上;該黏著劑可在該嚙合程序期間部分固化,及該部分固化的黏著劑可在一回熔程序期間用來限制熔化的焊料。
简体摘要: 本发明揭示一种倒装芯片互连,其形成系将互连凸块直接啮合至一引在线,而非啮合至一捕获焊垫上。还有,一倒装芯片封装包括:一晶粒,其在一作用表面中具有黏在互连焊垫上的焊料凸块;及一基板,其在一晶粒黏着表面中具有导电接线,其中该等凸块系直接啮合在该等接在线。该互连的形成并未采用一焊料遮罩。还有,用于形成一引在线凸块之倒装芯片互连的方法也免除焊料遮罩的使用。在某些方法中,会将一可固化黏着剂涂在该晶粒的凸块上或该基板的接在线;该黏着剂可在该啮合进程期间部分固化,及该部分固化的黏着剂可在一回熔进程期间用来限制熔化的焊料。
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10.藉由後塌陷再熔融並再凝固凸點以接合倒裝晶片之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR FLIP CHIP ATTACHMENT BY POST-COLLAPSE RE-MELT AND RE-SOLIDIFICATION OF BUMPS 审中-公开
简体标题: 借由后塌陷再熔融并再凝固凸点以接合倒装芯片之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR FLIP CHIP ATTACHMENT BY POST-COLLAPSE RE-MELT AND RE-SOLIDIFICATION OF BUMPS公开(公告)号:TW200514642A
公开(公告)日:2005-05-01
申请号:TW093119939
申请日:2004-07-01
CPC分类号: H01L24/81 , H01L2224/13111 , H01L2224/81801 , H01L2224/81986 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01043 , H01L2924/0105 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H05K3/3436 , H05K3/3494 , H05K2203/1476 , Y02P70/613
摘要: 一種焊錫凸點軟熔方法,包括將對準之晶粒基板組合體的溫度升高至高於熔融溫度(或共熔溫度)之溫度,維持充足時間以造成第一次軟熔;使該組合體的溫度降到低於熔融溫度(或共熔溫度),達到第一次冷卻溫度,並維持充足時間以再凝固該焊錫;將該晶粒基板組合體之溫度第二次提高到高於該熔融溫度(或共熔溫度)之溫度,並維持充足時間以造成第二次軟熔;第二次使該組合體的溫度降到低於該熔融溫度(或共熔溫度),達到第二次冷卻溫度及最後降到室溫;其中至少該第一次與第二次熔融與第一次再凝固作用係在該組合體不曝露於氧化氣氛之下進行。此外,用以進行該方法之裝置包括一個多區爐,其具有一個進料口與出料口及具有一或多個區之第一區域,於該第一區域中進行第一次熔融作用;具有一或多個區之第二區域,於該第二區域中進行第一次再凝固作用;以及第三區域,於該第三區域中進行第二次熔融作用;於該裝置進一步包括一個用以將晶粒基板組合體自該進料口輸送通過該第一、第二與第三區域,送到出料口之輸送帶。
简体摘要: 一种焊锡凸点软熔方法,包括将对准之晶粒基板组合体的温度升高至高于熔融温度(或共熔温度)之温度,维持充足时间以造成第一次软熔;使该组合体的温度降到低于熔融温度(或共熔温度),达到第一次冷却温度,并维持充足时间以再凝固该焊锡;将该晶粒基板组合体之温度第二次提高到高于该熔融温度(或共熔温度)之温度,并维持充足时间以造成第二次软熔;第二次使该组合体的温度降到低于该熔融温度(或共熔温度),达到第二次冷却温度及最后降到室温;其中至少该第一次与第二次熔融与第一次再凝固作用系在该组合体不曝露于氧化气氛之下进行。此外,用以进行该方法之设备包括一个多区炉,其具有一个进料口与出料口及具有一或多个区之第一区域,于该第一区域中进行第一次熔融作用;具有一或多个区之第二区域,于该第二区域中进行第一次再凝固作用;以及第三区域,于该第三区域中进行第二次熔融作用;于该设备进一步包括一个用以将晶粒基板组合体自该进料口输送通过该第一、第二与第三区域,送到出料口之输送带。
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