整合扇出型封裝及其製作方法
    5.
    发明专利
    整合扇出型封裝及其製作方法 审中-公开
    集成扇出型封装及其制作方法

    公开(公告)号:TW201839869A

    公开(公告)日:2018-11-01

    申请号:TW106124715

    申请日:2017-07-24

    IPC分类号: H01L21/60

    摘要: 一種製作整合扇出型封裝的方法。所述方法包括以下步驟。在載體上安裝積體電路組件。在所述載體上形成絕緣包封體,以包封所述積體電路組件的側壁。在所述積體電路組件上形成多個導電柱,並形成介電層以覆蓋所述積體電路組件及所述絕緣包封體,其中所述多個導電柱穿透所述介電層且電連接到所述積體電路組件。在所述介電層及所述多個導電柱上形成重佈線路結構,其中所述重佈線路結構經由所述多個導電柱電連接到所述積體電路組件,且所述重佈線路結構與所述絕緣包封體藉由所述介電層間隔開。

    简体摘要: 一种制作集成扇出型封装的方法。所述方法包括以下步骤。在载体上安装集成电路组件。在所述载体上形成绝缘包封体,以包封所述集成电路组件的侧壁。在所述集成电路组件上形成多个导电柱,并形成介电层以覆盖所述集成电路组件及所述绝缘包封体,其中所述多个导电柱穿透所述介电层且电连接到所述集成电路组件。在所述介电层及所述多个导电柱上形成重布线路结构,其中所述重布线路结构经由所述多个导电柱电连接到所述集成电路组件,且所述重布线路结构与所述绝缘包封体借由所述介电层间隔开。