公开(公告)号：US09321676B2

公开(公告)日：2016-04-26

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

Applicant: Intermolecular Inc. ,  Guardian Industries Corp.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  C03C17/23

CPC classification number: C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

Abstract: A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

公开(公告)号：US20150232376A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: C03C17/23

CPC classification number: C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

Abstract: A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

Abstract translation: 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140170434A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13715709

申请日：2012-12-14

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: G02B1/10

CPC classification number: G02B1/10 ,  Y10T428/12056 ,  Y10T428/12611

Abstract: Two layer silver process comprising a silver layer deposited on a doped silver layer can improve the adhesion of the silver layer on a substrate, minimizing agglomeration to provide a high quality silver layer. The doped silver layer can comprise silver and a doping element that has lower enthalpy of formation with oxide than that of silver, leading to better bonding with oxygen in the substrate.

Abstract translation: 包含沉积在掺杂银层上的银层的双层银方法可以改善银层在基片上的附着力，最小化附聚以提供高质量的银层。 掺杂的银层可以包含银和掺杂元素，其掺杂元素具有比银更低的氧化物形成焓，导致与衬底中的氧更好的结合。

公开(公告)号：US09127348B2

公开(公告)日：2015-09-08

申请号：US14574755

申请日：2014-12-18

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Guizhen Zhang ,  Jeremy Cheng ,  Guowen Ding ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yu Wang

IPC: B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/22 ,  C03C17/36 ,  C23C14/14 ,  C23C14/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/22 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3605 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/042 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G02B1/12 ,  G02B1/14 ,  Y10T428/12542 ,  Y10T428/12549 ,  Y10T428/12611 ,  Y10T428/12778 ,  Y10T428/31678

Abstract: Provided is High Productivity Combinatorial (HPC) testing methodology of semiconductor substrates, each including multiple site isolated regions. The site isolated regions are used for testing different compositions and/or structures of barrier layers disposed over silver reflectors. The tested barrier layers may include all or at least two of nickel, chromium, titanium, and aluminum. In some embodiments, the barrier layers include oxygen. This combination allows using relative thin barrier layers (e.g., 5-30 Angstroms thick) that have high transparency yet provide sufficient protection to the silver reflector. The amount of nickel in a barrier layer may be 5-10% by weight, chromium—25-30%, titanium and aluminum—30%-35% each. The barrier layer may be co-sputtered in a reactive or inert-environment using one or more targets that include all four metals. An article may include multiple silver reflectors, each having its own barrier layer.

Abstract translation: 提供了半导体衬底的高生产率组合（HPC）测试方法，每个包括多个现场隔离区域。 位置隔离区域用于测试布置在银反射器上的阻挡层的不同组成和/或结构。 经测试的阻挡层可以包括镍，铬，钛和铝中的全部或至少两种。 在一些实施例中，阻挡层包括氧。 该组合允许使用具有高透明度的相对薄的阻挡层（例如5-30埃厚），同时为银反射器提供足够的保护。 阻挡层中的镍的量可以是5-10重量％，铬25-30％，钛和铝30％-35％。 阻挡层可以在反应性或惰性环境中使用包括所有四种金属的一种或多种目标共溅射。 物品可以包括多个银反射器，每个具有其自己的阻挡层。

公开(公告)号：US08900423B2

公开(公告)日：2014-12-02

申请号：US13715988

申请日：2012-12-14

Applicant: Intermolecular, Inc.

Inventor： Guowen Ding ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Sun ,  Yu Wang

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/18 ,  C23C14/34 ,  C01B35/10 ,  B05D5/06 ,  G02B1/11

CPC classification number: B05D5/061 ,  C01B35/10 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/21 ,  C03C2217/732 ,  C03C2218/155 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14 ,  C23C14/18 ,  C23C14/34 ,  G02B1/113

Abstract: A method for forming boron oxide films formed using reactive sputtering. The boron oxide films are candidates as an anti-reflection coating. Boron oxide films with a refractive index of about 1.38 can be formed. The boron oxide films can be formed using power densities between 2 W/cm2 and 11 W/cm2 applied to the target. The oxygen in the reactive sputtering atmosphere can be between 40 volume % and 90 volume %.

Abstract translation: 一种用反应溅射形成氧化硼膜的方法。 氧化硼膜是抗反射涂层的候选物。 可以形成折射率为约1.38的氧化硼膜。 可以使用施加到目标的2W / cm 2和11W / cm 2之间的功率密度来形成氧化硼膜。 反应性溅射气氛中的氧可以在40体积％至90体积％之间。

公开(公告)号：US20140186598A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：US13728042

申请日：2012-12-27

Applicant: Intermolecular Inc.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: C03C17/34

CPC classification number: C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C03C2217/734 ,  Y10T428/24975

Abstract: Low emissivity coated panels can be fabricated using a base layer having a low refractive index layer on a high refractive index layer. The low refractive index layer can have refractive index less than 1.5, and can include Mg F2, CaF2, SiO2, or BO. The high refractive index layer can have refractive index greater than 2.3, and can include TiOx, NbOx, or BiOx. The multilayer base structure can allow color tuning with enhanced transmission, for example, as compared to similar structures having single layer base layer.

Abstract translation: 可以使用在高折射率层上具有低折射率层的基底层来制造低发射率涂层面板。 低折射率层可以具有小于1.5的折射率，并且可以包括MgF 2，CaF 2，SiO 2或BO。 高折射率层可以具有大于2.3的折射率，并且可以包括TiO x，NbO x或BiO x。 与具有单层基底层的类似结构相比，多层基底结构可以允许具有增强的透射率的颜色调节。

公开(公告)号：US20140177042A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：US13725126

申请日：2012-12-21

Applicant: Guardian Industries Corp. ,  Intermolecular Inc.

Inventor： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B5/208 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3649 ,  C03C17/3652 ,  C03C17/366 ,  C03C17/40 ,  G02B5/282

Abstract: A method for making low emissivity panels, including control the composition of a barrier layer formed on a thin conductive silver layer. The barrier structure can include an alloy of a first element having high oxygen affinity with a second element having low oxygen affinity. The first element can include Ta, Nb, Zr, Hf, Mn, Y, Si, and Ti, and the second element can include Ru, Ni, Co, Mo, and W, which can have low oxygen affinity property. The alloy barrier layer can reduce optical absorption in the visible range, can provide color-neutral product, and can improve adhesion to the silver layer.

Abstract translation: 一种制造低发射率面板的方法，包括控制形成在薄导电银层上的阻挡层的组成。 阻挡结构可以包括具有高氧亲和力的第一元素与具有低氧亲合力的第二元素的合金。 第一元素可以包括Ta，Nb，Zr，Hf，Mn，Y，Si和Ti，第二元素可以包括可以具有低氧亲和性的Ru，Ni，Co，Mo和W。 合金阻挡层可以减少可见光范围内的光吸收，可以提供颜色中性的产品，并可以提高对银层的粘附性。

公开(公告)号：US20140170422A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13715588

申请日：2012-12-14

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Yu Wang ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Minh Huu Le ,  Haifan Liang ,  Zhi-Wen Wen Sun

IPC: G02B1/10

CPC classification number: G02B1/10 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/94 ,  G02B1/116 ,  G02B5/282

Abstract: A method for making low emissivity panels, including forming a base layer to promote a seed layer for a conductive silver layer. The base layer can be an amorphous layer or a nanocrystalline layer, which can facilitate zinc oxide seed layer growth, together with smoother surface and improved thermal stability. The base layer can include doped tin oxide, for example, tin oxide doped with Al, Ga, In, Mg, Ca, Sr, Sb, Bi, Ti, V, Y, Zr, Nb, Hf, Ta, or any combination thereof. The doped tin oxide base layer can influence the growth of (002) crystallographic orientation in zinc oxide, which in turn serves as a seed layer template for silver (111).

Abstract translation: 一种制造低发射率面板的方法，包括形成基底层以促进导电银层的种子层。 基层可以是非晶层或纳米晶层，其可以促进氧化锌种子层生长，以及更平滑的表面和改善的热稳定性。 基底层可以包括掺杂的氧化锡，例如掺杂有Al，Ga，In，Mg，Ca，Sr，Sb，Bi，Ti，V，Y，Zr，Nb，Hf，Ta或其任何组合的氧化锡 。 掺杂的氧化锡基层可以影响氧化锌中（002）晶体取向的生长，其又用作银（111）的种子层模板。

公开(公告)号：US20140170421A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13715396

申请日：2012-12-14

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC: B05D5/06

CPC classification number: G02B1/10 ,  B05D5/063 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C23C14/083 ,  C23C14/3464 ,  G02B1/116 ,  G02B5/285

Abstract: Embodiments provided herein describe low-e panels and methods for forming low-e panels. A transparent substrate is provided. A reflective layer is formed above the transparent substrate. A titanium-yttrium oxide layer is deposited above the transparent substrate, or above the transparent substrate and the reflective layer, which may enhance optical performance.

Abstract translation: 本文提供的实施例描述了用于形成低e板的低e板和方法。 提供透明基板。 在透明基板的上方形成反射层。 在透明基板的上方或透明基板和反射层上方沉积钛 - 钇氧化物层，这可以增强光学性能。

公开(公告)号：US20140170338A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13714797

申请日：2012-12-14

Applicant: INTERMOLECULAR INC.

Inventor： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3492 ,  C23C14/024 ,  C23C14/185

Abstract: A method for making low emissivity panels, including control the ion characteristics, such as ion energy, ion density and ion to neutral ratio, in a sputter deposition process of a layer deposited on a thin conductive silver layer. The ion control can prevent or minimize degrading the quality of the conductive silver layer, which can lead to better transmittance in visible regime, block more heat transfer from the low emissivity panels, and potentially can reduce the requirements for other layers, so that the overall performance, such as durability, could be improved.

Abstract translation: 在沉积在薄导电银层上的层的溅射沉积工艺中，制备低辐射率面板的方法，包括控制离子特性，例如离子能量，离子密度和离子与中性比。 离子控制可以防止或最小化降低导电银层的质量，这可以导致在可见状态下更好的透射率，阻止来自低辐射面板的更多的热传递，并且潜在地可以减少对其它层的要求，使得整体 可以提高性能，如耐久性。