公开(公告)号：US08939023B2

公开(公告)日：2015-01-27

申请号：US13227305

申请日：2011-09-07

申请人： Won Kyu Jeung ,  Ho Seop Jeong

发明人： Won Kyu Jeung ,  Ho Seop Jeong

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/08 ,  G01P15/09

CPC分类号： G01C19/5755 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/09 ,  G01P2015/0837

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention is configured to include a plate-shaped membrane 110 on which a hole 200 penetrating in a thickness direction is formed, a mass body 120 disposed on a bottom of a central portion 113 of the membrane 110, and a post 130 disposed on a bottom of an edge 115 of the membrane 110 to support the membrane 110 and surrounding the mass body 120. By the configuration, the preferred embodiment of the present invention reduces damping force due to viscosity of air at the time of vibration by forming the hole 200 on the membrane 110 to increase displacement or amplitude of the mass body 120, thereby increasing sensitivity of the inertial sensor 100.

摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100被构造成包括在其上形成有沿厚度方向穿透的孔200的板状膜110，设置在中心部113的底部的质量体120 膜110和设置在膜110的边缘115的底部上的柱130，以支撑膜110并围绕质量体120.通过这种构造，本发明的优选实施例减少了由于粘度而引起的阻尼力 通过在膜110上形成孔200来振动时的空气，以增加质量体120的位移或振幅，由此增加惯性传感器100的灵敏度。

公开(公告)号：US08887569B2

公开(公告)日：2014-11-18

申请号：US13177485

申请日：2011-07-06

申请人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

发明人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

IPC分类号： G01P15/02 ,  G01P15/09 ,  G01P15/18 ,  G01C19/56 ,  C23F1/02 ,  G01P15/08

CPC分类号： B81C1/00158 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/053 ,  B81C1/00484 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00539 ,  B81C1/00571 ,  B81C2201/01 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/014 ,  C09K13/00 ,  C09K13/08 ,  G01C19/56 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871

摘要： Disclosed herein an inertial sensor and a method of manufacturing the same. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention is configured to include a plate-shaped membrane 110, a mass body 120 that includes an adhesive part 123 disposed under a central portion 113 of the membrane 110 and provided at the central portion thereof and a patterning part 125 provided at an outer side of the adhesive part 123 and patterned to vertically penetrate therethrough, and a first adhesive layer 130 that is formed between the membrane 110 and the adhesive part 123 and is provided at an inner side of the patterning part 125. An area of the first adhesive layer 130 is narrow by isotropic etching using the patterning part 125 as a mask, thereby making it possible to improve sensitivity of the inertial sensor 100.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器及其制造方法。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100被配置为包括板状膜110，质量体120，其包括设置在膜110的中心部分113下方并设置在中心部分处的粘合部123 以及设置在粘合部123的外侧并被图案化以垂直贯穿其中的图案形成部分125，以及形成在膜110和粘合部123之间的第一粘合层130，并且设置在第一粘合层130的内侧 图形部分125.通过使用图案形成部分125作为掩模的各向同性蚀刻，第一粘合剂层130的区域变窄，从而可以提高惯性传感器100的灵敏度。

公开(公告)号：US08701489B2

公开(公告)日：2014-04-22

申请号：US13213948

申请日：2011-08-19

申请人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

发明人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P1/02

CPC分类号： G01C19/56

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a plate-shaped membrane 110, a mass body 130 that is provided under a central portion 111 of the membrane 110 and includes an integrated circuit, and a post 140 that are provided under an edge 112 of the membrane 110 to surround the mass body 130, whereby the overall thickness and area of the inertial sensor can be reduced by including the integrated circuit in the mass body 130 to implement a thin and small inertial sensor 100.

摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括板状膜110，设置在膜110的中心部分111下方并包括集成电路的质量体130，以及设置有柱140 在膜110的边缘112下方围绕质量体130，从而可以通过将集成电路包括在质量体130中来实现惯性传感器的整体厚度和面积，以实现薄而小的惯性传感器100。

公开(公告)号：US08607638B2

公开(公告)日：2013-12-17

申请号：US13324918

申请日：2011-12-13

申请人： Won Kyu Jeung ,  Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park

发明人： Won Kyu Jeung ,  Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park

IPC分类号： G01L9/16 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0048 ,  G01P15/08 ,  G01P15/14 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  H03B5/30 ,  H03H9/2405

摘要： Disclosed herein is a MEMS component. The MEMS component according to the exemplary embodiment of the present invention includes: a plate-shaped membrane 110; a post 130 disposed under an edge 115 of the membrane 110; a stopper 140 disposed under the membrane 110 and disposed more inwardly than the post 130 so as to form a space 143 between the stopper 140 and the post 130; and a cap 150 disposed under the post 130 so as to cover the post 130, whereby the influence of disturbance or noise occurring from external environments or interference from surrounding sensors can be interrupted by using a predetermined region 145 of the membrane 110 disposed above the space 143.

摘要翻译： 这里公开了一种MEMS部件。 根据本发明的示例性实施例的MEMS部件包括：板状膜110; 设置在膜110的边缘115下方的柱130; 止挡件140，其设置在膜110的下方并且比柱130更靠内侧设置，以便在止动件140和柱130之间形成空间143; 以及设置在柱130下方以覆盖柱130的盖150，由此可以通过使用设置在空间上方的膜110的预定区域145来中断来自外部环境的发生的干扰或噪声的影响或来自周围的传感器的干扰的影响 143。

公开(公告)号：US20130152687A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：US13440809

申请日：2012-04-05

申请人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

发明人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

IPC分类号： G01P15/09

CPC分类号： G01P15/0922 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor, including: a membrane; a mass body disposed under the membrane; a sensing unit formed on the membrane and including a piezoelectric body; and a spring constant control unit formed to be spaced apart from the sensing unit and including a piezoelectric body. According to the preferred embodiment of the present invention, the DC acceleration (in particular, gravity acceleration) can be measured by using the change in the spring constant without changing the structure of the inertial sensor including the piezoelectric material of the prior art.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：膜; 设置在膜下方的质量体; 感测单元，形成在膜上并包括压电体; 以及弹簧恒定控制单元，其形成为与感测单元间隔开并且包括压电体。 根据本发明的优选实施例，可以通过使用弹簧常数的变化来测量直流加速度（特别是重力加速度），而不改变包括现有技术的压电材料的惯性传感器的结构。

公开(公告)号：US20130133426A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：US13592198

申请日：2012-08-22

申请人： Jung Tae PARK ,  Seung Heon HAN ,  Jong Woon KIM ,  Heung Woo PARK ,  Jung Won LEE ,  Jung Eun NOH ,  Won Kyu JEUNG ,  Sung Jun LEE

发明人： Jung Tae PARK ,  Seung Heon HAN ,  Jong Woon KIM ,  Heung Woo PARK ,  Jung Won LEE ,  Jung Eun NOH ,  Won Kyu JEUNG ,  Sung Jun LEE

IPC分类号： G01P15/12

CPC分类号： G01P15/12 ,  G01C19/56 ,  G01P15/09 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/084

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor including: a membrane; a mass body provided under the membrane; a plurality of patterned magnets provided under the mass body; and a magnetoresistive element provided to be spaced apart from the mass body and measuring static DC acceleration acting on the mass body through resistance changed according to magnetic fields of the plurality of patterned magnets. The plurality of patterned magnets and the magnetoresistive element are included, thereby making it possible to measure static DC acceleration (particularly, gravity acceleration) that is difficult to measure using an existing to piezoelectric element.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：膜; 设置在膜下面的质量体; 设置在所述质量体下方的多个图案化磁体; 以及设置成与质量体间隔开的磁阻元件，并且通过根据多个图案化磁体的磁场而改变的电阻测量作用在质量体上的静态直流加速度。 包括多个图案化磁体和磁阻元件，从而可以测量使用现有的压电元件难以测量的静态直流加速度（特别是重力加速度）。

公开(公告)号：US20130019679A1

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：US13303334

申请日：2011-11-23

申请人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

发明人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01P15/08 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/18

摘要： Disclosed herein is an inertial sensor including: a driving part displaceably supported by a support; a driving electrode vibrating the driving part; and a detecting electrode detecting a force acting on the driving part in a predetermined direction, wherein the driving part includes: a center driving mass positioned at the center of the inertial sensor; side driving masses connected to and interlocking with the center driving mass and positioned at four sides based on the center driving mass; and connection bridges connecting the center driving mass, the side driving masses, and the support to each other.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：可移动地由支撑件支撑的驱动部分; 驱动电极使所述驱动部振动; 以及检测电极，其在预定方向上检测作用在所述驱动部件上的力，其中所述驱动部件包括：位于所述惯性传感器的中心的中心驱动质量块; 连接到中心驱动质量块并且与中心驱动质量块互锁的侧驱动质量块，并且基于中心驱动质量被定位在四侧; 以及将中心驱动质量块，侧驱动块和支撑件彼此连接的连接桥。

公开(公告)号：US20110290022A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US13177485

申请日：2011-07-06

申请人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

发明人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

IPC分类号： G01P15/02 ,  C23F1/02

CPC分类号： B81C1/00158 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/053 ,  B81C1/00484 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00539 ,  B81C1/00571 ,  B81C2201/01 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/014 ,  C09K13/00 ,  C09K13/08 ,  G01C19/56 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871

摘要： Disclosed herein an inertial sensor and a method of manufacturing the same. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention is configured to include a plate-shaped membrane 110, a mass body 120 that includes an adhesive part 123 disposed under a central portion 113 of the membrane 110 and provided at the central portion thereof and a patterning part 125 provided at an outer side of the adhesive part 123 and patterned to vertically penetrate therethrough, and a first adhesive layer 130 that is formed between the membrane 110 and the adhesive part 123 and is provided at an inner side of the patterning part 125. An area of the first adhesive layer 130 is narrow by isotropic etching using the patterning part 125 as a mask, thereby making it possible to improve sensitivity of the inertial sensor 100.

摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器及其制造方法。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100被配置为包括板状膜110，质量体120，其包括设置在膜110的中心部分113下方并设置在中心部分处的粘合部123 以及设置在粘合部123的外侧并被图案化以垂直贯穿其中的图案形成部分125，以及形成在膜110和粘合部123之间的第一粘合层130，并且设置在第一粘合层130的内侧 图形部分125.通过使用图案形成部分125作为掩模的各向同性蚀刻，第一粘合剂层130的区域变窄，从而可以提高惯性传感器100的灵敏度。

公开(公告)号：US20090309177A1

公开(公告)日：2009-12-17

申请号：US12285943

申请日：2008-10-16

申请人： Won Kyu Jeung ,  Seung Seoup Lee

发明人： Won Kyu Jeung ,  Seung Seoup Lee

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0232

CPC分类号： H01L27/14618 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14685 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The present invention relates to a wafer level camera module and a method of manufacturing the same and provides a wafer level camera module including a wafer provided with an image sensor on a top surface; a transparent member bonded to the wafer through anodic bonding to seal the image sensor; a spacer bonded to the transparent member through the anodic bonding by including a window to expose the image sensor; and a wafer lens bonded to the spacer through the anodic bonding to cover the window of the spacer and further a method of manufacturing the same.

摘要翻译： 晶片级摄像机模块及其制造方法技术领域本发明涉及晶圆级摄像机模块及其制造方法，并提供晶片级相机模块，其包括在顶面上设置有图像传感器的晶片; 通过阳极接合与晶片接合以密封图像传感器的透明构件; 通过包括窗口以暴露图像传感器通过阳极接合而结合到透明构件的间隔件; 以及通过阳极接合而结合到间隔件的晶片透镜，以覆盖间隔物的窗口，并且还提供了制造该间隔物的方法。

公开(公告)号：US20090072335A1

公开(公告)日：2009-03-19

申请号：US12232384

申请日：2008-09-16

申请人： Yul-Kyo Chung ,  Sung Yi ,  Won-Kyu Jeung ,  Jung-Won Lee

发明人： Yul-Kyo Chung ,  Sung Yi ,  Won-Kyu Jeung ,  Jung-Won Lee

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L27/14618 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05009 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099

摘要： An image sensor package is provided. The image sensor package may include a semiconductor substrate, an image sensor stacked over an upper surface of the semiconductor substrate, a pad formed on a lower surface of the semiconductor substrate and electrically connected with the image sensor, and a passive component formed by a thin film process on a lower surface of the semiconductor substrate and electrically connected with the pad.

摘要翻译： 提供图像传感器封装。 图像传感器封装可以包括半导体衬底，堆叠在半导体衬底的上表面上的图像传感器，形成在半导体衬底的下表面上并与图像传感器电连接的衬垫，以及由薄的 在半导体衬底的下表面上进行薄膜处理并与衬垫电连接。