公开(公告)号：US06828571B1

公开(公告)日：2004-12-07

申请号：US10699708

申请日：2003-11-03

申请人： Mark A. McCord ,  Jan A. Lauber ,  Paul Petric ,  Ross W. Thompson ,  Jason Lim ,  Frank Y. H. Fan ,  Gabor D. Toth

发明人： Mark A. McCord ,  Jan A. Lauber ,  Paul Petric ,  Ross W. Thompson ,  Jason Lim ,  Frank Y. H. Fan ,  Gabor D. Toth

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： G01R31/307 ,  G01R31/2653 ,  H01J37/026 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/0048 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2817

摘要： One embodiment disclosed relates to a method of setting a surface charge of an area on a substrate to a desired level. The substrate is held on a stage, and a stage bias voltage applied to the stage is controlled. A flood of electrons is directed to the area. The stage bias voltage is controlled such that the surface charge of the area reaches an equilibrium at the desired level. Another embodiment disclosed relates to a method of auto-focusing a main electron beam incident upon an imaging area of a substrate. A monitor electron beam is generated and directed towards a monitoring area of the substrate at a non-perpendicular incidence angle. An in-focus band in data collected from the monitor beam is detected. The focal length of an objective lens focusing the main beam is adjusted based upon a position of the in-focus band.

摘要翻译： 公开的一个实施例涉及一种将衬底上的区域的表面电荷设置到期望水平的方法。 将基板保持在平台上，并且控制施加到载物台的载物台偏置电压。 大量的电子被引导到该地区。 阶段偏置电压被控制使得该区域的表面电荷达到期望水平的平衡。 公开的另一实施例涉及一种自动聚焦入射到基板的成像区域上的主电子束的方法。 产生监视电子束并以非垂直入射角朝向基板的监视区域。 检测从监视器束收集的数据中的对焦带。 聚焦主光束的物镜的焦距基于对焦带的位置进行调整。

公开(公告)号：US06797955B1

公开(公告)日：2004-09-28

申请号：US10607224

申请日：2003-06-26

申请人： David L. Adler ,  Luca Grella ,  Gabor D. Toth

发明人： David L. Adler ,  Luca Grella ,  Gabor D. Toth

IPC分类号： H01J37147

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J2237/281 ,  H01J2237/2815

摘要： The disclosure relates to filtered e-beam inspection and review. One embodiment pertains to the filtered inspection or review of a specimen with a high aspect ratio feature. Advantageously, the energy and/or angular filtering improves the information retrievable relating to the high aspect ratio feature on the specimen. Another embodiment pertains to a method for energy-filtered electron beam inspection where a band-pass energy filtered image data is generated by determining the difference between a first high-pass energy-filtered image data set and a second high-pass energy-filtered image data set.

摘要翻译： 本公开涉及过滤的电子束检查和审查。 一个实施例涉及具有高纵横比特征的样本的过滤检查或检查。 有利地，能量和/或角度滤波改善了与样本上的高纵横比特征有关的信息。 另一个实施例涉及一种用于能量过滤的电子束检查的方法，其中通过确定第一高通能量滤波图像数据集和第二高通能量滤波图像之间的差异来生成带通能量滤波图像数据 数据集。

公开(公告)号：US07755042B1

公开(公告)日：2010-07-13

申请号：US12124407

申请日：2008-05-21

申请人： Gabor D. Toth ,  Rudy F. Garcia ,  Chris Huang ,  Niles Kenneth MacDonald ,  Mehran Nasser-Ghodsi ,  Garrett Pickard ,  Khashayar Shadman ,  Wo-Tak Wu ,  Ming Yu

发明人： Gabor D. Toth ,  Rudy F. Garcia ,  Chris Huang ,  Niles Kenneth MacDonald ,  Mehran Nasser-Ghodsi ,  Garrett Pickard ,  Khashayar Shadman ,  Wo-Tak Wu ,  Ming Yu

IPC分类号： H01J37/05

CPC分类号： H01J37/05 ,  G01N23/2276 ,  H01J37/14 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2801

摘要： A scanning electron beam apparatus with an Auger spectrometer. The apparatus includes at least an electron column for generating a primary electron beam, a magnetic objective lens configured to focus the primary electron beam onto a surface of a target substrate, and a spectrometer configured to detect Auger electrons emitted from the surface of the target substrate. The magnetic objective lens applies a magnetic field strength greater than 10 Gauss and less than 50 Gauss at the surface of the target substrate. Other embodiments, aspects and features are also disclosed.

摘要翻译： 具有俄歇光谱仪的扫描电子束装置。 该装置至少包括用于产生一次电子束的电子柱，被配置为将一次电子束聚焦到目标衬底的表面上的磁性物镜，以及配置成检测从靶衬底的表面发射的俄歇电子的光谱仪 。 磁性物镜在目标衬底的表面施加大于10高斯的磁场强度和小于50高斯。 还公开了其它实施例，方面和特征。