公开(公告)号：US06328043B1

公开(公告)日：2001-12-11

申请号：US09315340

申请日：1999-05-20

申请人： Young-Roe Kim ,  Hyun-Young Kim ,  Hyun-kuk Ko ,  Kyung-Burn Koo ,  Ju-Wan Kim ,  Hyong-Soo Kim ,  Dong-chan Park ,  Dong-Geun Na

发明人： Young-Roe Kim ,  Hyun-Young Kim ,  Hyun-kuk Ko ,  Kyung-Burn Koo ,  Ju-Wan Kim ,  Hyong-Soo Kim ,  Dong-chan Park ,  Dong-Geun Na

IPC分类号： B08B500

CPC分类号： C23C16/4408 ,  C23C16/42 ,  C23C16/4405 ,  Y10S438/905

摘要： A method and an apparatus for removing particulate contaminant are provided in order to ensure high purity during a tungsten suicide deposition process. The method for removing particulate contaminant in tungsten silicide deposition process using SiH4 as silicon source gas and NF3 as cleaning gas, includes purging a carrier gas line for an SiH4 silicon source gas to remove the contaminant in the chamber and carrier gas line when the carrier gas is supplied with the chamber, and the NF3 cleaning gas is supplied to the chamber to form plasma. After a plasma cleaning, the gas line flowing reaction gas responding to the SiH4 is purged to remove the contaminant in the chamber and the reaction gas line. As a result, any particulate contaminant is removed or remains at a minimum level that has no effect on the tungsten silicide deposition process.

摘要翻译： 提供了一种用于除去微粒污染物的方法和装置，以确保在硅化钨沉积工艺期间的高纯度。 使用SiH4作为硅源气体和NF 3作为清洁气体的去除硅化钨沉积工艺中的微粒污染物的方法包括：在载气中除去用于SiH 4硅源气体的载气管线以除去腔室和载气管线中的污染物 供给室，并且将NF 3清洁气体供应到室以形成等离子体。 在等离子体清洗之后，吹扫响应于SiH 4的气体管线流动的反应气体以除去腔室和反应气体管线中的污染物。 结果，任何颗粒污染物被去除或保持在对硅化钨沉积过程没有影响的最低水平。

公开(公告)号：US09343475B2

公开(公告)日：2016-05-17

申请号：US14155842

申请日：2014-01-15

申请人： Kyung-Tae Jang ,  Sang-Hoon Lee ,  Ji-Youn Seo ,  Hyun-Yong Go ,  Koong-Hyun Nam ,  Ju-Wan Kim ,  Seung-Mok Shin ,  Myoung-Bum Lee ,  Ji-Woon Im ,  Tae-Jong Han

发明人： Kyung-Tae Jang ,  Sang-Hoon Lee ,  Ji-Youn Seo ,  Hyun-Yong Go ,  Koong-Hyun Nam ,  Ju-Wan Kim ,  Seung-Mok Shin ,  Myoung-Bum Lee ,  Ji-Woon Im ,  Tae-Jong Han

IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L27/115 ,  H01L21/28

CPC分类号： H01L27/11582 ,  H01L21/28282 ,  H01L27/1157

摘要： In a method of a vertical memory device, insulation layers and sacrificial layers are alternately and repeatedly formed on a substrate. A hole is formed through the insulation layers and the sacrificial layers that expose a top surface of the substrate. Then, an interior portion of the hole may be enlarged. A semiconductor pattern is formed to partially fill the enlarged portion of the hole. A blocking layer, a charge storage layer and a tunnel insulation layer may be formed on a sidewall of the hole and the semiconductor pattern. Then, the tunnel insulation layer, the charge storage layer and the blocking layer are partially removed to expose a top surface of the semiconductor pattern. A channel is formed on the exposed top surface of the semiconductor pattern and the tunnel insulation layer. The sacrificial layers are replaced with gate electrodes.

摘要翻译： 在垂直存储器件的方法中，绝缘层和牺牲层在衬底上交替且重复地形成。 通过绝缘层和暴露衬底顶表面的牺牲层形成一个孔。 然后，可以扩大孔的内部。 半导体图案形成为部分地填充孔的扩大部分。 可以在孔和半导体图案的侧壁上形成阻挡层，电荷存储层和隧道绝缘层。 然后，部分去除隧道绝缘层，电荷存储层和阻挡层，以露出半导体图案的顶表面。 在半导体图案的暴露的顶表面和隧道绝缘层上形成沟道。 牺牲层被栅电极代替。

公开(公告)号：US20150200203A1

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：US14155842

申请日：2014-01-15

申请人： Kyung-Tae Jang ,  Sang-Hoon Lee ,  Ji-Youn Seo ,  Hyun-Yong Go ,  Koong-Hyun Nam ,  Ju-Wan Kim ,  Seung-Mok Shin ,  Myoung-Bum Lee ,  Ji-Woon Im ,  Tae-Jong Han

发明人： Kyung-Tae Jang ,  Sang-Hoon Lee ,  Ji-Youn Seo ,  Hyun-Yong Go ,  Koong-Hyun Nam ,  Ju-Wan Kim ,  Seung-Mok Shin ,  Myoung-Bum Lee ,  Ji-Woon Im ,  Tae-Jong Han

IPC分类号： H01L27/115 ,  H01L29/66 ,  H01L29/788 ,  H01L21/28

CPC分类号： H01L27/11582 ,  H01L21/28282 ,  H01L27/1157

摘要： In a method of a vertical memory device, insulation layers and sacrificial layers are alternately and repeatedly formed on a substrate. A hole is formed through the insulation layers and the sacrificial layers that expose a top surface of the substrate. Then, an interior portion of the hole may be enlarged. A semiconductor pattern is formed to partially fill the enlarged portion of the hole. A blocking layer, a charge storage layer and a tunnel insulation layer may be formed on a sidewall of the hole and the semiconductor pattern. Then, the tunnel insulation layer, the charge storage layer and the blocking layer are partially removed to expose a top surface of the semiconductor pattern. A channel is formed on the exposed top surface of the semiconductor pattern and the tunnel insulation layer. The sacrificial layers are replaced with gate electrodes.

摘要翻译： 在垂直存储器件的方法中，绝缘层和牺牲层在衬底上交替且重复地形成。 通过绝缘层和暴露衬底顶表面的牺牲层形成一个孔。 然后，可以扩大孔的内部。 半导体图案形成为部分地填充孔的扩大部分。 可以在孔和半导体图案的侧壁上形成阻挡层，电荷存储层和隧道绝缘层。 然后，部分去除隧道绝缘层，电荷存储层和阻挡层，以露出半导体图案的顶表面。 在半导体图案的暴露的顶表面和隧道绝缘层上形成沟道。 牺牲层被栅电极代替。

公开(公告)号：US08554788B2

公开(公告)日：2013-10-08

申请号：US13042968

申请日：2011-03-08

申请人： In-Sung Jang ,  Jin-Hyoung Park ,  Moon-Soo Lee ,  Chung-Ho Lee ,  In-Hak Joo ,  Min-Soo Kim ,  Ju-Wan Kim

发明人： In-Sung Jang ,  Jin-Hyoung Park ,  Moon-Soo Lee ,  Chung-Ho Lee ,  In-Hak Joo ,  Min-Soo Kim ,  Ju-Wan Kim

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F17/30241

摘要： Disclosed herein is an apparatus and method for analyzing information about floating population. The apparatus includes an information collection unit, a data integration unit, a data mining analysis unit, and an interface unit. The information collection unit collects information about locations provided by mobile communication terminals of moving objects, information about attributes of the moving objects, and information about locations and attributes related to stationary objects. The data integration unit creates integrated data by integrating the information collected by the information collection unit, national statistical information, and map data registered previously. The data mining analysis unit extracts data, consistent with conditions input by a system user, from the integrated data, and searches the map data for based moving patterns of the moving objects using data mining analysis. The interface unit provides a map service in which search results have been applied to the map data.

摘要翻译： 本文公开了一种用于分析关于流动人口的信息的装置和方法。 该装置包括信息收集单元，数据集成单元，数据挖掘分析单元和接口单元。 信息收集单元收集关于移动物体的移动通信终端提供的位置的信息，关于移动物体的属性的信息，以及关于与静止物体相关的位置和属性的信息。 数据集成单元通过集成由信息收集单元收集的信息，国家统计信息和先前登记的地图数据来创建综合数据。 数据挖掘分析单元从集成数据中提取与系统用户输入的条件一致的数据，并使用数据挖掘分析来搜索基于移动对象的移动模式的地图数据。 接口单元提供地图服务，其中搜索结果已被应用于地图数据。

公开(公告)号：US20080294334A1

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：US12096761

申请日：2005-12-30

申请人： Jung-Hee Jo ,  Kyoung-Wook Min ,  Ju-Wan Kim ,  Jong-Hyun Park

发明人： Jung-Hee Jo ,  Kyoung-Wook Min ,  Ju-Wan Kim ,  Jong-Hyun Park

IPC分类号： G01C21/00

CPC分类号： G01S19/09 ,  G01S5/0294

摘要： In existing moving object tracking, there is a great communication load between a terminal and a platform, because the terminal should report its location to the platform every second or every minute and the platform should frequently process the location form the terminal. It is possible to reduce the great communication load on the server, by calculating an error between the current GPS location and the estimated location at a specific time on the basis of the estimated arrival time of the moving object. It allows that the terminal report its location to the server only when the error between current GPS location and the estimated location is greater than a predetermined threshold value.

摘要翻译： 在现有的移动物体跟踪中，终端和平台之间存在着很大的通信负载，因为终端应该每隔一分钟或每分钟将其位置报告给平台，并且平台应该频繁地处理终端的位置。 可以通过基于运动物体的预计到达时间计算当前GPS位置与特定时间的估计位置之间的误差来减少服务器上的良好的通信负荷。 只有当当前GPS位置与估计位置之间的误差大于预定阈值时，才允许该终端向服务器报告其位置。

公开(公告)号：US08103444B2

公开(公告)日：2012-01-24

申请号：US12182770

申请日：2008-07-30

申请人： Jung-Hee Jo ,  Kyoung-Wook Min ,  Ju-Wan Kim ,  Jong-Hyun Park

发明人： Jung-Hee Jo ,  Kyoung-Wook Min ,  Ju-Wan Kim ,  Jong-Hyun Park

IPC分类号： G01C21/00

CPC分类号： G01S5/0027 ,  G01S19/34

摘要： Provided are a system and a method for reducing a communication load of an apparatus for tracking a moving object. The system includes: an estimated necessary time calculating unit receiving a current location and an arrival location of the moving object from a terminal included in the moving object, calculating estimated necessary time for the moving object to reach the arrival location, and transmitting the estimated necessary time to the terminal; and a communication path on-off controlling unit activating a communication path for the terminal to receive the estimated necessary time from the estimated necessary time calculating unit, and inactivating the communication path when the terminal receives the estimated necessary time through the communication path.

摘要翻译： 提供了一种用于减少跟踪移动物体的装置的通信负荷的系统和方法。 该系统包括：估计必要时间计算单元，从运动对象中包含的终端接收移动物体的当前位置和到达位置，计算运动物体达到到达位置的估计必要时间，以及传送所估计的必要时间 到码头的时间 以及通信路径开关控制单元，其激活所述终端的通信路径，以从所述估计必要时间计算单元接收所述估计的必要时间，以及当所述终端通过所述通信路径接收到所述估计的必要时间时，停用所述通信路径。

公开(公告)号：US07668783B2

公开(公告)日：2010-02-23

申请号：US11191592

申请日：2005-07-28

申请人： Ju-Wan Kim ,  Jung-Sook Kim ,  Jeong-Dan Choi ,  Byung-Tae Jang

发明人： Ju-Wan Kim ,  Jung-Sook Kim ,  Jeong-Dan Choi ,  Byung-Tae Jang

IPC分类号： G06F21/00

CPC分类号： G06F8/64 ,  G06F8/60 ,  G06Q30/06

摘要： A rental software providing system and a method thereof, and its rental software providing server and a wireless terminal are disclosed. The rental software providing system using a prefetching scheme includes: a wireless terminal for notifying a network connection state, and a hardware state of the wireless terminal to a rental software providing server in order to perform the prefetching scheme; and a rental software providing server for prefetching partial programs of a rental software to be used in the wireless terminal by using a prefetching managing unit and a pattern analyzer and transmitting the prefetched partial programs to the wireless terminal.

摘要翻译： 公开租赁软件提供系统及其方法及其租赁软件提供服务器和无线终端。 使用预取方案的租赁软件提供系统包括：用于向租赁软件提供服务器通知网络连接状态的无线终端和无线终端的硬件状态，以便执行预取方案; 以及租赁软件提供服务器，用于通过使用预取管理单元和模式分析器预取在无线终端中使用的租赁软件的部分节目，并将预取的部分节目发送到无线终端。

公开(公告)号：US20060129494A1

公开(公告)日：2006-06-15

申请号：US11191592

申请日：2005-07-28

申请人： Ju-Wan Kim ,  Jung-Sook Kim ,  Jeong-Dan Choi ,  Byung-Tae Jang

发明人： Ju-Wan Kim ,  Jung-Sook Kim ,  Jeong-Dan Choi ,  Byung-Tae Jang

IPC分类号： G06Q99/00

CPC分类号： G06F8/64 ,  G06F8/60 ,  G06Q30/06

摘要： A rental software providing system and a method thereof, and its rental software providing server and a wireless terminal are disclosed. The rental software providing system using a prefetching scheme includes: a wireless terminal for notifying a network connection state, and a hardware state of the wireless terminal to a rental software providing server in order to perform the prefetching scheme; and a rental software providing server for prefetching partial programs of a rental software to be used in the wireless terminal by using a prefetching managing unit and a pattern analyzer and transmitting the prefetched partial programs to the wireless terminal.

摘要翻译： 公开租赁软件提供系统及其方法及其租赁软件提供服务器和无线终端。 使用预取方案的租赁软件提供系统包括：用于向租赁软件提供服务器通知网络连接状态的无线终端和无线终端的硬件状态，以便执行预取方案; 以及租赁软件提供服务器，用于通过使用预取管理单元和模式分析器预取在无线终端中使用的租赁软件的部分节目，并将预取的部分节目发送到无线终端。

公开(公告)号：US06337282B2

公开(公告)日：2002-01-08

申请号：US09364053

申请日：1999-07-30

申请人： Ju-Wan Kim ,  Byung-Keun Hwang ,  Sung-Jin Kim ,  Jue-Goo Lee ,  Chang-Hyun Cho ,  Gwan-Hyeob Koh

发明人： Ju-Wan Kim ,  Byung-Keun Hwang ,  Sung-Jin Kim ,  Jue-Goo Lee ,  Chang-Hyun Cho ,  Gwan-Hyeob Koh

IPC分类号： H01L21311

CPC分类号： H01L21/02164 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31612 ,  H01L21/31625 ,  H01L21/3185

摘要： A dielectric layer is formed by depositing a first dielectric layer above a semiconductor substrate including recessed regions, etching the first dielectric layer to remove any voids and to lower the aspect ratio of the recessed regions, and depositing a second dielectric layer on the first dielectric layer in the recessed regions. The method is particularly useful when the aspect ratios are high for recessed regions formed between patterns.

摘要翻译： 通过在包括凹陷区域的半导体衬底上沉积第一电介质层，蚀刻第一电介质层以除去任何空隙并降低凹陷区域的纵横比，并在第一介电层上沉积第二电介质层，形成电介质层 在凹陷区域。 当在图案之间形成的凹陷区域的纵横比高时，该方法特别有用。