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    Displacement measurements using phase changes
    22.
    发明授权
    Displacement measurements using phase changes 失效
    使用相位变化进行位移测量

    公开(公告)号：US07609858B2

    公开(公告)日：2009-10-27

    申请号：US10931414

    申请日：2004-08-31

    申请人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： G06K9/00

    CPC分类号： G01B11/002 ,  G06T7/262 ,  G06T7/37

    摘要： A measurement process or system transforms image data corresponding to images of an object to the frequency domain and analyzes the frequency domain data to determine a displacement of the object occurring between first and second images. Analysis in the frequency domain simplifies identification and handling of data expected to be noisy. In particular, frequencies corresponding to modes of vibration, lighting variation, or sensor error characteristic of a measurement system or frequencies corresponding to small magnitude frequency-domain data can be given little or no weighting in analysis that provides the displacement measurement. In one embodiment, Fourier transforms of shifted and unshifted images differ by a phase delay. A least square fit slope of the phase values associated with the phase delay can indicate displacements to accuracies less than 1% of a pixel width, thereby providing nanometer scale precision using imaging systems having a pixel width of about 1 μm.

    摘要翻译： 测量过程或系统将对应于对象的图像的图像数据变换到频域，并分析频域数据以确定在第一和第二图像之间发生的对象的位移。 频域分析简化了预计嘈杂的数据的识别和处理。 特别地，对应于测量系统的振动模式，照明变化或传感器误差特性的频率或与小幅度频域数据相对应的频率的频率，在提供位移测量的分析中可以很少或没有加权。 在一个实施例中，移位和未移位图像的傅里叶变换相位延迟。 与相位延迟相关的相位值的最小平方拟合斜率可以指示小于像素宽度的1％的精度位移，从而使用具有约1um的像素宽度的成像系统提供纳米级精度。

    Systems and methods for rectifying and detecting signals
    23.
    发明授权
    Systems and methods for rectifying and detecting signals 有权
    整流和检测信号的系统和方法

    公开(公告)号：US07429864B2

    公开(公告)日：2008-09-30

    申请号：US11015060

    申请日：2004-12-17

    申请人： Carl E. Picciotto ,  Peter George Hartwell

    发明人： Carl E. Picciotto ,  Peter George Hartwell

    IPC分类号： G01R31/26

    CPC分类号： G01R31/2853

    摘要： A first device has a surface and includes a plurality of at largest micrometer-scale geometry structures extending along its surface. The structures have a first portion and a second portion. A plurality of at largest micrometer-scale geometry conductors are coupled to the first portion of respective structures. A converter converts a signal in the first portion of the structures to a substantially direct current signal in the respective second portion. A sensor detects a level of a signal coupled from one of the conductors to a respective one of the structures.

    摘要翻译： 第一装置具有表面并且包括沿其表面延伸的多个最大的微米尺度的几何结构。 该结构具有第一部分和第二部分。 多个最大的微米尺度几何形状导体耦合到相应结构的第一部分。 A转换器将结构的第一部分中的信号转换成相应的第二部分中的基本上直流的信号。 传感器检测从一个导体耦合到相应的一个结构的信号的电平。

    Measuring sub-wavelength displacements
    25.
    发明授权
    Measuring sub-wavelength displacements 失效
    测量亚波长位移

    公开(公告)号：US07283677B2

    公开(公告)日：2007-10-16

    申请号：US10931647

    申请日：2004-08-31

    申请人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： G06K9/46

    CPC分类号： G01B11/002 ,  G01D5/26 ,  G01D5/34776 ,  G06T7/32 ,  Y10T428/256

    摘要： Measurement systems and methods extend the use of optical navigation to measure displacements smaller than a wavelength of the light used to capture images of an object measured. Nanometer-scale movements can thus be measured, for example, in equipment used for manufacture of integrated circuits or nanometer scale devices.

    摘要翻译： 测量系统和方法扩展了光学导航的使用，以测量小于用于捕获测量对象的图像的光的波长的位移。 因此，可以例如在用于制造集成电路或纳米级装置的设备中测量纳米级的运动。

    Sensing alignment of multiple layers
    26.
    发明授权
    Sensing alignment of multiple layers 失效
    感应多层的对齐

    公开(公告)号：US07226797B2

    公开(公告)日：2007-06-05

    申请号：US10995837

    申请日：2004-11-23

    申请人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： H01L21/00

    CPC分类号： G06T7/0004

    摘要： Using an imaging system in relation to a plurality of material layers in an initial alignment state is provided, a first of the plurality of material layers at least partially obscuring a second of the plurality of material layers in the initial alignment state. The first material layer is moved from a first position corresponding to the initial alignment state to a second position out of a field of view of the imaging system, and a first image of the second material layer is stored. The first material layer is moved back the first position to restore the initial alignment state. A second image of the first material layer is acquired. The second image and the stored first image are processed to determine the initial alignment state.

    摘要翻译： 提供了在初始对准状态下相对于多个材料层使用成像系统，多个材料层中的第一个在初始对准状态下至少部分地遮蔽多个材料层中的第二个材料层。 第一材料层从对应于初始取向状态的第一位置移动到成像系统的视野外的第二位置，并且存储第二材料层的第一图像。 第一材料层被移回第一位置以恢复初始对准状态。 获取第一材料层的第二图像。 处理第二图像和存储的第一图像以确定初始对准状态。

    Method and apparatus for distinguishing transparent media
    27.
    发明授权
    Method and apparatus for distinguishing transparent media 有权
    用于区分透明介质的方法和装置

    公开(公告)号：US06497179B1

    公开(公告)日：2002-12-24

    申请号：US09909710

    申请日：2001-07-19

    申请人： Ross R. Allen ,  Carl E Picciotto ,  Jun Gao

    发明人： Ross R. Allen ,  Carl E Picciotto ,  Jun Gao

    IPC分类号： B41F154

    CPC分类号： B41J11/009 ,  B41J11/0095

    摘要： A printer having a transparency film discrimination system is disclosed. The printer includes a feed mechanism, an illumination source, a detector, and a processor. Light from the illumination source is reflected on or transmitting through the print medium (such as a transparent film) and is detected by the detector. The detected light is analyzed to determine the type of the medium. If the determined type of the print medium is not acceptable for the printer, then control signal is provided to the printer to halt the printing process as to avoid damage to the printer.

    摘要翻译： 公开了一种具有透明胶片鉴别系统的打印机。 打印机包括进给机构，照明源，检测器和处理器。 来自照明源的光被反射在打印介质（例如透明膜）上或通过打印介质传输，并由检测器检测。 分析检测到的光以确定介质的类型。 如果确定的打印介质的类型对于打印机是不可接受的，则将控制信号提供给打印机以停止打印处理，以避免损坏打印机。