公开(公告)号：US07825275B2

公开(公告)日：2010-11-02

申请号：US12567932

申请日：2009-09-28

申请人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

发明人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

IPC分类号： C07C51/09 ,  C07C51/38 ,  C07C57/52 ,  C07C67/04 ,  C07C67/343 ,  C07C69/65

CPC分类号： C07C57/32 ,  C07C69/65 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/20 ,  C08F14/18 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  Y10S430/146 ,  C08F2/00

摘要： To provide a novel fluorinated compound, a fluoropolymer and a method for producing the compound.A compound represented by the formula CF2═CFCF2C(X)(C(O)OZ)(CH2)nCR═CHR (wherein X is a hydrogen atom, a cyano group or a group represented by the formula —C(O)OZ, Z is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group, n is 0, 1, or 2, and R is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group), a method for producing it, and a fluoropolymer obtained by polymerizing the compound.

摘要翻译： 提供新的含氟化合物，含氟聚合物及其制备方法。 由式CF2 = CFCF2C（X）（C（O）OZ）（CH2）nCR = CHR（其中X是氢原子，氰基或由式-C（O）OZ表示的基团）表示的化合物， Z为氢原子或碳原子数为1〜20的一价有机基团，n为0,1或2，R为氢原子或碳原子数为1〜20的一价有机基团），其制造方法以及由 使化合物聚合。

公开(公告)号：US20100016532A1

公开(公告)日：2010-01-21

申请号：US12567932

申请日：2009-09-28

申请人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

发明人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

IPC分类号： C08F120/68 ,  C07C69/52 ,  C07D309/12

CPC分类号： C07C57/32 ,  C07C69/65 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/20 ,  C08F14/18 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  Y10S430/146 ,  C08F2/00

摘要： To provide a novel fluorinated compound, a fluoropolymer and a method for producing the compound.A compound represented by the formula CF2═CFCF2C(X)(C(O)OZ)(CH2)nCR═CHR (wherein X is a hydrogen atom, a cyano group or a group represented by the formula —C(O)OZ, Z is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group, n is 0, 1, or 2, and R is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group), a method for producing it, and a fluoropolymer obtained by polymerizing the compound.

摘要翻译： 提供新的含氟化合物，含氟聚合物及其制备方法。 由式CF2-CFCF2C（X）（C（O）OZ）（CH2）nCR-CHR（其中X是氢原子，氰基或由式-C（O）OZ表示的基团）表示的化合物， Z为氢原子或碳原子数为1〜20的一价有机基团，n为0,1或2，R为氢原子或碳原子数为1〜20的一价有机基团），其制造方法以及由 使化合物聚合。

公开(公告)号：US07498393B2

公开(公告)日：2009-03-03

申请号：US11626913

申请日：2007-01-25

申请人： Yoko Takebe ,  Masataka Eda ,  Osamu Yokokoji ,  Takashi Sasaki

发明人： Yoko Takebe ,  Masataka Eda ,  Osamu Yokokoji ,  Takashi Sasaki

IPC分类号： C08F136/16

CPC分类号： C07C43/30 ,  C07C33/423 ,  C07C43/17 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/11 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

摘要： A fluoropolymer having functional groups and having high transparency in a wide wavelength range is provided, and a resist composition and a composition for a resist protective film, comprising the fluoropolymer, wherein the fluoropolymer has monomer units formed by cyclopolymerization of a fluorinated diene represented by the formula (1): CF2═CFCF2C(CF3)(OR1)—(CH2)nCR2═CHR3  (1) wherein R1 is a hydrogen atom, an alkyl group having at most 20 carbon atoms, or (CH2)aCOOR4 (wherein a is 0 or 1, and R4 is a hydrogen atom or an alkyl group having at most 20 carbon atoms), each of R2 and R3, which are independent of each other, is a hydrogen atom or an alkyl group having at most 12 carbon atoms, and n is 0 or 2, provided that when n is 0, at least one of R1, R2 and R3 is other than a hydrogen atom.

摘要翻译： 提供具有官能团并且在宽波长范围内具有高透明度的含氟聚合物，以及抗蚀剂组合物和用于抗蚀剂保护膜的组合物，其包含含氟聚合物，其中所述含氟聚合物具有通过氟代二烯表示的氟化二烯的环化聚合形成的单体单元 CF2-CFCF2C（CF3）（OR1） - （CH2）nCR2-CHR3（1）<α-in-line-formula description =“In-line formula”end =“lead” line-formula description =“In-line Formulas”end =“tail”？>其中R1是氢原子，最多20个碳原子的烷基或（CH2）aCOOR4（其中a是0或1，R4 是氢原子或具有至多20个碳原子的烷基），R 2和R 3各自独立地为氢原子或至多12个碳原子的烷基，n为0或2 条件是当n为0时，R 1，R 2和R 3中的至少一个不是氢原子。

公开(公告)号：US20070154844A1

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：US11626913

申请日：2007-01-25

申请人： Yoko TAKEBE ,  Masataka Eda ,  Osamu Yokokoji ,  Takashi Sasaki

发明人： Yoko TAKEBE ,  Masataka Eda ,  Osamu Yokokoji ,  Takashi Sasaki

IPC分类号： C07C57/18 ,  G03C5/00 ,  C07C21/18 ,  C08F18/20

CPC分类号： C07C43/30 ,  C07C33/423 ,  C07C43/17 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/11 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

摘要： To provide a fluoropolymer having functional groups and having high transparency in a wide wavelength range, and a resist composition and a composition for a resist protective film, comprising the fluoropolymer. A fluoropolymer having monomer units formed by cyclopolymerization of a fluorinated diene represented by the formula (1): CF2═CFCF2C(CF3)(OR1)—(CH2)nCR2═CHR3  (1) wherein R1 is a hydrogen atom, an alkyl group having at most 20 carbon atoms, or (CH2)aCOOR4 (wherein a is 0 or 1, and R4 is a hydrogen atom or an alkyl group having at most 20 carbon atoms), each of R2 and R3, which are independent of each other, is a hydrogen atom or an alkyl group having at most 12 carbon atoms, and n is 0 or 2, provided that when n is 0, at least one of R1, R2 and R3 is other than a hydrogen atom.

摘要翻译： 提供具有官能团并且在宽波长范围内具有高透明度的含氟聚合物，以及包含含氟聚合物的抗蚀剂组合物和抗蚀剂保护膜用组合物。 具有由式（1）表示的氟化二烯的环化聚合形成的单体单元的含氟聚合物：<？in-line-formula description =“In-line formula”end =“lead”→> CF 2 CFCF 2 C（CF 3）（OR 1） - （CH 2）n（n） （1）<？in-line-formula description =“In-line Formulas”end =“tail”？>其中R 1是氢原子，具有至多20个碳原子的烷基，或（CH 2 CH 2）n CO 2， （其中a为0或1，R 4为氢原子或至多为20个碳原子的烷基），R 2和R 2各自为氢， 彼此独立的氢原子是氢原子或至多12个碳原子的烷基，n为0或2，条件是当n为0时，R“ SUP> 1，R 2和R 3不同于氢原子。

公开(公告)号：US5093515A

公开(公告)日：1992-03-03

申请号：US507242

申请日：1990-04-10

申请人： Seisaku Kumai ,  Osamu Yokokoji ,  Akihiro Tamaoki ,  Ryonosuke Yoshida ,  Yoshiyuki Murakami

发明人： Seisaku Kumai ,  Osamu Yokokoji ,  Akihiro Tamaoki ,  Ryonosuke Yoshida ,  Yoshiyuki Murakami

IPC分类号： C07C45/46 ,  C07C49/807 ,  C07C63/70 ,  C07C229/44

CPC分类号： C07C229/44 ,  C07C45/46 ,  C07C49/807

摘要： A 2-chloro-4,5-difluorobenzoyl compound of the formula: ##STR1## wherein R.sup.2 is a lower alkyl group, and R.sup.7 is a 2,4-difluorophenyl group or a 4-fluorophenyl group.

摘要翻译： 下式的2-氯-4,5-二氟苯甲酰化合物：其中R2是低级烷基，R7是2,4-二氟苯基或4-氟苯基。

公开(公告)号：US08236901B2

公开(公告)日：2012-08-07

申请号：US12858752

申请日：2010-08-18

申请人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

发明人： Koichi Murata ,  Naoko Shirota ,  Osamu Yokokoji ,  Yoko Takebe

IPC分类号： C08F14/18

CPC分类号： C07C57/32 ,  C07C69/65 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/20 ,  C08F14/18 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  Y10S430/146 ,  C08F2/00

摘要： Provided is a novel fluorinated compound, a fluoropolymer, and a method for producing the compound. A monomer of the compound has a formula F2═CFCF2C(X)(C(O)OZ)(CH2)nCR═CHR, wherein X is a hydrogen atom, a cyano group, or a group of formula —C(O)OZ; Z is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group, n is 0, 1, or 2; and R is a hydrogen atom or a C1-20 monovalent organic group.

摘要翻译： 提供了一种新的氟化化合物，含氟聚合物及其制备方法。 化合物的单体具有式F2 = CFCF 2 C（X）（C（O）OZ）（CH 2）n CR = CHR，其中X为氢原子，氰基或式-C（O）OZ ; Z为氢原子或C1-20一价有机基团，n为0,1或2; 且R为氢原子或C 1-20二价一价有机基团。

公开(公告)号：US07015366B2

公开(公告)日：2006-03-21

申请号：US11218472

申请日：2005-09-06

申请人： Shun-ichi Kodama ,  Isamu Kaneko ,  Osamu Yokokoji ,  Shinji Okada ,  Yoko Takebe ,  Yasuhide Kawaguchi

发明人： Shun-ichi Kodama ,  Isamu Kaneko ,  Osamu Yokokoji ,  Shinji Okada ,  Yoko Takebe ,  Yasuhide Kawaguchi

IPC分类号： C07C41/00 ,  C07C43/00 ,  C07C407/00 ,  C07C409/00 ,  C08F136/16

CPC分类号： C08F36/20 ,  C08F36/16 ,  C08F214/18 ,  C08F2/60

摘要： To provide a fluoropolymer which has a high concentration of functional groups to provide adequate characteristics of the functional groups and which brings about no decrease of Tg.A fluoropolymer having monomer units formed by cyclopolymerization of a functional group-containing fluorinated diene represented by the formula (1): CFR1═CR2—Q—CR3═CHR4   (1) wherein each of R1 to R4 which are independent of one another, represents a hydrogen atom, a fluorine atom, an alkyl group having at most 8 carbon atoms, or an alicyclic hydrocarbon group, and at least one of them is an alicyclic hydrocarbon group, provided that hydrogen atoms in the alkyl group or the alicyclic hydrocarbon group may be substituted by a fluorine atom, an alkyl group or a fluoroalkyl group; and Q represents a bivalent organic group having a blocked acidic group capable of developing an acidic group by an acid or a group capable of being converted into such a blocked acidic group.

摘要翻译： 提供具有高浓度官能团的含氟聚合物以提供官能团的足够特性，并且不会降低Tg。 具有由式（1）表示的含官能团的氟化二烯的环化聚合形成的单体单元的含氟聚合物：<？in-line-formula description =“In-line formula”end =“lead”→CFR < 1 -CR 2 -Q-CR 3 -RR 4（1）<？在线公式描述=“ 其中独立的R 1〜R 4中的每一个表示氢原子，氟原子， 具有至多8个碳原子的烷基或脂环族烃基，并且其中至少一个是脂环族烃基，条件是烷基或脂环族烃基中的氢原子可以被氟原子取代， 烷基或氟代烷基; Q表示可以通过酸或能够转化为这种封端的酸性基团的基团而能够形成酸性基团的封端酸性基团的二价有机基团。

公开(公告)号：US5621147A

公开(公告)日：1997-04-15

申请号：US433967

申请日：1995-05-04

申请人： Osamu Yokokoji ,  Tamaki Simizu ,  Seisaku Kumai

发明人： Osamu Yokokoji ,  Tamaki Simizu ,  Seisaku Kumai

IPC分类号： C07D239/26 ,  C07C17/04 ,  C07C17/25 ,  C07C17/26 ,  C07C22/00 ,  C07C22/02 ,  C07C22/08 ,  C07C23/10 ,  C07C25/18 ,  C07C25/24 ,  C07C41/24 ,  C07C43/176 ,  C07C43/192 ,  C07C43/225 ,  C07C45/30 ,  C07C45/65 ,  C07C49/567 ,  C07C49/813 ,  C07C253/30 ,  C07C255/46 ,  C07C255/50 ,  C07D211/14 ,  C07D211/36 ,  C07D319/06 ,  C07D339/06 ,  C09K19/04 ,  C09K19/30 ,  C09K19/34 ,  C07C43/188

CPC分类号： C07C17/263 ,  C07C17/04 ,  C07C17/25 ,  C07C17/2635 ,  C07C22/00 ,  C07C22/08 ,  C07C23/10 ,  C07C25/24 ,  C07C43/192 ,  C07C45/305 ,  C09K19/0403 ,  C09K19/3003 ,  C09K19/3402 ,  C09K19/3444 ,  C09K19/3469 ,  C09K19/3491 ,  C07C2101/14 ,  C09K2019/0407 ,  C09K2019/0444 ,  C09K2019/0459 ,  C09K2019/3422

摘要： A 1,1,2-trifluoro-2-(trans-4-substituted cyclohexyl)ethylene of the formula (1):R--(A).sub.m --Cy--CF=CF.sub.2 (1)wherein R is a C.sub.1-10 alkyl group, a halogen atom or a cyano group, provided that in the case of the alkyl group, an oxygen atom may be interposed in a carbon-carbon bond of the alkyl group or in a carbon-carbon bond between this alkyl group and A, some of carbon-carbon bonds in the alkyl group may be triple bonds or double bonds, one --CH.sub.2 -- group in the alkyl group may be substituted by a carbonyl group, and some or all of hydrogen atoms in the alkyl group may be substituted by fluorine atoms;Cy is an unsubstituted trans-1,4-cyclohexylene group;A is a trans-1,4-cyclohexylene group, a 1,4-phenylene group or a 1,4-cyclohexenylene group, wherein each of such cyclic groups is unsubstituted or substituted by one or more halogen atoms or cyano groups, one or more =CH-- groups constituting rings of such cyclic groups may be substituted by nitrogen atoms, and one or more --CH.sub.2 -- groups constituting rings of such cyclic groups may be substituted by oxygen atoms or sulfur atoms; andm is 0 or 1.

摘要翻译： 式（1）的1,1,2-三氟-2-（反式-4-取代的环己基）乙烯：R-（A）m-Cy-CF = CF 2（1）其中R是C 1-10烷基 基团，卤素原子或氰基，条件是在烷基的情况下，氧原子可插入在烷基的碳 - 碳键或该烷基与A之间的碳 - 碳键中， 烷基中的一些碳 - 碳键可以是三键或双键，烷基中的一个-CH 2 - 基可被羰基取代，烷基中的一部分或全部氢原子可以被 氟原子; Cy是未取代的反式-1,4-亚环己基; A是反式-1,4-亚环己基，1,4-亚苯基或1,4-亚环己基，其中每个这样的环状基团是未取代的或被一个或多个卤原子或氰基取代，一个或 更多=构成这种环状基团的环的CH-基团可以被氮原子取代，并且构成这种环状基团的环的一个或多个-CH 2 - 基团可以被氧原子或硫原子取代; m为0或1。

公开(公告)号：US5068449A

公开(公告)日：1991-11-26

申请号：US476578

申请日：1990-02-07

申请人： Seisaku Kumai ,  Osamu Yokokoji ,  Akihiro Tamaoki

发明人： Seisaku Kumai ,  Osamu Yokokoji ,  Akihiro Tamaoki

IPC分类号： C07C45/46 ,  C07C49/807 ,  C07C63/70

CPC分类号： C07C63/70 ,  C07C45/46 ,  C07C49/807

摘要： Fluorinated benzoyl compounds of the formula: ##STR1## wherein Q is a lower alkyl group, a halogen atom, --CH.sub.2 CO.sub.2 R.sup.1 wherein R.sup.1 is a lower alkyl group, or ##STR2## wherein each of R.sup.2 and R.sup.3 is a lower alkyl group.

公开(公告)号：US20120156504A1

公开(公告)日：2012-06-21

申请号：US13408963

申请日：2012-02-29

申请人： Yoko TAKEBE ,  Osamu Yokokoji

发明人： Yoko TAKEBE ,  Osamu Yokokoji

IPC分类号： B32B27/00 ,  C09D127/18 ,  B05D3/00 ,  C09D127/12

CPC分类号： G03F9/7096 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/7095 ,  G03F7/70958 ,  Y10T428/3154

摘要： The present invention relates to a coating material composition for a liquid immersion exposure apparatus, which is used for the purpose of forming a lyophobic layer on a surface of a component member of the liquid immersion exposure apparatus which performs a light exposure of a substrate by irradiating with an exposure beam through a liquid, in which the composition contains a fluorine-containing polymer which has, in the main chain, a repeating unit that has a fluorine-containing aliphatic ring structure containing two or three etheric oxygen atoms which are not adjacent to each other, in the ring structure.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于浸液曝光装置的涂料组合物，其用于在浸液曝光装置的构件的表面上形成疏液层，其通过照射进行基板的曝光 其中曝光束通过液体，其中组合物含有在主链中具有含有两个或三个醚性氧原子的含氟脂肪族环结构的重复单元的含氟聚合物，该含氟脂族环结构不邻近 彼此，在环结构。