公开(公告)号：US20080149032A1

公开(公告)日：2008-06-26

申请号：US11764482

申请日：2007-06-18

申请人： Soon-Bin Jung

发明人： Soon-Bin Jung

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01L21/68742 ,  C23C16/4586

摘要： Disclosed are a lift pin, an apparatus for processing a substrate and a method of processing a substrate. The lift pin includes a rod portion and a head portion. The rod portion moves in a passage formed through a chuck having a substrate processed using a reaction gas. The head portion is provided on the rod portion to make contact with the substrate. The head portion may close the passage to prevent the reaction gas from flowing into the passage.

摘要翻译： 公开了升降销，用于处理基板的装置和处理基板的方法。 提升销包括杆部和头部。 杆部在通过具有使用反应气体处理的基板的卡盘形成的通道中移动。 头部设置在杆部分上以与基底接触。 头部可以关闭通道以防止反应气体流入通道。

公开(公告)号：US07866341B2

公开(公告)日：2011-01-11

申请号：US12713136

申请日：2010-02-25

申请人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

发明人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

IPC分类号： H01L21/205

CPC分类号： H01L21/67161 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/86139

摘要： An apparatus includes a transfer unit under an atmospheric condition and having a robot therein; and at least one process chamber connected to one side of the transfer unit with a slot valve there between, and being alternately under a vacuum condition and under an atmospheric condition.

摘要翻译： 一种装置，包括在大气条件下的转印单元，其中具有机器人; 以及至少一个处理室，其连接到转印单元的一侧，其间具有槽阀，并且交替地在真空条件下和在大气条件下。

公开(公告)号：US07695231B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US11076512

申请日：2005-03-08

申请人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

发明人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

IPC分类号： B65G49/00

CPC分类号： H01L21/67161 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/86139

摘要： An apparatus includes a transfer unit under an atmospheric condition and having a robot therein; and at least one process chamber connected to one side of the transfer unit with a slot valve there between, and being alternately under a vacuum condition and under an atmospheric condition.

摘要翻译： 一种装置，包括在大气条件下的转印单元，其中具有机器人; 以及至少一个处理室，其连接到转印单元的一侧，其间具有槽阀，并且交替地在真空条件下和在大气条件下。

公开(公告)号：US20050196254A1

公开(公告)日：2005-09-08

申请号：US11076512

申请日：2005-03-08

申请人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

发明人： Hong-Seub Kim ,  Hyun-Soo Park ,  Soon-Bin Jung ,  Sung-Ho Cha ,  Dong-Jin Kim ,  Wook-Jung Hwang ,  Jin-Hyuk Yoo

IPC分类号： B65G1/00 ,  C23C16/00 ,  F04D17/10 ,  G02F1/133 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67161 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/86139

摘要： An apparatus includes a transfer unit under an atmospheric condition and having a robot therein; and at least one process chamber connected to one side of the transfer unit with a slot valve there between, and being alternately under a vacuum condition and under an atmospheric condition.

摘要翻译： 一种装置，包括在大气条件下的转印单元，其中具有机器人; 以及至少一个处理室，其连接到转印单元的一侧，其间具有槽阀，并且交替地在真空条件下和在大气条件下。

公开(公告)号：US20100215513A1

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：US12713136

申请日：2010-02-25

申请人： Hong-Seub KIM ,  Hyun-Soo PARK ,  Soon-Bin JUNG ,  Sung-Ho CHA ,  Dong-Jin KIM ,  Wook-Jung HWANG ,  Jin-Hyuk YOO

发明人： Hong-Seub KIM ,  Hyun-Soo PARK ,  Soon-Bin JUNG ,  Sung-Ho CHA ,  Dong-Jin KIM ,  Wook-Jung HWANG ,  Jin-Hyuk YOO

IPC分类号： F04B49/00 ,  F04B23/08

CPC分类号： H01L21/67161 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/86139

摘要： An apparatus includes a transfer unit under an atmospheric condition and having a robot therein; and at least one process chamber connected to one side of the transfer unit with a slot valve there between, and being alternately under a vacuum condition and under an atmospheric condition.

摘要翻译： 一种装置，包括在大气条件下的转印单元，其中具有机器人; 以及至少一个处理室，其连接到转印单元的一侧，其间具有槽阀，并且交替地在真空条件下和在大气条件下。