公开(公告)号：US20060033903A1

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：US10918182

申请日：2004-08-13

申请人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  W. Novak

发明人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  W. Novak

IPC分类号： G03B27/62

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70766

摘要： Methods and apparatus for providing a stage with a relatively high positioning bandwidth and low transmissibility are disclosed. According to one aspect of the present invention, a method for positioning a stage including providing a first force of a first magnitude to the stage using a primary actuator and providing a second force of a second magnitude to the stage using a secondary actuator. The first force is arranged to cause the stage to translate along a first axis. The secondary actuator is also arranged to cause the stage to translate along the first axis, and has a relatively high positioning bandwidth. The first force is arranged to enable the stage to be relatively coarsely positioned and the second force is arranged to enable the stage to be relatively finely positioned. In one embodiment, the secondary actuator is one of a voice coil motor and a piezoelectric motor.

摘要翻译： 公开了提供具有相对高的定位带宽和低传输性的平台的方法和装置。 根据本发明的一个方面，一种用于定位平台的方法，包括使用主致动器向舞台提供第一幅度的第一力，并使用辅助致动器向舞台提供第二大小的第二力。 第一力布置成使得台架沿着第一轴线平移。 次级致动器还被布置成使得平台沿着第一轴线平移，并且具有相对较高的定位带宽。 第一力被布置成使得台架能够相对粗略地定位，并且第二力被布置成使得台架能够相对精细地定位。 在一个实施例中，次级致动器是音圈电动机和压电电动机之一。

公开(公告)号：US20050197045A1

公开(公告)日：2005-09-08

申请号：US11058099

申请日：2005-02-14

申请人： W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

发明人： W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

IPC分类号： B24B37/04 ,  B24B41/06 ,  B24B49/00

CPC分类号： B24B37/042 ,  B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B41/068

摘要： An actuator assembly (432) for positioning a pad (48) includes a first actuator assembly (440), a second actuator subassembly (442) and a control system (524). In one embodiment, the first actuator subassembly (440) includes a first core (502), and a conductor (504) secured to the first core (502), and the second actuator subassembly (442) includes a second core (506) spaced apart a component gap (444) from the first core (502). Further, the control system (524) directs current to the conductor (504) to attract the second core (506) to the first core (502). In one embodiment, the amount of current directed to the conductor (504) is calculated without measuring the component gap (444).

摘要翻译： 用于定位垫（48）的致动器组件（432）包括第一致动器组件（440），第二致动器子组件（442）和控制系统（524）。 在一个实施例中，第一致动器子组件（440）包括第一芯（502）和固定到第一芯（502）的导体（504），并且第二致动器子组件（442）包括间隔开的第二芯 从第一芯（502）分离组件间隙（444）。 此外，控制系统（524）将电流引导到导体（504）以将第二芯（506）吸引到第一芯（502）。 在一个实施例中，在不测量部件间隙（444）的情况下，计算导向导体（504）的电流量。

公开(公告)号：US20060035564A1

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：US11252483

申请日：2005-10-18

申请人： W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

发明人： W. Novak ,  Douglas Watson ,  Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan

IPC分类号： B24B51/00

CPC分类号： B24B37/042 ,  B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B41/068

摘要： A polishing apparatus (10) for polishing a device (12) with a polishing pad (48) includes a pad holder (50) and an actuator assembly (432). The pad holder (50) retains the polishing pad (48). The actuator assembly (432) includes a plurality of spaced apart actuators (438F) (438S) (438T) that are coupled to the pad holder (50). The actuators (438F) (438S) (438T) cooperate to direct forces on the pad holder (50) to alter the pressure of the polishing pad (48) on the device (12). At least one of the actuators (438F) (438S) (438T) includes a first actuator subassembly (440) and a second actuator subassembly (442) that interacts with the first actuator subassembly (440) to direct a force on the pad holder (50). The second actuator subassembly (442) is coupled to the pad holder (50) and the second actuator subassembly (442) rotates with the pad holder (50) relative to the first actuator subassembly (440).

摘要翻译： 用于用抛光垫（48）抛光装置（12）的抛光装置（10）包括垫保持器（50）和致动器组件（432）。 垫保持器（50）保持抛光垫（48）。 致动器组件（432）包括多个间隔开的致动器（438F）（438S）（438T），其联接到所述垫保持器（50）。 致动器（438F）（438S）（438T）协作以引导焊盘保持器（50）上的力，以改变设备（12）上的抛光垫（48）的压力。 致动器（438F）（438T）（438T）中的至少一个包括与第一致动器子组件（440）相互作用的第一致动器子组件（440）和第二致动器子组件（442），以将力 垫座（50）。 第二致动器子组件（442）联接到焊盘保持器（50），并且第二致动器子组件（442）相对于第一致动器子组件（440）与焊盘保持器（50）一起旋转。

公开(公告)号：US20050286050A1

公开(公告)日：2005-12-29

申请号：US10882131

申请日：2004-06-29

申请人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Nobutaka Magome ,  Hidemi Kawai

发明人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Nobutaka Magome ,  Hidemi Kawai

IPC分类号： G01B11/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70591

摘要： Embodiments of the present invention are directed to an apparatus and a method for through lens measurement for a projection system. In one embodiment, an apparatus for through lens image measurement comprises a projection lens housing containing lens elements therein, and a reflective member having a center of curvature on a first plane. The reflective member is attached to the lens housing. An optical system includes a light source, a position detector, and one or more optical elements. The optical system is attached to the lens housing and configured to direct a light from the light source through the lens elements to the reflective member which reflects the light back through the lens elements and toward the position detector. The position detector is configured to detect any image shift at the first plane due to misalignment of the lens elements with respect to the lens housing.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及一种用于投影系统的透镜测量的装置和方法。 在一个实施例中，用于透镜图像测量的装置包括在其中容纳透镜元件的投影透镜壳体和在第一平面上具有曲率中心的反射构件。 反射构件附接到透镜壳体。 光学系统包括光源，位置检测器和一个或多个光学元件。 光学系统附接到透镜壳体并且被配置为将来自光源的光通过透镜元件引导到反射构件，反射构件将光反射回透镜元件并朝向位置检测器。 位置检测器被配置为由于透镜元件相对于透镜壳体的未对准而检测在第一平面处的任何图像偏移。

公开(公告)号：US20070030462A1

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：US11197576

申请日：2005-08-03

申请人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Alton Phillips ,  Ping-Wei Chang ,  Akimitsu Ebihara

发明人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Alton Phillips ,  Ping-Wei Chang ,  Akimitsu Ebihara

IPC分类号： F16M1/00 ,  G03B27/00

CPC分类号： G02B7/005

摘要： Embodiments of the present invention are directed to an apparatus for providing a low spring constant, pneumatic suspension using vacuum for the lens in a projection system. In one embodiment, a pneumatic suspension system for a load comprises a frame; and a body movably disposed in the frame and spaced from a side wall of the frame by a gap to define a chamber in the frame above the body, the body being configured to be connected to the load. The frame includes an outlet to draw a gas from the chamber to lower the pressure in the chamber with respect to an ambient pressure outside the frame. An air bearing is formed in the gap between the body and the side wall of the frame to provide non-contact between the body and the frame. The pressure in the chamber is sufficiently lower than the ambient pressure to produce a lift force to lift the body and the load connected thereto with respect to the frame.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及一种用于在投影系统中为透镜提供使用真空的低弹簧常数气动悬架的装置。 在一个实施例中，用于负载的气动悬挂系统包括框架; 以及主体，其可移动地设置在所述框架中并且通过间隙与所述框架的侧壁间隔开以在所述主体中的所述框架中限定室，所述主体被配置为连接到所述负载。 该框架包括从腔室抽出气体的出口，以相对于框架外部的环境压力降低腔室中的压力。 空气轴承形成在主体和框架的侧壁之间的间隙中，以在主体和框架之间提供非接触。 室内的压力足够低于环境压力，以产生升高力以提升主体和相对于框架连接到其上的负载。

公开(公告)号：US20080068568A1

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：US11662330

申请日：2005-07-18

申请人： Akimitsu Ebihara ,  Martin Lee ,  Bausan Yuan

发明人： Akimitsu Ebihara ,  Martin Lee ,  Bausan Yuan

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891

摘要： A projection optical device includes a projection optical system which projects an image of a pattern, a support device having a flexible structure to support the projection optical system, and a positioning device having an actuator to position the projection optical system. The projection optical device can include a frame to which one end of the flexible structure is attached. The projection optical system may hang from the frame via the support device, or it may be supported from below by the support device. A projection optical device also can include a liquid supply which supplies a temperature-controlled liquid to a side surface of a projection optical system utilizing gravity to cause the temperature-controlled liquid to flow along the side surface of the projection optical system.

摘要翻译： 投影光学装置包括投影图案的投影光学系统，具有柔性结构的支撑装置以支撑投影光学系统，以及具有用于定位投影光学系统的致动器的定位装置。 投影光学装置可以包括附接有柔性结构的一端的框架。 投影光学系统可以经由支撑装置从框架悬挂，或者可以由支撑装置从下方支撑投影光学系统。 投影光学装置还可以包括液体供应源，其利用重力将温度控制的液体供应到投影光学系统的侧表面，以使温度控制的液体沿着投影光学系统的侧表面流动。

公开(公告)号：US20070236854A1

公开(公告)日：2007-10-11

申请号：US11279296

申请日：2006-04-11

申请人： Martin Lee ,  Bausan Yuan ,  Susumu Makinouchi

发明人： Martin Lee ,  Bausan Yuan ,  Susumu Makinouchi

IPC分类号： H01H47/00

CPC分类号： G03F7/709 ,  G03F7/70716

摘要： Methods and apparatus for supporting the weight of a first stage of a stage apparatus using magnets are disclosed. According to one aspect of the present invention, and apparatus includes a first structure, a second structure, and an anti-gravity device. The anti-gravity device has a first magnet and a piston arrangement that includes a second magnet. The first magnet is coupled to the first structure, and the piston arrangement is movably interfaced with the second structure through an air bearing. The first magnet and the piston arrangement cooperate to support the first structure over the second structure relative to a vertical axis.

摘要翻译： 公开了一种用于支撑使用磁体的平台装置的第一级的重量的方法和装置。 根据本发明的一个方面，并且装置包括第一结构，第二结构和反重力装置。 反重力装置具有包括第二磁体的第一磁体和活塞装置。 第一磁体联接到第一结构，并且活塞装置通过空气轴承与第二结构可移动地接合。 第一磁体和活塞装置配合以相对于垂直轴线支撑第二结构的第一结构。

公开(公告)号：US07061577B2

公开(公告)日：2006-06-13

申请号：US10107269

申请日：2002-03-26

申请人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Takeshi Asami

发明人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Takeshi Asami

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/58 ,  G03B27/32

CPC分类号： G03F7/70716 ,  G03B27/42 ,  G03F7/709

摘要： An adjuster assembly (12) that adjusts the location where an image (18) from an object (20) is transferred onto a device (16) includes an adjuster (54) and a stage mover assembly (244). The stage mover assembly (244) adjusts the position of the adjuster (54). This moves the position where the image (18) is transferred onto the device (16). The adjuster assembly (12) can include a damper assembly (250) that is coupled to the stage mover assembly (244) and reduces the effect of vibration from the stage mover assembly (244) causing vibration on the rest of the apparatus.

摘要翻译： 调节器（12），其调节来自物体（20）的图像（18）被转移到装置（16）上的位置包括调节器（54）和载物台移动器组件（244）。 平台移动器组件（244）调节调节器（54）的位置。 这将图像（18）传送到设备（16）上的位置移动。 调节器组件（12）可以包括阻尼器组件（250），该阻尼器组件（250）联接到载物台移动器组件（244）并且减小来自载物台组件（244）的振动对设备的其余部分产生振动的影响。

公开(公告)号：US06590639B1

公开(公告)日：2003-07-08

申请号：US09663184

申请日：2000-09-15

申请人： Bausan Yuan ,  Michael Binnard ,  Martin Lee

发明人： Bausan Yuan ,  Michael Binnard ,  Martin Lee

IPC分类号： G03B2762

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G03F7/709

摘要： An active vibration isolation system includes a pneumatic control system and an electronic control system. The pneumatic control system supports a mass sensitive to vibration and isolates the mass from high frequency external disturbances. The electronic control system isolates the mass from low frequency external disturbances. The pneumatic control system includes a compliance chamber filled with a fluid to pneumatically support the mass, apparatus for directly measuring a pressure level in the compliance chamber, and apparatus for controlling the pressure level to minimize the effects of pressure variation in the compliance chamber. The measuring apparatus includes an instrument to measure an absolute pressure level of the compliance chamber or an instrument to measure a differential pressure level between the compliance chamber and a reference chamber having a predetermined pressure level.

摘要翻译： 主动隔振系统包括气动控制系统和电子控制系统。 气动控制系统支持对振动的质量敏感，并将质量与高频外部干扰隔离。 电子控制系统将质量与低频外部干扰隔离开来。 气动控制系统包括填充有流体的顺应室，用于气动地支撑质量，用于直接测量顺应室中的压力水平的装置，以及用于控制压力水平的装置，以使顺应室中的压力变化的影响最小化。 测量装置包括用于测量柔性室的绝对压力水平的仪器或用于测量柔性室与具有预定压力水平的参考室之间的压差水平的仪器。

公开(公告)号：US20080275661A1

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：US11986314

申请日：2007-11-19

申请人： Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan ,  Kazuo Masaki ,  Kazuhiro Hirano ,  Xiao-Feng Yang ,  Scott Coakley ,  Michael B. Binnard

发明人： Pai-Hsueh Yang ,  Bausan Yuan ,  Kazuo Masaki ,  Kazuhiro Hirano ,  Xiao-Feng Yang ,  Scott Coakley ,  Michael B. Binnard

IPC分类号： G01L25/00

CPC分类号： G03F7/70758 ,  G03F7/70725

摘要： Methods, apparatus, and systems are disclosed for identifying force-ripple and/or side-forces in actuators used for moving a multiple-axis stage. The identified force-ripple and/or side-forces can be mapped, and maps of corresponding position-dependent compensation ratios useful for correcting same are obtained. The methods are especially useful for stages providing motion in at least one degree of freedom using multiple (redundant) actuators. In an exemplary method a stage member is displaced, using at least one selected actuator, multiple times over a set distance in the range of motion of the subject actuator(s). Each displacement has a predetermined trajectory and respective starting point in the range. For each displacement, respective section force-command(s) are extracted and normalized to a reference section force-command to define a section compensation-ratio. Multiple section compensation-ratios are assembled, as functions of displacement in the range, to provide a map of compensation ratios for the actuator(s) throughout the range.

摘要翻译： 公开了用于识别用于移动多轴平台的致动器中的力波动和/或侧向力的方法，装置和系统。 可以对所识别的力 - 纹波和/或侧向力进行映射，并且获得用于校正相应的位置相关的补偿比的映射。 这些方法对于使用多个（冗余）致动器在至少一个自由度中提供运动的阶段特别有用。 在示例性方法中，使用至少一个所选择的致动器，在主体致动器的运动范围内的设定距离上移动台架构件多次。 每个位移具有预定的轨迹和该范围内的相应起始点。 对于每个位移，提取相应的截面力命令并将其归一化为参考部分力命令以定义截面补偿比。 组合多段补偿比作为该范围内的位移的函数，以提供在整个范围内的致动器的补偿比的图。