利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

77 条记录 (耗时 0.022 秒)

    MEMS SENSOR WITH BUILT-IN SELF-TEST
    1.
    发明申请
    MEMS SENSOR WITH BUILT-IN SELF-TEST 审中-公开
    具有内置自检功能的MEMS传感器

    公开(公告)号：US20100145660A1

    公开(公告)日：2010-06-10

    申请号：US12329823

    申请日：2008-12-08

    申请人： Christoph Lang ,  Valdimir Petkov ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Christoph Lang ,  Valdimir Petkov ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： H03F1/26 ,  G01D18/00

    CPC分类号： G01R31/31702 ,  G01D3/08 ,  G01P21/00

    摘要： A method and system for testing a MEMS sensor element during operation of a MEMS sensor system in one embodiment includes a test signal generator configured to generate a broad frequency band test signal, and a verification signal substantially identical to the test signal, a microelectrical-mechanical system (MEMS) sensor element operatively connected to the test signal generator for generating a sensor output in response to the test signal, a comparison component configured to generate an evaluation signal output based upon the verification signal and the test signal, and an evaluation circuit operatively connected to the comparison component and configured to identify a mismatch between the verification signal and the sensor output based upon the evaluation signal.

    摘要翻译： 在一个实施例中，用于在MEMS传感器系统的操作期间测试MEMS传感器元件的方法和系统包括被配置为产生宽频带测试信号的测试信号发生器和与测试信号基本相同的验证信号，微机电 系统（MEMS）传感器元件，其可操作地连接到所述测试信号发生器，用于响应于所述测试信号产生传感器输出;比较部件，被配置为基于所述验证​​信号和所述测试信号生成评估信号输出;以及评估电路， 连接到比较部件并且被配置为基于评估信号来识别验证信号和传感器输出之间的不匹配。

    Micromechanical rotation rate sensor having error suppression
    2.
    发明授权
    Micromechanical rotation rate sensor having error suppression 有权
    微机械转速传感器具有误差抑制

    公开(公告)号：US07523663B2

    公开(公告)日：2009-04-28

    申请号：US11317819

    申请日：2005-12-22

    申请人： Rainer Willig ,  Buckhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Michael Veith

    发明人： Rainer Willig ,  Buckhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Michael Veith

    IPC分类号： G01P15/08

    CPC分类号： G01C19/5755 ,  G01C19/5726

    摘要： A micromechanical rotation rate sensor has a seismic mass and driving devices which cause a driving vibration of the seismic mass in a first direction x. The rotation rate sensor has measuring devices which measure a deflection of the seismic mass in a second direction y, and generate a deflection signal. The deflection includes a measurement deflection caused by a Coriolis force and an interference deflection, the interference deflection being phase-shifted with respect to the measurement deflection by 90°. Compensation devices are provided at the seismic mass to reduce the interference deflection. Regulation devices are provided, to which the deflection signal is supplied as an input variable, which demodulate an interference deflection signal from the deflection signal, and which generate a compensation signal from the interference deflection signal, which is supplied to the compensation devices.

    摘要翻译： 微机械转速传感器具有地震质量和驱动装置，其引起地震块在第一方向x上的驱动振动。 旋转速率传感器具有测量在第二方向y上的地震质量的偏转的测量装置，并产生偏转信号。 偏转包括由科里奥利力和干涉偏转引起的测量偏转，干涉偏转相对于测量偏转相移90°。 在地震质量体上提供补偿装置以减少干涉偏转。 提供了偏转信号作为输入变量提供的调节装置，其解调来自偏转信号的干涉偏转信号，并从干涉偏转信号产生补偿信号，该补偿信号被提供给补偿装置。

    Self-test for yaw rate sensors
    4.
    发明授权
    Self-test for yaw rate sensors 有权
    偏航率传感器自检

    公开(公告)号：US08910518B2

    公开(公告)日：2014-12-16

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00 ,  G01C19/5726

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS
    5.
    发明申请
    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS 有权
    自动检测传感器

    公开(公告)号：US20120186345A1

    公开(公告)日：2012-07-26

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    Rotational rate sensor
    6.
    发明授权
    Rotational rate sensor 有权
    转速传感器

    公开(公告)号：US07313958B2

    公开(公告)日：2008-01-01

    申请号：US10471635

    申请日：2002-09-25

    申请人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    发明人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C19/5747

    摘要： A rotational rate sensor having a substrate and a Coriolis element is proposed, the Coriolis element being situated over a surface of a substrate; a driving arrangement being provided, by which the Coriolis element is induced to vibrations parallel to a first axis; a detection arrangement being provided, by which an excursion of the Coriolis elements is detectable on the basis of a Coriolis force in a second axis that is provided to be essentially perpendicular to the first axis; the first and second axis being parallel to the surface of the substrate; sensor elements that are designated to be at least partially movable with respect to the substrate being provided; a force-conveying arrangement being provided; the force-conveying arrangement being provided to convey a static force effect between the substrate and at least one of the sensor elements.

    摘要翻译： 提出了具有基板和科里奥利元件的旋转速率传感器，科里奥利元件位于基板的表面上方; 提供了一种驱动装置，通过该驱动装置将科里奥利元件引入平行于第一轴线的振动; 提供了一种检测装置，通过该检测装置可以基于设置成基本上垂直于第一轴线的第二轴线中的科里奥利力检测科里奥利元件的偏移; 所述第一和第二轴平行于所述基板的表面; 指定为相对于所述基板至少部分移动的传感器元件; 提供力传递装置; 所述力输送装置被提供以在所述基底和所述传感器元件中的至少一个之间传递静态力效应。

    Rate-of-rotation sensor having frequency adjustment
    10.
    发明授权
    Rate-of-rotation sensor having frequency adjustment 有权
    具有频率调节的转速传感器

    公开(公告)号：US07287427B2

    公开(公告)日：2007-10-30

    申请号：US11137977

    申请日：2005-05-25

    申请人： Rainer Willig ,  Burkhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Christoph Lang

    发明人： Rainer Willig ,  Burkhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Christoph Lang

    IPC分类号： G01P19/00

    CPC分类号： G01C19/56

    摘要： A yaw-rate sensor having a resonant driving frequency and a resonant Coriolis frequency. In addition, the yaw-rate sensor has at least one operating voltage, of which the resonant Coriolis frequency is a function. The resonant Coriolis frequency is adjusted to the resonant driving frequency with the aid of an adjustment voltage. A change in the resonant Coriolis frequency as a result of a change in the operating voltage may be compensated for, in that a suitably changed adjusting voltage may be produced from a compensation circuit.

    摘要翻译： 具有谐振驱动频率和谐振科里奥利频率的偏航率传感器。 此外，偏航率传感器具有至少一个工作电压，其中共振科里奥利频率是函数。 谐振科里奥利频率通过调整电压调节到谐振驱动频率。 可以补偿作为工作电压变化的结果的共振科里奥利频率的变化，因为可以从补偿电路产生适当改变的调节电压。