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    Method for forming fine pattern in semiconductor device
    5.
    发明授权
    Method for forming fine pattern in semiconductor device 失效
    在半导体器件中形成精细图案的方法

    公开(公告)号：US08293458B2

    公开(公告)日：2012-10-23

    申请号：US12618530

    申请日：2009-11-13

    申请人： Jun-Gyeong Lee ,  Jung-Youl Lee ,  Jeong-Sik Kim ,  Eu-Jean Jang ,  Jae-Woo Lee ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    发明人： Jun-Gyeong Lee ,  Jung-Youl Lee ,  Jeong-Sik Kim ,  Eu-Jean Jang ,  Jae-Woo Lee ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40

    CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/70466 ,  H01L21/0273

    摘要： Disclosed is a method for manufacturing fine patterns of semiconductor devices using a double exposure patterning process for manufacturing the second photoresist patterns by simply exposing without an exposure mask. The method comprises the steps of: forming a first photoresist pattern on a semiconductor substrate on which a layer to be etched is formed; coating a composition for a mirror interlayer on the first photoresist pattern to form a mirror interlayer; forming a photoresist layer on the resultant; and forming a second photoresist pattern which is made by a scattered reflection of the mirror-interlayer and positioned between the first photoresist patterns, by exposing the photoresist layer to a light having energy which is lower than a threshold energy (Eth) of the photoresist layer without an exposure mask, and then developing the same.

    摘要翻译： 公开了一种使用双曝光图案化工艺制造精细图案的半导体器件的方法，用于通过简单地在没有曝光掩模的情况下曝光来制造第二光致抗蚀剂图案。 该方法包括以下步骤：在半导体衬底上形成第一光致抗蚀剂图案，在其上形成待蚀刻的层; 在第一光致抗蚀剂图案上涂覆用于镜面中间层的组合物以形成镜面中间层; 在所得物上形成光致抗蚀剂层; 以及通过将所述光致抗蚀剂层暴露于能量低于所述光致抗蚀剂层的阈值能量（Eth）的光而形成通过所述镜面 - 中间层的散射反射并且位于所述第一光致抗蚀剂图案之间的第二光致抗蚀剂图案， 没有曝光掩模，然后开发相同。

    METHOD FOR FORMING FINE PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
    7.
    发明申请
    METHOD FOR FORMING FINE PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE 失效
    在半导体器件中形成精细图案的方法

    公开(公告)号：US20100233622A1

    公开(公告)日：2010-09-16

    申请号：US12618530

    申请日：2009-11-13

    申请人： Jun-Gyeong Lee ,  Jung-Youl Lee ,  Jeong-Sik Kim ,  Eu-Jean Jang ,  Jae-Woo Lee ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    发明人： Jun-Gyeong Lee ,  Jung-Youl Lee ,  Jeong-Sik Kim ,  Eu-Jean Jang ,  Jae-Woo Lee ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    IPC分类号： G03F7/00 ,  G03C1/00 ,  G03C1/053

    CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/0035 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/70466 ,  H01L21/0273

    摘要： Disclosed is a method for manufacturing fine patterns of semiconductor devices using a double exposure patterning process for manufacturing the second photoresist patterns by simply exposing without an exposure mask. The method comprises the steps of: forming a first photoresist pattern on a semiconductor substrate on which a layer to be etched is formed; coating a composition for a mirror interlayer on the first photoresist pattern to form a mirror interlayer; forming a photoresist layer on the resultant; and forming a second photoresist pattern which is made by a scattered reflection of the mirror-interlayer and positioned between the first photoresist patterns, by exposing the photoresist layer to a light having energy which is lower than a threshold energy (Eth) of the photoresist layer without an exposure mask, and then developing the same.

    摘要翻译： 公开了一种使用双曝光图案化工艺制造精细图案的半导体器件的方法，用于通过简单地在没有曝光掩模的情况下曝光来制造第二光致抗蚀剂图案。 该方法包括以下步骤：在半导体衬底上形成第一光致抗蚀剂图案，在其上形成待蚀刻的层; 在第一光致抗蚀剂图案上涂覆用于镜面中间层的组合物以形成镜面中间层; 在所得物上形成光致抗蚀剂层; 以及通过将所述光致抗蚀剂层暴露于能量低于所述光致抗蚀剂层的阈值能量（Eth）的光而形成通过所述镜面 - 中间层的散射反射并且位于所述第一光致抗蚀剂图案之间的第二光致抗蚀剂图案， 没有曝光掩模，然后开发相同。

    Polymer for forming anti-reflective coating layer
    10.
    发明授权
    Polymer for forming anti-reflective coating layer 失效
    用于形成抗反射涂层的聚合物

    公开(公告)号：US07282530B2

    公开(公告)日：2007-10-16

    申请号：US11366765

    申请日：2006-03-02

    申请人： Sang-Jung Kim ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    发明人： Sang-Jung Kim ,  Deog-Bae Kim ,  Jae-Hyun Kim

    IPC分类号： C08K5/01 ,  C08G65/16

    CPC分类号： G03F7/091

    摘要： A polymer for forming an organic anti-reflective coating layer between an etching layer and a photoresist layer to absorb an exposure light in a photolithography process and a composition comprising the same are disclosed. The polymer for forming an organic anti-reflective coating layer has repeating units represented by wherein, R is a substituted or non-substituted alky group of C1 to C5.

    摘要翻译： 公开了一种用于在蚀刻层和光致抗蚀剂层之间形成有机抗反射涂层以在光刻工艺中吸收曝光光的聚合物和包含其的组合物。 用于形成有机抗反射涂层的聚合物具有由其中R为C1至C5的取代或未取代的烷基表示的重复单元。