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    Digital optical switch apparatus and process for manufacturing same
    1.
    发明授权
    Digital optical switch apparatus and process for manufacturing same 有权
    数字光开关装置及其制造方法

    公开(公告)号：US07236279B2

    公开(公告)日：2007-06-26

    申请号：US10273628

    申请日：2002-10-18

    申请人： Duli Yu ,  Arjun Selvakumar ,  Howard Goldberg ,  Taechung Yi

    发明人： Duli Yu ,  Arjun Selvakumar ,  Howard Goldberg ,  Taechung Yi

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B6/26 ,  H02N1/00

    CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B2201/047 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/357 ,  G02B2006/12104 ,  Y10S359/904

    摘要： The present invention provides a digital optical switch apparatus and process for manufacturing the apparatus. The apparatus includes a mirror assembly coupled to a top cap and to a bottom cap. The top and bottom caps each include one or more electrodes that, when energized with electrical energy, move a mirrored surface to one of a plurality of discrete positions. Mirror assemblies can be cascaded to create a packaged assembly having any multiple of discrete positions. The process includes planar micro-machining techniques to create isolated islands for electrical feed through. The process enables mechanical bonding of multiple tiers via a single bond region and through a bond-pad window.

    摘要翻译： 本发明提供一种数字光开关装置及其制造方法。 该装置包括耦合到顶盖和底盖的反射镜组件。 顶盖和底盖各自包括一个或多个电极，当电能通电时，将镜面移动到多个离散位置中的一个。 镜子组件可以级联以创建具有任何多个离散位置的封装组件。 该过程包括平面微加工技术，以创建用于电子馈送的隔离岛。 该过程使得能够通过单键区域和键合焊盘窗口机械地结合多层。

    Sensor design and process
    5.
    发明授权
    Sensor design and process 有权
    传感器设计和工艺

    公开(公告)号：US07274079B2

    公开(公告)日：2007-09-25

    申请号：US11209164

    申请日：2005-08-22

    申请人： Arjun Selvakumar ,  Howard D. Goldberg ,  Duli Yu ,  Matthew Ip ,  Martin A. Schmidt ,  James L. Marsh ,  Bing-Fai Fung ,  Philip Simon

    发明人： Arjun Selvakumar ,  Howard D. Goldberg ,  Duli Yu ,  Matthew Ip ,  Martin A. Schmidt ,  James L. Marsh ,  Bing-Fai Fung ,  Philip Simon

    IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/00

    CPC分类号： G01P1/023 ,  G01D11/245 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01V1/047 ,  G01V1/053 ,  G01V1/104 ,  G01V1/181 ,  G01V1/38 ,  Y10T29/49007

    摘要： An accelerometer (305) for measuring seismic data. The accelerometer (305) includes an integrated vent hole for use during a vacuum sealing process and a balanced metal pattern for reducing cap wafer bowing. The accelerometer (305) also includes a top cap press frame recess (405) and a bottom cap press frame recess (420) for isolating bonding pressures to specified regions of the accelerometer (305). The accelerometer (305) is vacuum-sealed and includes a balanced metal pattern (730) to prevent degradation of the performance of the accelerometer (305). A dicing process is performed on the accelerometer (305) to isolate the electrical leads of the accelerometer (305). The accelerometer (305) further includes overshock protection bumpers (720) and patterned metal electrodes to reduce stiction during the operation of the accelerometer (305).

    摘要翻译： 一种用于测量地震数据的加速度计（305）。 加速度计（305）包括用于在真空密封过程中使用的集成通气孔以及用于减小盖晶片弯曲的平衡金属图案。 加速度计（305）还包括用于将结合压力隔离到加速度计（305）的特定区域的顶盖压制框架凹部（405）和底盖压制框架凹部（420）。 加速度计（305）被真空密封并且包括平衡的金属图案（730），以防止加速度计（305）的性能的劣化。 在加速度计（305）上执行切割处理以隔离加速度计（305）的电引线。 加速度计（305）还包括过冲保护缓冲器（720）和图案化的金属电极，以在加速度计（305）的操作期间减小静摩擦力。