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    LITHOGRAPHY SYSTEM
    2.
    发明申请
    LITHOGRAPHY SYSTEM 有权
    LITHOGRAPHY系统

    公开(公告)号：US20100045958A1

    公开(公告)日：2010-02-25

    申请号：US12611847

    申请日：2009-11-03

    申请人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van 't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    发明人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van 't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    IPC分类号： G03B27/72

    CPC分类号： G03F7/70383 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70991 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/2482

    摘要： A maskless lithography system for transferring a pattern onto the surface of a target. At least one beam generator for generating a plurality of beamlets. A plurality of modulators modulate the magnitude of a beamlet, and a control unit controls of the modulators. The control unit generates and delivers pattern data to the modulators for controlling the magnitude of each individual beamlet. The control unit includes at least one data storage for storing the pattern data, at least one readout unit for reading out the data from the data storage, at least one data converter for converting the data that is read out from the data storage into at least one modulated light beam, and at least one optical transmitter for transmitting the at least one modulated light beam to the modulation modulators.

    摘要翻译： 一种用于将图案转印到目标表面上的无掩模光刻系统。 用于产生多个子束的至少一个光束发生器。 多个调制器调制小波束的幅度，并且控制单元控制调制器。 控制单元生成并将模式数据传送到调制器，以控制每个单独子束的幅度。 控制单元包括用于存储图案数据的至少一个数据存储器，用于从数据存储器读出数据的至少一个读出单元，至少一个数据转换器，用于将从数据存储器读出的数据转换为至少 一个调制光束，以及至少一个光发射器，用于将至少一个调制光束传输到调制调制器。

    OPTICAL SWITCHING IN LITHOGRAPHY SYSTEM
    5.
    发明申请
    OPTICAL SWITCHING IN LITHOGRAPHY SYSTEM 审中-公开
    光刻系统中的光学切换

    公开(公告)号：US20080158536A1

    公开(公告)日：2008-07-03

    申请号：US12041634

    申请日：2008-03-03

    申请人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van 't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    发明人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van 't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42

    CPC分类号： G03F7/70383 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70991 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/2482

    摘要： A maskless lithography system for transferring a pattern onto the surface of a target. At least one beam generator for generating a plurality of beamlets. A plurality of modulators modulate the magnitude of a beamlet, and a control unit controls of the modulators. The control unit generates and delivers pattern data to the modulators for controlling the magnitude of each individual beamlet. The control unit includes at least one data storage for storing the pattern data, at least one readout unit for reading out the data from the data storage, at least one data converter for converting the data that is read out from the data storage into at least one modulated light beam, and at least one optical transmitter for transmitting the at least one modulated light beam to the modulation modulators.

    摘要翻译： 一种用于将图案转印到目标表面上的无掩模光刻系统。 用于产生多个子束的至少一个光束发生器。 多个调制器调制小波束的幅度，并且控制单元控制调制器。 控制单元生成并将模式数据传送到调制器，以控制每个单独子束的幅度。 控制单元包括用于存储图案数据的至少一个数据存储器，用于从数据存储器读出数据的至少一个读出单元，至少一个数据转换器，用于将从数据存储器读出的数据转换为至少 一个调制光束，以及至少一个光发射器，用于将至少一个调制光束传输到调制调制器。

    Lithography system
    8.
    发明授权
    Lithography system 有权
    光刻系统

    公开(公告)号：US07612866B2

    公开(公告)日：2009-11-03

    申请号：US11982119

    申请日：2007-11-01

    申请人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    发明人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christiaan van't Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    IPC分类号： G03B27/54

    CPC分类号： G03F7/70383 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70991 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/2482

    摘要： A maskless lithography system for transferring a pattern onto the surface of a target. At least one beam generator for generating a plurality of beamlets. A plurality of modulators modulate the magnitude of a beamlet, and a control unit controls of the modulators. The control unit generates and delivers pattern data to the modulators for controlling the magnitude of each individual beamlet. The control unit includes at least one data storage for storing the pattern data, at least one readout unit for reading out the data from the data storage, at least one data converter for converting the data that is read out from the data storage into at least one modulated light beam, and at least one optical transmitter for transmitting the at least one modulated light beam to the modulation modulators.

    摘要翻译： 一种用于将图案转印到目标表面上的无掩模光刻系统。 用于产生多个子束的至少一个光束发生器。 多个调制器调制小波束的幅度，并且控制单元控制调制器。 控制单元生成并将模式数据传送到调制器，以控制每个单独子束的幅度。 控制单元包括用于存储图案数据的至少一个数据存储器，用于从数据存储器读出数据的至少一个读出单元，至少一个数据转换器，用于将从数据存储器读出的数据转换为至少 一个调制光束和至少一个用于将至少一个调制光束发射到调制调制器的光发射器。

    OPTICAL SWITCHING IN A LITHOGRAPHY SYSTEM
    9.
    发明申请
    OPTICAL SWITCHING IN A LITHOGRAPHY SYSTEM 审中-公开
    光刻系统中的光学切换

    公开(公告)号：US20120043457A1

    公开(公告)日：2012-02-23

    申请号：US13284634

    申请日：2011-10-28

    申请人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christian van ' t Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    发明人： Jan-Jaco Marco Wieland ,  Johannes Christian van ' t Spijker ,  Remco Jager ,  Pieter Kruit

    IPC分类号： H01J3/14 ,  H01J3/26 ,  G01J1/04

    CPC分类号： G03F7/70383 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03B27/52 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70991 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0437 ,  H01J2237/2482

    摘要： A maskless lithography system for transferring a pattern onto the surface of a target. At least one beam generator for generating a plurality of beamlets. A plurality of modulators modulate the magnitude of a beamlet, and a control unit controls of the modulators. The control unit generates and delivers pattern data to the modulators for controlling the magnitude of each individual beamlet. The control unit includes at least one data storage for storing the pattern data, at least one readout unit for reading out the data from the data storage, at least one data converter for converting the data that is read out from the data storage into at least one modulated light beam, and at least one optical transmitter for transmitting the at least one modulated light beam to the modulation modulators.

    摘要翻译： 一种用于将图案转印到目标表面上的无掩模光刻系统。 用于产生多个子束的至少一个光束发生器。 多个调制器调制小波束的幅度，并且控制单元控制调制器。 控制单元生成并将模式数据传送到调制器，以控制每个单独子束的幅度。 控制单元包括用于存储图案数据的至少一个数据存储器，用于从数据存储器读出数据的至少一个读出单元，至少一个数据转换器，用于将从数据存储器读出的数据转换为至少 一个调制光束和至少一个用于将至少一个调制光束发射到调制调制器的光发射器。

    Lithography system and projection method
    10.
    发明申请
    Lithography system and projection method 有权
    光刻系统和投影方法

    公开(公告)号：US20080073588A1

    公开(公告)日：2008-03-27

    申请号：US11716452

    申请日：2007-03-09

    申请人： Pieter Kruit ,  Remco Jager ,  Stijn Willem Steenbrink ,  Marco Wieland

    发明人： Pieter Kruit ,  Remco Jager ,  Stijn Willem Steenbrink ,  Marco Wieland

    IPC分类号： H01J37/08

    CPC分类号： H01J37/3177 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70383 ,  G03F7/70508 ,  H01J37/3026 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/31764 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31771 ,  H01L21/67282

    摘要： The present invention relates a probe forming lithography system for generating an pattern on to a target surface such as a wafer, using a black and white writing strategy, i.e. writing or not writing a grid cell, thereby dividing said pattern over a grid comprising grid cells, said pattern comprising features of a size larger than that of a grid cell, in each of which cells said probe is switched “on” or “off, wherein a probe on said target covers a significantly larger surface area than a grid cell, and wherein within a feature a position dependent distribution of black and white writings is effected within the range of the probe size as well as to a method upon which such system may be based.

    摘要翻译： 本发明涉及一种探针形成光刻系统，用于使用黑白写入策略（即写入或不写入网格单元）在诸如晶片的目标表面上产生图案，从而在包含网格单元的网格上划分所述图案 所述图案包括尺寸大于网格单元的尺寸的特征，在每个单元中，所述探针被切换为“开”或“关”，其中所述目标上的探针覆盖比网格单元大得多的表面积，以及 其中在特征内，在探针大小的范围以及这种系统可以基于的方法上实现黑白写入的位置相关分布。