-
公开(公告)号：US07055392B2
公开(公告)日：2006-06-06
申请号：US10881382
申请日：2004-06-30
申请人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Roland Guenschel
发明人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Roland Guenschel
IPC分类号： G01L7/08
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L9/0054
摘要： A micromechanical pressure sensor which is made up of at least one first component element and a second component element bordering on the first component element. In this context, the first component element includes at least one diaphragm and one cavity. The cavity is arranged or structured so that the medium to be measured gains access to the diaphragm through the cavity. In addition, in the second component element an opening is provided which guides the medium to be measured to the cavity. At least a part of the cavity represents an extension, without a transition, of the opening in the second component.
摘要翻译： 微机械压力传感器，其由至少一个第一部件元件和与第一部件元件接壤的第二部件组成。 在本上下文中，第一部件元件包括至少一个隔膜和一个空腔。 空腔的布置或结构使得待测量的介质通过空腔进入隔膜。 另外，在第二构成要素中，设置有将待测量介质引导到空腔的开口。 空腔的至少一部分表示第二部件中的开口的没有转变的延伸部。
-
公开(公告)号：US20050000292A1
公开(公告)日：2005-01-06
申请号：US10881382
申请日：2004-06-30
申请人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Roland Guenschel
发明人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Roland Guenschel
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L9/0054
摘要： A micromechanical pressure sensor which is made up of at least one first component element and a second component element bordering on the first component element. In this context, the first component element includes at least one diaphragm and one cavity. The cavity is arranged or structured so that the medium to be measured gains access to the diaphragm through the cavity. In addition, in the second component element an opening is provided which guides the medium to be measured to the cavity. At least a part of the cavity represents an extension, without a transition, of the opening in the second component.
摘要翻译： 微机械压力传感器，其由至少一个第一部件元件和与第一部件元件接壤的第二部件组成。 在本上下文中，第一部件元件包括至少一个隔膜和一个空腔。 空腔的布置或结构使得待测量的介质通过空腔进入隔膜。 另外，在第二构成要素中，设置有将待测量介质引导到空腔的开口。 空腔的至少一部分表示第二部件中的开口的没有转变的延伸部。
-
公开(公告)号：US07918136B2
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：US12158425
申请日：2006-11-21
IPC分类号： G01L9/06
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L9/0055
摘要： A micromechanical sensor element (1) is provided, which has a sealed diaphragm (2) affixed in a frame (3), exhibits high sensitivity at high overload resistance and has a small size, and which allows a piezoresistive measured-value acquisition. To this end, at least one carrier element (4), which is connected to the frame (3) via at least one connection link (5), is formed in the region of the diaphragm (2). Furthermore, piezoresistors (6) for detecting a deformation are situated in the region of the connection link (5).
摘要翻译： 提供了一种微机械传感器元件（1），其具有固定在框架（3）中的密封隔膜（2），在高过载电阻下表现出高灵敏度并且具有小尺寸，并且允许压阻测量值采集。 为此，在隔膜（2）的区域中形成至少一个通过至少一个连接连杆（5）连接到框架（3）的载体元件（4）。 此外，用于检测变形的压电电阻（6）位于连接连杆（5）的区域中。
-
公开(公告)号：US20090084182A1
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：US12158425
申请日：2006-11-21
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L9/0055
摘要： A micromechanical sensor element (1) is provided, which has a sealed diaphragm (2) affixed in a frame (3), exhibits high sensitivity at high overload resistance and has a small size, and which allows a piezoresistive measured-value acquisition. To this end, at least one carrier element (4), which is connected to the frame (3) via at least one connection link (5), is formed in the region of the diaphragm (2). Furthermore, piezoresistors (6) for detecting a deformation are situated in the region of the connection link (5).
摘要翻译： 提供了一种微机械传感器元件（1），其具有固定在框架（3）中的密封隔膜（2），在高过载电阻下表现出高灵敏度并且具有小尺寸，并且允许压阻测量值采集。 为此，在隔膜（2）的区域中形成至少一个通过至少一个连接连杆（5）连接到框架（3）的载体元件（4）。 此外，用于检测变形的压电电阻（6）位于连接连杆（5）的区域中。
-
公开(公告)号：US20070126069A1
公开(公告)日：2007-06-07
申请号：US11600672
申请日：2006-11-15
申请人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Markus Lang , Regina Grote , Simon Armbruster , Gerhard Lammel , Christoph Schelling , Volkmar Senz
发明人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Markus Lang , Regina Grote , Simon Armbruster , Gerhard Lammel , Christoph Schelling , Volkmar Senz
IPC分类号： H01L29/82
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , G01L9/0042 , G01L19/0092 , G01P15/0802 , G01P15/0922
摘要： A micromechanical device and a method for producing this device are provided, the device having a sensor pattern that includes a spring pattern and a seismic mass. The seismic mass may be connected to the substrate material via the spring pattern, and a clearance may be provided in a direction perpendicular to the major substrate plane between the spring pattern and the substrate material. Alternatively, the spring pattern and the seismic mass may have a common, essentially continuous, front side surface.
摘要翻译： 提供一种微机械装置和用于制造该装置的方法，该装置具有包括弹簧图案和地震块的传感器图案。 地震质量可以通过弹簧图案连接到基底材料，并且可以在与弹簧图案和基底材料之间的主基底平面垂直的方向上设置间隙。 或者，弹簧图案和抗震块可以具有共同的，基本上连续的前侧表面。
-
公开(公告)号：US07647832B2
公开(公告)日：2010-01-19
申请号：US11600672
申请日：2006-11-15
申请人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Markus Lang , Regina Grote , Simon Armbruster , Gerhard Lammel , Christoph Schelling , Volkmar Senz
发明人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Markus Lang , Regina Grote , Simon Armbruster , Gerhard Lammel , Christoph Schelling , Volkmar Senz
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , G01L9/0042 , G01L19/0092 , G01P15/0802 , G01P15/0922
摘要： A micromechanical device and a method for producing this device are provided, the device having a sensor pattern that includes a spring pattern and a seismic mass. The seismic mass may be connected to the substrate material via the spring pattern, and a clearance may be provided in a direction perpendicular to the major substrate plane between the spring pattern and the substrate material. Alternatively, the spring pattern and the seismic mass may have a common, essentially continuous, front side surface.
摘要翻译： 提供一种微机械装置和用于制造该装置的方法，该装置具有包括弹簧图案和地震块的传感器图案。 地震质量可以通过弹簧图案连接到基底材料，并且可以在与弹簧图案和基底材料之间的主基底平面垂直的方向上设置间隙。 或者，弹簧图案和抗震块可以具有共同的，基本上连续的前侧表面。
-
公开(公告)号：US20050016288A1
公开(公告)日：2005-01-27
申请号：US10853793
申请日：2004-05-25
申请人： Joerg Muchow , Andreas Junger , Hubert Benzel , Juergen Nitsche , Frank Schaefer , Andreas Duell , Heinz-Georg Vossenberg , Christoph Schelling
发明人： Joerg Muchow , Andreas Junger , Hubert Benzel , Juergen Nitsche , Frank Schaefer , Andreas Duell , Heinz-Georg Vossenberg , Christoph Schelling
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81B2203/0315 , B81C2201/0115 , G01L9/0042
摘要： A micromechanical apparatus, a pressure sensor, and a method, a closed cavity being provided beneath a membrane, the membrane having a greater thickness in a first membrane region than in a second membrane region.
摘要翻译： 一种微机械装置，压力传感器和方法，在膜下方设置闭合腔，所述膜在第一膜区域中具有比在第二膜区域中更大的厚度。
-
8.发明申请公开(公告)号：US20110147862A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：US12937093
申请日：2008-11-28
申请人： Tjalf Pirk , Stefan Pinter , Hubert Benzel , Herbert Weber , Michael Krueger , Robert Sattler , Frederic Njikam Njimonzie , Joerg Muchow , Joachim Fritz , Christoph Schelling , Christoph Friese
发明人： Tjalf Pirk , Stefan Pinter , Hubert Benzel , Herbert Weber , Michael Krueger , Robert Sattler , Frederic Njikam Njimonzie , Joerg Muchow , Joachim Fritz , Christoph Schelling , Christoph Friese
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307
摘要： In a micromechanical component having an inclined structure and a corresponding manufacturing method, the component includes a substrate having a surface; a first anchor, which is provided on the surface of the substrate and which extends away from the substrate; and at least one cantilever, which is provided on a lateral surface of the anchor, and which points at an inclination away from the anchor.
摘要翻译： 在具有倾斜结构和相应的制造方法的微机械部件中，该部件包括具有表面的基板; 第一锚，其设置在基板的表面上并且远离基板延伸; 以及至少一个悬臂，其设置在锚固件的侧表面上，并且其倾斜远离锚固件。
-
9.发明授权Micromechanical component having an inclined structure and corresponding manufacturing method 有权具有倾斜结构的微机械部件和相应的制造方法公开(公告)号：US08847336B2
公开(公告)日：2014-09-30
申请号：US12937093
申请日：2008-11-28
申请人： Tjalf Pirk , Stefan Pinter , Hubert Benzel , Heribert Weber , Michael Krueger , Robert Sattler , Frederic Njikam Njimonzie , Joerg Muchow , Joachim Fritz , Christoph Schelling , Christoph Friese
发明人： Tjalf Pirk , Stefan Pinter , Hubert Benzel , Heribert Weber , Michael Krueger , Robert Sattler , Frederic Njikam Njimonzie , Joerg Muchow , Joachim Fritz , Christoph Schelling , Christoph Friese
IPC分类号： H01L29/788 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307
摘要： In a micromechanical component having an inclined structure and a corresponding manufacturing method, the component includes a substrate having a surface; a first anchor, which is provided on the surface of the substrate and which extends away from the substrate; and at least one cantilever, which is provided on a lateral surface of the anchor, and which points at an inclination away from the anchor.
摘要翻译： 在具有倾斜结构和相应的制造方法的微机械部件中，该部件包括具有表面的基板; 第一锚，其设置在基板的表面上并且远离基板延伸; 以及至少一个悬臂，其设置在锚固件的侧表面上，并且其倾斜远离锚固件。
-
公开(公告)号：US07343806B2
公开(公告)日：2008-03-18
申请号：US10539526
申请日：2003-08-18
申请人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Heribert Weber , Frank Schaefer
发明人： Joerg Muchow , Hubert Benzel , Heribert Weber , Frank Schaefer
IPC分类号： G01L7/00
CPC分类号： G01L19/148 , G01L19/147 , H01L2224/48091 , H01L2924/10253 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： A pressure sensor having a pressure sensor element, the pressure sensor element having a diaphragm area and a first fixing area, the pressure to be measured exerting a force action on the diaphragm area, the first fixing area being connected to a second fixing area of a fixing element to fix the pressure sensor element, and the first fixing area and the second fixing area being pressure-loaded by the force action.
摘要翻译： 一种具有压力传感器元件的压力传感器，所述压力传感器元件具有隔膜区域和第一固定区域，所述测量对所述隔膜区域施加力作用的所述压力，所述第一固定区域连接到所述隔膜区域的第二固定区域 固定元件以固定压力传感器元件，并且第一固定区域和第二固定区域由于力作用被加压。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
55 条记录 (耗时 0.02 秒)
