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    Nozzle for cleaving substrates
    2.
    发明授权
    Nozzle for cleaving substrates 失效
    用于切割基材的喷嘴

    公开(公告)号：US06263941B1

    公开(公告)日：2001-07-24

    申请号：US09370958

    申请日：1999-08-10

    申请人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    发明人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    IPC分类号： B32B3500

    CPC分类号： B32B43/006 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/0023 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/0082 ,  Y10T29/49821 ,  Y10T29/49822 ,  Y10T83/364 ,  Y10T156/1374 ,  Y10T156/1928

    摘要： A cleaving tool provides pressurized gas to the edge of a substrate in combination with a sharpened edge to cleave the substrate at a selected interface. The edge of the tool is tapped against the perimeter of a substrate, such as a bonded substrate, and a burst of gas pressure is then applied at approximately the point of contact with the edge of the tool. The combination of mechanical force and gas pressure separates the substrate into two halves at a selected interface, such as a weakened layer in a donor wafer.

    摘要翻译： 切割工具将加压气体与锋利的边缘组合地提供到基底的边缘，以在选定的界面处切割基底。 将工具的边缘与衬底的周边（例如键合衬底）相接合，然后在大约与工具边缘的接触点处施加气体压力脉冲。 机械力和气体压力的组合将基板在选定的界面（例如施主晶片中的弱化层）分离成两半。

    Substrate cleaving tool and method
    3.
    发明授权
    Substrate cleaving tool and method 有权
    基板切割工具及方法

    公开(公告)号：US06221740B1

    公开(公告)日：2001-04-24

    申请号：US09371436

    申请日：1999-08-10

    申请人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    发明人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    IPC分类号： H01L2130

    CPC分类号： B32B43/006 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/0023 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/0082 ,  H01L21/67092 ,  Y10T29/53683 ,  Y10T156/1939 ,  Y10T225/12 ,  Y10T225/18 ,  Y10T225/30 ,  Y10T225/386

    摘要： A cleaving tool provides pressurized gas to the edge of a substrate to cleave the substrate at a selected interface. A substrate, such as a bonded substrate, is loaded into the cleaving tool, and two halves of the tool are brought together to apply a selected pressure to the substrate. A compliant pad of selected elastic resistance provides support to the substrate while allowing the substrate to expand during the cleaving process. Bringing the two halves of the tool together also compresses an edge seal against the perimeter of the substrate. A thin tube connected to a high-pressure gas source extends through the edge seal and provides a burst of gas to separate the substrate into at least two sheets. In a further embodiment, the perimeter of the substrate is struck with an edge prior to applying the gas pressure.

    摘要翻译： 切割工具将加压气体提供到衬底的边缘以在所选择的界面处切割衬底。 衬底（例如键合衬底）被装载到劈开工具中，并且工具的两半被聚集在一起以将选择的压力施加到衬底上。 所选择的弹性阻力的柔性衬垫提供对衬底的支撑，同时允许衬底在裂开过程期间膨胀。 将工具的两个一半带到一起也可压缩衬底周边的边缘密封。 连接到高压气体源的细管延伸穿过边缘密封件并且提供气泡，以将基底分离成至少两个片。 在另一个实施例中，在施加气体压力之前，衬底的周边被边缘撞击。

    Substrate cleaving tool and method
    4.
    发明授权
    Substrate cleaving tool and method 有权
    基板切割工具及方法

    公开(公告)号：US06554046B1

    公开(公告)日：2003-04-29

    申请号：US09723467

    申请日：2000-11-27

    申请人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    发明人： Michael A. Bryan ,  James K. Kai

    IPC分类号： B32B3500

    CPC分类号： B32B43/006 ,  B28D5/0011 ,  B28D5/0023 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/0082 ,  H01L21/67092 ,  Y10T29/53683 ,  Y10T156/1939 ,  Y10T225/12 ,  Y10T225/18 ,  Y10T225/30 ,  Y10T225/386

    摘要： A cleaving tool provides pressurized gas to the edge of a substrate to cleave the substrate at a selected interface. A substrate, such as a bonded substrate, is loaded into the cleaving tool, and two halves of the tool are brought together to apply a selected pressure to the substrate. A compliant pad of selected elastic resistance provides support to the substrate while allowing the substrate to expand during the cleaving process. Bringing the two halves of the tool together also compresses an edge seal against the perimeter of the substrate. A thin tube connected to a high-pressure gas source extends through the edge seal and provides a burst of gas to separate the substrate into at least two sheets. In a further embodiment, the perimeter of the substrate is struck with an edge prior to applying the gas pressure.

    摘要翻译： 切割工具将加压气体提供到衬底的边缘以在所选择的界面处切割衬底。 衬底（例如键合衬底）被装载到劈开工具中，并且工具的两半被聚集在一起以将选择的压力施加到衬底上。 所选择的弹性阻力的柔性衬垫提供对衬底的支撑，同时允许衬底在裂开过程期间膨胀。 将工具的两个一半带到一起也可压缩衬底周边的边缘密封。 连接到高压气体源的细管延伸穿过边缘密封件并且提供气泡，以将基底分离成至少两个片。 在另一个实施例中，在施加气体压力之前，衬底的周边被边缘撞击。

    Integrated gradient index lenses
    5.
    发明授权
    Integrated gradient index lenses 有权
    积分渐变指数镜头

    公开(公告)号：US07164818B2

    公开(公告)日：2007-01-16

    申请号：US10138754

    申请日：2002-05-03

    申请人： Michael A. Bryan ,  Elizabeth Anne Nevis

    发明人： Michael A. Bryan ,  Elizabeth Anne Nevis

    IPC分类号： G02B6/32

    CPC分类号： G02B6/12004 ,  G02B6/12002 ,  G02B6/1245 ,  G02B6/132 ,  G02B6/32 ,  G02B2006/12102

    摘要： Gradient index lenses are described that are integrated within a planar optical structure. The gradient index lens is optically coupled to a planar optical waveguide. In some embodiments, the gradient index lens with variation in index-of-refraction in one dimension is within an optical fiber. The optical fiber includes cladding at least along the edges of the central plane of the gradient index lens. Methods for forming the integrated structures are described. Further optical structures involving the gradient index lenses are also described.

    摘要翻译： 描述了集成在平面光学结构内的渐变折射率透镜。 梯度折射率透镜光学耦合到平面光波导。 在一些实施例中，在一个维度上具有变化的折射率的渐变折射率透镜在光纤内。 光纤包括至少沿着渐变折射率透镜的中心平面的边缘的包层。 描述形成集成结构的方法。 还描述了涉及梯度折射率透镜的其它光学结构。

    High temperature implant apparatus
    7.
    发明授权
    High temperature implant apparatus 有权
    高温植入装置

    公开(公告)号：US06458723B1

    公开(公告)日：2002-10-01

    申请号：US09594464

    申请日：2000-06-14

    申请人： Francois J. Henley ,  Michael A. Bryan ,  William G. En

    发明人： Francois J. Henley ,  Michael A. Bryan ,  William G. En

    IPC分类号： H01L2126

    CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/31701

    摘要： An ion implantation apparatus and method. The apparatus has a vacuum chamber and an ion beam generator to generate an ion beam in the vacuum chamber. The apparatus also has an implant wheel (10), in the vacuum chamber, having a plurality of circumferentially distributed substrate holding positions. Each of the substrate holding positions comprises a substrate holder (17), which includes an elastomer overlying the substrate holder (17) and a thermal insulating material (71) (e.g., quartz, silicon, ceramics, and other substantially non-compliant materials) overlying the elastomer (72). The present thermal insulating material increases a temperature of a substrate as it is implanted.

    摘要翻译： 一种离子注入装置及方法。 该装置具有真空室和离子束发生器，以在真空室中产生离子束。 该设备还具有植入轮（10），其在真空室中具有多个周向分布的衬底保持位置。 每个基板保持位置包括基板保持器（17），其包括覆盖基板保持器（17）的弹性体和绝热材料（例如石英，硅，陶瓷和其他基本上不顺从的材料） 覆盖弹性体（72）。 本发明的绝热材料在植入时增加了基板的温度。

    Color filter repair method
    9.
    发明授权
    Color filter repair method 失效
    彩色滤光片修复方法

    公开(公告)号：US6054235A

    公开(公告)日：2000-04-25

    申请号：US925895

    申请日：1997-09-08

    申请人： Michael A. Bryan ,  C. Wade Sheen

    发明人： Michael A. Bryan ,  C. Wade Sheen

    IPC分类号： B23K26/06 ,  G01N21/94 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335

    CPC分类号： G01N21/94 ,  B23K26/066 ,  G02B5/201 ,  Y10S430/146

    摘要： A technique including a method 300, 400 and apparatus 200 for repairing a color filter assembly 1 for a flat panel display using a high intensity light source means. The technique provides a color filter assembly having an anomaly. The technique uses a step of directing a high intensity light source 203 through an aperture opening at the anomaly to selectively ablate a portion of the anomaly. These features remove the portion of the anomaly while preventing a possibility of substantial damage to other portions of the color filter assembly surrounding the anomaly.

    摘要翻译： 一种包括方法300,400和装置200的技术，用于使用高强度光源装置修复用于平板显示器的滤色器组件1。 该技术提供了具有异常的滤色器组件。 该技术使用将高强度光源203引导通过异常处的开口开口以选择性地消融异常的一部分的步骤。 这些特征去除异常部分，同时防止可能对围绕异常的滤色器组件的其它部分造成实质损坏。

    Optical materials with selected index-of-refraction
    10.
    发明授权
    Optical materials with selected index-of-refraction 有权
    具有折射率折射率的光学材料

    公开(公告)号：US07437047B2

    公开(公告)日：2008-10-14

    申请号：US11796798

    申请日：2007-04-30

    申请人： Michael A. Bryan ,  Nobuyuki Kambe

    发明人： Michael A. Bryan ,  Nobuyuki Kambe

    IPC分类号： G02B6/10 ,  H01L21/00

    CPC分类号： G02B6/13 ,  G02B6/124 ,  G02B6/125 ,  Y10T428/25

    摘要： Photosensitive optical materials are used for establishing more versatile approaches for optical device formation. In some embodiments, unpatterned light is used to shift the index-of-refraction of planar optical structures to shift the index-of-refraction of the photosensitive material to a desired value. This approach can be effective to produce cladding material with a selected index-of-refraction. In additional embodiments gradients in index-of-refraction are formed using photosensitive materials. In further embodiments, the photosensitive materials are patterned within the planar optical structure. Irradiation of the photosensitive material can selectively shift the index-of-refraction of the patterned photosensitive material. By patterning the light used to irradiate the patterned photosensitive material, different optical devices can be selectively activated within the optical structure.

    摘要翻译： 光敏光学材料用于建立用于光学器件形成的更通用的方法。 在一些实施例中，使用未图案的光来移动平面光学结构的折射率以将感光材料的折射率移动到期望值。 这种方法可以有效地生产具有选定的折射率的包层材料。 在另外的实施例中，使用光敏材料形成折射率折射率。 在另外的实施例中，感光材料在平面光学结构内图案化。 感光材料的照射可以选择性地移动图案化感光材料的折射率。 通过图案化用于照射图案化感光材料的光，可以在光学结构内选择性地激活不同的光学器件。