公开(公告)号：US07253576B2

公开(公告)日：2007-08-07

申请号：US10819041

申请日：2004-04-05

申请人： Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

发明人： Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

IPC分类号： H02P1/00

CPC分类号： H02P25/06

摘要： A stage assembly (220) for moving a device (200) includes a stage (208), and actuator pair (226) and a control system (224). The actuator pair (226) includes a first actuator (228) that is coupled to the stage (208). The first actuator (228) has a first E core (236) and a first I core (240) that is spaced apart a first gap (g1) from the first E core (236). The control system (224) directs current to the first actuator (228) to move the stage (208). In one embodiment, the amount of current directed to the first actuator (228) is determined utilizing a first parameter (a) that is added to the first gap (g1). The value of the first parameter (a) is determined by experimental testing. Additionally, the amount of current directed to the first actuator (228) can be determined utilizing a second parameter (b) that is added to the first gap (g1). The value of the second parameter (b) is determined by experimental testing.

摘要翻译： 用于移动设备（200）的平台组件（220）包括平台（208）和致动器对（226）和控制系统（224）。 致动器对（226）包括联接到平台（208）的第一致动器（228）。 第一致动器（228）具有第一E型芯（236）和第一I型芯（240），其与第一E型芯（236）间隔开第一间隙（g 1> 1）。 控制系统（224）将电流引导到第一致动器（228）以移动平台（208）。 在一个实施例中，使用添加到第一间隙（g 1> 1）的第一参数（a）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第一个参数（a）的值由实验测试确定。 另外，可以利用添加到第一间隙（g1> 1）的第二参数（b）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第二个参数（b）的值由实验测试确定。

公开(公告)号：US20050218842A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：US10819041

申请日：2004-04-05

申请人： Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

发明人： Pai-Hsueh Yang ,  Kazuhiro Hirano ,  Ping-Wei Chang ,  Tim Teng ,  Bausan Yuan

IPC分类号： H02P1/00 ,  H02P25/06

CPC分类号： H02P25/06

摘要： A stage assembly (220) for moving a device (200) includes a stage (208), and actuator pair (226) and a control system (224). The actuator pair (226) includes a first actuator (228) that is coupled to the stage (208). The first actuator (228) has a first E core (236) and a first I core (240) that is spaced apart a first gap (g1) from the first E core (236). The control system (224) directs current to the first actuator (228) to move the stage (208). In one embodiment, the amount of current directed to the first actuator (228) is determined utilizing a first parameter (a) that is added to the first gap (g1). The value of the first parameter (a) is determined by experimental testing. Additionally, the amount of current directed to the first actuator (228) can be determined utilizing a second parameter (b) that is added to the first gap (g1). The value of the second parameter (b) is determined by experimental testing.

摘要翻译： 用于移动设备（200）的平台组件（220）包括平台（208）和致动器对（226）和控制系统（224）。 致动器对（226）包括联接到平台（208）的第一致动器（228）。 第一致动器（228）具有第一E型芯（236）和第一I型芯（240），其与第一E型芯（236）间隔开第一间隙（g 1> 1）。 控制系统（224）将电流引导到第一致动器（228）以移动平台（208）。 在一个实施例中，使用添加到第一间隙（g 1> 1）的第一参数（a）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第一个参数（a）的值由实验测试确定。 另外，可以利用添加到第一间隙（g1> 1）的第二参数（b）来确定引导到第一致动器（228）的电流量。 第二个参数（b）的值由实验测试确定。

公开(公告)号：US06917412B2

公开(公告)日：2005-07-12

申请号：US10375785

申请日：2003-02-26

申请人： Alex Ka Tim Poon ,  Leonard Wai Fung Kho ,  Pai-Hsueh Yang ,  Ping-Wei Chang

发明人： Alex Ka Tim Poon ,  Leonard Wai Fung Kho ,  Pai-Hsueh Yang ,  Ping-Wei Chang

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03B27/58 ,  G03B27/42 ,  G03B27/62 ,  G03B27/32

CPC分类号： G03F7/70766 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70758

摘要： Methods and apparatus for providing a stage apparatus which is modular and allows for reaction force cancellation are described. According to one aspect of the present invention, a stage apparatus includes a table assembly and a first stage. The table assembly supports an object, e.g., a wafer or a reticle, which is to be moved. The first stage includes a counter mass arrangement, a plurality of carriages, and a plurality of linkages. The plurality of carriages is coupled to the table assembly through the plurality of linkages such that a first carriage and a second carriage are arranged to move in substantially opposite directions along a first axis to cause the table assembly to move along a second axis while reaction forces generated when the first carriage and the second carriage are substantially cancelled by the counter mass arrangement.

摘要翻译： 描述了用于提供模块化并允许反作用力抵消的平台装置的方法和装置。 根据本发明的一个方面，一种台架装置包括台组件和第一台。 桌子组件支撑要移动的物体，例如，晶片或掩模版。 第一阶段包括对质量布置，多个托架和多个连杆。 多个滑架通过多个连杆联接到工作台组件，使得第一滑架和第二滑架被布置成沿着第一轴线在基本上相反的方向上移动，以使台面组件沿着第二轴线移动，同时反作用力 当第一托架和第二托架基本上被反质量布置取消时产生。

公开(公告)号：US20070097340A1

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：US11262882

申请日：2005-10-31

申请人： Bausan Yuan ,  Ping-Wei Chang ,  Ryoichi Kawaguchi ,  Kazuo Masaki ,  Susumu Makinouchi ,  Ting-Chien Teng

发明人： Bausan Yuan ,  Ping-Wei Chang ,  Ryoichi Kawaguchi ,  Kazuo Masaki ,  Susumu Makinouchi ,  Ting-Chien Teng

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F7/1005 ,  G03F7/70766 ,  G03F7/70833

摘要： Methods and apparatus for actively damping vibrations associated with a optical assembly of a photolithographic system are disclosed. According to one aspect of the present invention, an assembly that provides damping to a structure of a photolithographic apparatus that is subject to structural oscillations includes a counter mass, an active mechanism, an a controller. The active mechanism is coupled to the structure, supports the counter mass, and applies a force to the structure to counteract structural oscillations in the structure. The controller controls the force applied by the active mechanism on the structure, and utilizes information associated with movement of the structure to control the force.

摘要翻译： 公开了用于主动衰减与光刻系统的光学组件相关的振动的方法和装置。 根据本发明的一个方面，一种对经受结构振荡的光刻设备的结构提供阻尼的组件包括反质量块，活动机构，控制器。 主动机构耦合到结构，支撑反质量，并向结构施加力以抵消结构中的结构振荡。 控制器控制主动机构施加在结构上的力，并利用与结构的运动相关联的信息来控制力。

公开(公告)号：US20070030462A1

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：US11197576

申请日：2005-08-03

申请人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Alton Phillips ,  Ping-Wei Chang ,  Akimitsu Ebihara

发明人： Bausan Yuan ,  Martin Lee ,  Alton Phillips ,  Ping-Wei Chang ,  Akimitsu Ebihara

IPC分类号： F16M1/00 ,  G03B27/00

CPC分类号： G02B7/005

摘要： Embodiments of the present invention are directed to an apparatus for providing a low spring constant, pneumatic suspension using vacuum for the lens in a projection system. In one embodiment, a pneumatic suspension system for a load comprises a frame; and a body movably disposed in the frame and spaced from a side wall of the frame by a gap to define a chamber in the frame above the body, the body being configured to be connected to the load. The frame includes an outlet to draw a gas from the chamber to lower the pressure in the chamber with respect to an ambient pressure outside the frame. An air bearing is formed in the gap between the body and the side wall of the frame to provide non-contact between the body and the frame. The pressure in the chamber is sufficiently lower than the ambient pressure to produce a lift force to lift the body and the load connected thereto with respect to the frame.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及一种用于在投影系统中为透镜提供使用真空的低弹簧常数气动悬架的装置。 在一个实施例中，用于负载的气动悬挂系统包括框架; 以及主体，其可移动地设置在所述框架中并且通过间隙与所述框架的侧壁间隔开以在所述主体中的所述框架中限定室，所述主体被配置为连接到所述负载。 该框架包括从腔室抽出气体的出口，以相对于框架外部的环境压力降低腔室中的压力。 空气轴承形成在主体和框架的侧壁之间的间隙中，以在主体和框架之间提供非接触。 室内的压力足够低于环境压力，以产生升高力以提升主体和相对于框架连接到其上的负载。

公开(公告)号：US07223350B2

公开(公告)日：2007-05-29

申请号：US10109929

申请日：2002-03-29

申请人： Ping-Wei Chang ,  Brad Lee Jackson ,  Bulent Nihat Kurdi ,  Jennifer Lu ,  Dennis Richard McKean ,  Eun Kyoung Row

发明人： Ping-Wei Chang ,  Brad Lee Jackson ,  Bulent Nihat Kurdi ,  Jennifer Lu ,  Dennis Richard McKean ,  Eun Kyoung Row

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/6082 ,  G11B5/3173

摘要： A process to reduce step heights in planarization of thin film carriers in an encapsulation system. The improvements include using an adhesive tape having a thinner adhesive thickness and a stiffer tape for the film sealing the encapsulant on the carrier to result in a low step height surface transition between the carrier and the cured encapsulant. The composition of the encapsulant is modified to reduce the shrinkage upon curing of the encapsulant. The encapsulant may include an absorbent that absorbs the irradiation and cause the top surface to harden first compared to the bulk of the encapsulant, and/or a gas-emitting additive that creates gaseous products that expand upon irradiation to thereby reduce the shrinkage of the encapsulant upon curing. Alternatively, irradiation at very low incidence angle relative to the top surface of the encapsulant causes the top surface to harden before the bulk of the encapsulant.

摘要翻译： 一种降低封装系统中薄膜载体平面化阶跃高度的方法。 这些改进包括使用具有较薄粘合剂厚度的粘合带和用于将密封剂密封在载体上的较硬的胶带，导致载体和固化的密封剂之间的低台阶高度表面过渡。 改进密封剂的组成以减少密封剂固化时的收缩。 密封剂可以包括吸收辐射的吸收剂，并且使顶部表面首先与密封剂的主体相比硬化，和/或产生气体产物的气体发射添加剂，其在照射时膨胀，从而减小密封剂的收缩 固化后。 或者，相对于密封剂的顶表面以非常低的入射角的照射使得顶部表面在大部分密封剂之前硬化。

公开(公告)号：US20050173389A1

公开(公告)日：2005-08-11

申请号：US10652346

申请日：2003-08-29

申请人： Andrew Tam ,  Chie Poon ,  Ping-Wei Chang

发明人： Andrew Tam ,  Chie Poon ,  Ping-Wei Chang

IPC分类号： B21D11/20 ,  B23K26/06 ,  G11B5/60 ,  G11B21/21 ,  B23K26/00

CPC分类号： G11B5/6005 ,  B21D11/20 ,  B23K26/02 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/073 ,  G11B21/21

摘要： A method and apparatus for producing very high crown and camber curvature in slider materials using a laser processing system which produces fluence which is variable in a controllable manner, by applying a laser beam to the flex side of the slider material and varying the fluence of the laser beam to optimize the curvature in the slider material. The fluence is variable by finely controlling the power output of the laser or by changing the spot size of the laser beam. The beam spot size can be changed by using a focusing lens to establish a focal plane and then varying the relative positions of the slider relative and the focal plane. An apparatus for producing high crown and camber is also disclosed, as well as a slider produced by the process of applying a laser beam to the flex side of the slider material and varying the fluence of the laser beam to optimize the curvature in the slider material.

摘要翻译： 一种使用激光处理系统在滑块材料中产生非常高的冠和弧度曲率的方法和装置，该激光处理系统通过将激光束施加到滑块材料的弯曲侧并改变其能量密度而产生以可控方式变化的能量密度 激光束优化滑块材料的曲率。 通过精细地控制激光器的功率输出或通过改变激光束的光斑尺寸，注量变化是可变的。 可以通过使用聚焦透镜来建立焦平面，然后改变滑块相对和焦平面的相对位置来改变束斑尺寸。 还公开了一种用于制造高冠和弧度的装置，以及通过将激光束施加到滑块材料的挠曲侧并改变激光束的注量以优化滑块材料的曲率的方法制造的滑块 。

公开(公告)号：US06631548B2

公开(公告)日：2003-10-14

申请号：US09916855

申请日：2001-07-27

申请人： Ping-Wei Chang ,  Chie Ching Poon ,  Andrew C. Tam

发明人： Ping-Wei Chang ,  Chie Ching Poon ,  Andrew C. Tam

IPC分类号： G11B5127

CPC分类号： G11B5/6005 ,  B21D1/00 ,  Y10T29/49036 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49048

摘要： Methods for adjusting the curvature of a slider may include providing a first slider including an air bearing surface and a back surface opposite the air bearing surface. The camber and crown of the first slider are measured, and a plurality of scribes are made at positions on the back surface of the first slider. The change in camber and crown due to each scribe on the first slider is measured. The scribe position and change in crown and camber per position is recorded in a data structure. A second slider is provided, the second slider including an air bearing surface and a back surface opposite the air bearing surface. The camber and crown of the second slider are measured. A desired amount of change in crown and camber is determined. Scribe positions are selected based on information from the data structure so that the desired amount of change in crown and camber will be obtained. The back surface of the second slider is scribed at the selected scribe positions.

摘要翻译： 用于调节滑块的曲率的方法可以包括提供包括空气支承表面和与空气支承表面相对的后表面的第一滑块。 测量第一滑动件的弯度和凸度，并且在第一滑块的后表面上的位置处形成多个划线条。 测量由于第一滑块上的每个划痕引起的弯度和凸度的变化。 刻印位置和每个位置的表冠和弧度的变化记录在数据结构中。 提供了第二滑块，第二滑块包括空气轴承表面和与空气轴承表面相对的后表面。 测量第二个滑块的外倾角和表冠。 确定冠和弯度的期望量的变化。 根据来自数据结构的信息来选择划痕位置，从而获得所需的冠和弯度变化量。 第二个滑块的后表面被刻划在所选择的划线位置。

公开(公告)号：US20060232886A1

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：US11425666

申请日：2006-06-21

申请人： Ping-Wei Chang ,  Brad Jackson ,  Bulent Kurdi ,  Jennifer Lu ,  Dennis McKean ,  Eun Row

发明人： Ping-Wei Chang ,  Brad Jackson ,  Bulent Kurdi ,  Jennifer Lu ,  Dennis McKean ,  Eun Row

IPC分类号： G11B5/60

CPC分类号： G11B5/6082 ,  G11B5/3173

摘要： A process to reduce step heights in planarization of thin film carriers in an encapsulation system. The improvements include using an adhesive tape having a thinner adhesive thickness and a stiffer tape for the film sealing the encapsulant on the carrier to result in a low step height surface transition between the carrier and the cured encapsulant. The composition of the encapsulant is modified to reduce the shrinkage upon curing of the encapsulant. The encapsulant may include an absorbent that absorbs the irradiation and cause the top surface to harden first compared to the bulk of the encapsulant, and/or a gas-emitting additive that creates gaseous products that expand upon irradiation to thereby reduce the shrinkage of the encapsulant upon curing. Alternatively, irradiation at very low incidence angle relative to the top surface of the encapsulant causes the top surface to harden before the bulk of the encapsulant.

摘要翻译： 一种降低封装系统中薄膜载体平面化阶跃高度的方法。 这些改进包括使用具有较薄粘合剂厚度的粘合带和用于将密封剂密封在载体上的较硬的胶带，导致载体和固化的密封剂之间的低台阶高度表面过渡。 改进密封剂的组成以减少密封剂固化时的收缩。 密封剂可以包括吸收辐射的吸收剂，并且使顶部表面首先与密封剂的主体相比硬化，和/或产生气体产物的气体发射添加剂，其在照射时膨胀，从而减小密封剂的收缩 固化后。 或者，相对于密封剂的顶表面以非常低的入射角照射导致顶表面在大部分密封剂之前硬化。

公开(公告)号：US20050180051A1

公开(公告)日：2005-08-18

申请号：US11038332

申请日：2005-01-18

申请人： Ping-Wei Chang ,  Chie Poon ,  John Raniseski ,  Andrew Tam

发明人： Ping-Wei Chang ,  Chie Poon ,  John Raniseski ,  Andrew Tam

IPC分类号： G11B5/48 ,  G11B5/60

CPC分类号： G11B5/4826 ,  G11B5/6082 ,  Y10T29/49036

摘要： Embodiments include a method for adjusting the twist, crown and camber of an air bearing surface a slider to substantially match final target values for twist, crown and camber, the slider having a back surface opposite the air bearing surface. The method includes the steps of measuring the twist, crown and camber of the at least one slider. A first group of twist scribes may be formed on the back surface. A first group of crown and camber scribes are formed on the back surface. The twist, crown and camber of the slider are measured and comparing to the final target values. Additional twist scribes may be formed if the final target value for twist is not reached or if the final target value is exceeded. Additional crown and camber scribes may be formed if the final target values for crown and camber are not obtained.

摘要翻译： 实施例包括一种用于调节空气轴承表面的扭转，冠部和弯度的方法，该滑块用于基本上匹配用于扭转，冠部和弯度的最终目标值，滑块具有与空气支承表面相对的后表面。 该方法包括以下步骤：测量至少一个滑块的扭转，凸度和弯度。 可以在后表面上形成第一组扭转划线。 在背面形成第一组冠和弧形文字。 测量滑块的扭曲，凸度和弯度，并与最终目标值进行比较。 如果没有达到扭曲的最终目标值或超过最终目标值，则可以形成额外的扭转划线。 如果没有获得冠和弯度的最终目标值，则可以形成额外的冠和弧形划线。