公开(公告)号：US06787198B2

公开(公告)日：2004-09-07

申请号：US10280270

申请日：2002-10-23

申请人： Shyama P. Mukherjee ,  Harold O. Madsen ,  Paul J. Roman, Jr. ,  Leo G. Svendsen

发明人： Shyama P. Mukherjee ,  Harold O. Madsen ,  Paul J. Roman, Jr. ,  Leo G. Svendsen

IPC分类号： C23C1404

CPC分类号： C23C18/1233 ,  C01G11/02 ,  C23C2/04 ,  C23C2/26 ,  C23C8/02 ,  C23C18/06 ,  C23C18/08 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/14 ,  C23C24/08 ,  C23C26/00 ,  C23C26/02 ,  C23C30/00 ,  G03F7/0047 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/02356 ,  H01L21/31695 ,  H05K1/162 ,  H05K3/105

摘要： The present invention involves the hydrothermal treatment of nanostructured films to form high k PMOD™ films for use in applications that are temperature sensitive, such as applications using a polymer based substrate. After a PMOD™ precursor is deposited and converted on a substrate, and possibly after other process steps, the amorphous, nanoporous directly patterned film is subjected to low temperature hydrothermal treatment to densify and possibly crystallize the resulting high dielectric PMOD™ film. A post hydrothermal treatment bake is then performed to remove adsorped water.

摘要翻译： 本发明涉及纳米结构膜的水热处理以形成用于温度敏感的应用的高k PMOD TM膜，例如使用基于聚合物的基底的应用。 在PMOD TM前体沉积并转化在基底上，并且可能在其它工艺步骤之后，将无定形纳米多孔直接图案化的膜进行低温水热处理以致密化并且可能结晶所得的高介电PMOD TM膜 。 然后进行后水热处理烘烤以除去吸附的水。

公开(公告)号：US06723388B2

公开(公告)日：2004-04-20

申请号：US10261197

申请日：2002-09-30

申请人： Leo G. Svendsen ,  Shyama P. Mukheriee ,  Paul J. Roman, Jr. ,  Ross H. Hill ,  Harold O. Madsen ,  Xin Zhang ,  Donna Hohertz

发明人： Leo G. Svendsen ,  Shyama P. Mukheriee ,  Paul J. Roman, Jr. ,  Ross H. Hill ,  Harold O. Madsen ,  Xin Zhang ,  Donna Hohertz

IPC分类号： C23C1404

CPC分类号： C23C18/06 ,  C01G11/02 ,  C23C2/04 ,  C23C2/26 ,  C23C8/02 ,  C23C18/08 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/127 ,  C23C18/1279 ,  C23C18/1283 ,  C23C18/14 ,  C23C24/08 ,  C23C26/00 ,  C23C26/02 ,  C23C30/00 ,  G03F7/0047 ,  H01L21/02175 ,  H01L21/02183 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02189 ,  H01L21/02194 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/31691 ,  H01L21/31695 ,  H05K1/162 ,  H05K3/105

摘要： This invention comprises methods for making nanostructured and nanoporous thin film structures of various compositions. These films can be directly patterned. In these methods, precursor films are deposited on a surface and different components of the precursor film are reacted under selected conditions, forming a nanostructured or nanoporous film. Such films can be used in a variety of applications, for example, low k dielectrics, sensors, catalysts, conductors or magnetic films. Nanostructured films can be created: (1) using one precursor component and two reactions, (2) using two or more components based on differential rates of photochemical conversion, (3) using two precursors based on the thermal sensitivity of one precursor and the photochemical sensitivity of the other, and (4) by photochemical reaction of a precursor film and selected removal of a largely unreacted component from the film.

摘要翻译： 本发明包括制备各种组合物的纳米结构和纳米多孔薄膜结构的方法。 这些膜可以直接图案化。 在这些方法中，前体膜沉积在表面上，并且前体膜的不同组分在选择的条件下反应，形成纳米结构或纳米多孔膜。 这种膜可以用于各种应用，例如低k电介质，传感器，催化剂，导体或磁性膜。 可以制备纳米结构膜：（1）使用一个前体组分和两个反应，（2）基于光化学转化的差异速率使用两种或更多种组分，（3）使用基于一种前体的热敏感性的两种前体和光化学 另一方的灵敏度，（4）通过前体膜的光化学反应，并从膜中选择除去大部分未反应的成分。

公开(公告)号：US07427529B2

公开(公告)日：2008-09-23

申请号：US10422212

申请日：2003-04-23

申请人： Paul J. Roman, Jr. ,  Harold O. Madsen

发明人： Paul J. Roman, Jr. ,  Harold O. Madsen

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L27/3246 ,  G03F7/0042 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/3088 ,  H01L21/76807 ,  H01L21/76811 ,  H01L21/76813 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/3283 ,  H01L51/56

摘要： A light emitting display comprising a first electrode layer on a substrate. The electrode layer is patterned to form a plurality of laterally spaced apart strips in a first direction. A plurality of spacedly disposed light emitting organic elements with a second electrode layer atop are disposed on the first electrode layer in a second direction. An undercut structure made of an undercut pattern transfer layer and an overlaying pattern transfer layer. The undercut structure is disposed between the plurality of spacedly disposed light emitting organic elements. A light emitting display having a color isolation well. The color isolation well is characterized by a first well layer and a second well layer in which the first well layer matches a property of an emissive polymer or small molecule dye held by the well whereas the second well layer does not match the property.

摘要翻译： 一种发光显示器，包括在基板上的第一电极层。 图案化电极层以在第一方向上形成多个横向间隔开的条。 多个间隔布置的具有顶部的第二电极层的发光有机元件在第二方向上设置在第一电极层上。 由底切图案转印层和覆盖图案转印层制成的底切结构。 底切结构设置在多个间隔开的发光有机元件之间。 具有彩色隔离阱的发光显示器。 颜色分离井的特征在于第一阱层和第二阱层，其中第一阱层与由阱保持的发射聚合物或小分子染料的性质匹配，而第二阱层与性质不匹配。