公开(公告)号：US08393719B2

公开(公告)日：2013-03-12

申请号：US13280022

申请日：2011-10-24

申请人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： B41J2/045 ,  H01L41/00 ,  H02N2/00

CPC分类号： H01L41/187 ,  B41J2/14032 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide a lead-free piezoelectric film including a lead-free ferroelectric material and having low dielectric loss and high piezoelectric performance comparable to that of PZT, and a method of manufacturing the lead-free piezoelectric film.The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a NaxLa1-xNiO3-x layer with a (001) orientation and a (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 layer with a (001) orientation, wherein x is not less than 0.01 and not more than 0.1, and the NaxLa1-xNiO3-x layer (0.01≦x≦0.1) and the (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 layer are laminated.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种包含无铅铁电材料的无铅压电膜，其具有与PZT相当的低介电损耗和高压电性能，以及制造无铅压电膜的方法。 本发明涉及一种包括具有（001）取向的NaxLa1-xNiO3-x层和（001）取向的（Na，Bi）TiO3-BaTiO3层的压电膜，其中x不小于0.01而不是 大于0.1，NaxLa1-xNiO3-x层（0.01＆nlE; x＆nlE; 0.1）和（Na，Bi）TiO3-BaTiO3层层叠。

公开(公告)号：US08390179B2

公开(公告)日：2013-03-05

申请号：US13551018

申请日：2012-07-17

申请人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： C01G23/006 ,  B41J2/14274 ,  C01G29/006 ,  C01P2002/50 ,  C01P2002/52 ,  C01P2002/72 ,  C01P2006/32 ,  C01P2006/40 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/1871

摘要： It is an object of the present invention to provide a lead-free piezoelectric film including a lead-free ferroelectric material and having low dielectric loss and high piezoelectric performance comparable to that of PZT, and a method of manufacturing the lead-free piezoelectric film.The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a (NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2—BaTiO3 layer with a (111) orientation, where 0.30≦x≦0.46 and 0.51≦y≦0.62.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种无铅压电薄膜，其包括无铅铁电材料，并且具有与PZT相当的低介电损耗和高压电性能，以及制造无铅压电薄膜的方法。 本发明涉及一种包括具有（111）取向的（NaxBiy）TiO0.5x + 1.5y + 2-BaTiO3层的压电膜，其中0.30和n1E; x和nlE; 0.46和0.51≤n1E; y＆nlE; 0.62。

公开(公告)号：US20120043857A1

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：US13282089

申请日：2011-10-26

申请人： Michihito UEDA ,  Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Michihito UEDA ,  Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： H01L41/18

CPC分类号： H01L41/094 ,  H01L41/042 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide a method for driving an actuator in which unnecessary deformation is suppressed.The present invention provides a method for driving an actuator, comprising the following steps (a) and (b): a step (a) of preparing the actuator, wherein the actuator comprises a first electrode, a piezoelectric layer composed of (Bi,Na,Ba)TiO3, and a second electrode, the piezoelectric layer is interposed between the first electrode and the second electrode, +X direction, +Y direction, and +Z direction denote [100] direction, [01-1] direction, and [011] direction, respectively, and the piezoelectric layer is preferentially oriented along the +Z direction; and a step (b) of applying a potential difference between the first electrode and the second electrode to drive the actuator.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种驱动致动器的方法，其中不必要的变形被抑制。 本发明提供一种用于驱动致动器的方法，包括以下步骤（a）和（b）：制备致动器的步骤（a），其中致动器包括第一电极，由（Bi，Na ，Ba）TiO 3和第二电极，压电层插入在第一电极和第二电极之间，+ X方向，+ Y方向和+ Z方向表示[100]方向，[01-1]方向，以及 方向，并且压电层优先沿着+ Z方向取向; 以及在第一电极和第二电极之间施加电位差以驱动致动器的步骤（b）。

公开(公告)号：US20120038715A1

公开(公告)日：2012-02-16

申请号：US13280022

申请日：2011-10-24

申请人： Takakiyo HARIGAI ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo HARIGAI ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： B41J2/045 ,  H02N2/18 ,  B32B9/00 ,  G01C19/56

CPC分类号： H01L41/187 ,  B41J2/14032 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide a lead-free piezoelectric film including a lead-free ferroelectric material and having low dielectric loss and high piezoelectric performance comparable to that of PZT, and a method of manufacturing the lead-free piezoelectric film.The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a NaxLa1-xNiO3-x layer with a (001) orientation and a (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 layer with a (001) orientation, wherein x is not less than 0.01 and not more than 0.1, and the NaxLa1-xNiO3-x layer (0.01≦x≦0.1) and the (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 layer are laminated.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种包含无铅铁电材料的无铅压电膜，其具有与PZT相当的低介电损耗和高压电性能，以及制造无铅压电膜的方法。 本发明涉及一种包括具有（001）取向的NaxLa1-xNiO3-x层和（001）取向的（Na，Bi）TiO3-BaTiO3层的压电膜，其中x不小于0.01而不是 大于0.1，NaxLa1-xNiO3-x层（0.01＆nlE; x＆nlE; 0.1）和（Na，Bi）TiO3-BaTiO3层层叠。

公开(公告)号：US09000655B2

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：US13926794

申请日：2013-06-25

申请人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： H01L41/18 ,  H02N2/18 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  C04B35/462 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  B41J2/14 ,  C23C14/08 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  C23C14/34 ,  C30B23/02 ,  C30B29/22 ,  B32B18/00 ,  C04B35/468 ,  C04B35/475 ,  C04B35/50

CPC分类号： H02N2/18 ,  B32B18/00 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  C04B35/462 ,  C04B35/468 ,  C04B35/475 ,  C04B35/50 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/787 ,  C23C14/08 ,  C23C14/3414 ,  C30B23/02 ,  C30B29/22 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/316 ,  H02N2/186 ,  Y10T428/12667

摘要： The present invention provides a non-lead piezoelectric film having high crystalline orientation, the low dielectric loss, the high polarization-disappear temperature, the high piezoelectric constant, and the high linearity between an applied electric field and an amount of displacement. The present invention is a piezoelectric film comprising: a NaxLa1-x+yNi1-yO3-x layer having only an (001) orientation and a (1-α) (Bi, Na, Ba) TiO3-αBiQO3 layer having only an (001) orientation. The (1-α) (Bi, Na, Ba) TiO3-αBiQO3 layer is formed on the NaxLa1-x+yNi1-yO3-x layer. The character of Q represents Fe, Co, Zn0.5Ti0.5, or Mg0.5Ti0.5 The character of x represents a value of not less than 0.01 and not more than 0.05. The character of y represents a value of not less than 0.05 and not more than 0.20. The character of α represents a value of not less than 0.20 and not more than 0.50.

摘要翻译： 本发明提供一种具有高结晶取向，低介电损耗，高偏振消失温度，高压电常数以及施加电场与位移量之间的高线性度的非铅压电薄膜。 本发明是一种压电薄膜，它包括仅具有（001）取向的NaxLa1-x + yNi1-yO3-x层和仅具有（001）取向的（001）取向的（001）取向和（1-α）（Bi，Na，Ba）TiO3-αBiQO3层 ）方向。 在NaxLa1-x + yNi1-yO3-x层上形成（1-α）（Bi，Na，Ba）TiO3-αBiQO3层。 Q的特性表示Fe，Co，Zn0.5Ti0.5或Mg0.5Ti0.5 x的特征值不小于0.01且不大于0.05。 y的特征表示不小于0.05且不大于0.20的值。 α的字符表示不小于0.20且不大于0.50的值。

公开(公告)号：US08562113B2

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：US13280000

申请日：2011-10-24

申请人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： H01L41/22 ,  H01L41/00 ,  H04R17/00 ,  H02N2/00 ,  B41J2/045

CPC分类号： B41J2/14032 ,  C23C14/088 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

摘要： The present invention provides a piezoelectric thin film comprising an electrode film with a (001) orientation, a (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO3 film with a (001) orientation (x represents not less than 0.29 and not more than 0.4) and a (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 piezoelectric layer, the electrode film, the (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO3 film, and the (Na,Bi)TiO3—BaTiO3 piezoelectric layer being laminated in this order.The lead-free piezoelectric thin film of the present invention has low dielectric loss and high piezoelectric performance.

摘要翻译： 本发明提供一种压电薄膜，其包括具有（001）取向的电极膜，具有（001）取向的（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO3膜（x表示不小于0.29且不大于 0.4）和（Na，Bi）TiO 3-BaTiO 3压电层，电极膜，（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO3膜和（Na，Bi）TiO3-BaTiO3压电层 订购。 本发明的无铅压电薄膜具有低介电损耗和高压电性能。

公开(公告)号：US08511799B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US13551058

申请日：2012-07-17

申请人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： H01L41/1871 ,  B41J2/14233 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P3/44 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136

摘要： It is an object of the present invention to provide a lead-free piezoelectric film including a lead-free ferroelectric material and having low dielectric loss and high piezoelectric performance comparable to that of PZT, and a method of manufacturing the lead-free piezoelectric film.The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a (NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2—BaTiO3 layer with a (110) orientation, where 0.30≦x≦0. 46 and 0.51≦y≦0.62.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种无铅压电薄膜，其包括无铅铁电材料，并且具有与PZT相当的低介电损耗和高压电性能，以及制造无铅压电薄膜的方法。 本发明涉及一种包括具有（110）取向的（NaxBiy）TiO0.5x + 1.5y + 2-BaTiO3层的压电膜，其中0.30≤x≤0.0。 46和0.51 @ y @ 0.62。

公开(公告)号：US08511162B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US13550994

申请日：2012-07-17

申请人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Takakiyo Harigai ,  Yoshiaki Tanaka ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： B41J2/045 ,  H01L41/02 ,  G01P15/09

CPC分类号： G01P15/09 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14258 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/187 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide an angular velocity sensor capable of measuring an exact angular velocity, an ink jet head capable of producing an exact amount of ink, and a piezoelectric generating element capable of generating electric power due to positive piezoelectric effect.In the present invention, a piezoelectric film comprising a first electrode, a piezoelectric layer, and a second electrode is used. The first electrode comprises an electrode layer having a (001) orientation. The piezoelectric layer comprises a (NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2—BaTiO3 layer (0.30≦x≦0.46 and 0.51≦y≦0.62) having a (001) orientation.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种能够测量精确角速度的角速度传感器，能够产生精确量的墨水的喷墨头，以及能够由于正的压电效应产生电力的压电发生元件。 在本发明中，使用包括第一电极，压电层和第二电极的压电膜。 第一电极包括具有（001）取向的电极层。 压电层包括具有（001）取向的（NaxBiy）TiO0.5x + 1.5y + 2-BaTiO3层（0.30 @ x @ 0.46和0.51 @ y @ 0.62）。

公开(公告)号：US08591009B2

公开(公告)日：2013-11-26

申请号：US13616125

申请日：2012-09-14

申请人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： H01L41/00 ,  H02N2/00 ,  B41J2/045

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide a BNT-BT piezoelectric film having a higher crystalline orientation, a higher piezoelectric constant, and a higher ferroelectric property. The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a first electrode having only a (110) orientation; a (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO layer having only a (110) orientation, a (Bi,Na)TiO3—BaTiO3 layer having only a (110) orientation, and a second electrode, wherein a value of x is not less than 0.29 and not more than 0.40, and the first electrode, the (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO3 layer, the (Bi,Na)TiO3—BaTiO3 layer, and the second electrode are laminated in this order.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种具有较高结晶取向，较高压电常数和较高铁电性能的BNT-BT压电薄膜。 本发明涉及一种包括仅具有（110）取向的第一电极的压电膜; 仅具有（110）取向的（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO层，仅具有（110）取向的（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层和第二电极，其中x 不小于0.29且不大于0.40，第一电极，（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO3层，（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层和第二电极层叠在该 订购。

公开(公告)号：US20130016163A1

公开(公告)日：2013-01-17

申请号：US13616125

申请日：2012-09-14

申请人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

发明人： Yoshiaki Tanaka ,  Takakiyo Harigai ,  Hideaki Adachi ,  Eiji Fujii

IPC分类号： B41J2/045 ,  H02N2/18 ,  G01P15/097

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1136 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

摘要： The purpose of the present invention is to provide a BNT-BT piezoelectric film having a higher crystalline orientation, a higher piezoelectric constant, and a higher ferroelectric property.The present invention is directed to a piezoelectric film comprising a first electrode having only a (110) orientation; a (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO3 layer having only a (110) orientation, a (Bi,Na)TiO3—BaTiO3 layer having only a (110) orientation, and a second electrode, wherein a value of x is not less than 0.29 and not more than 0.40, and the first electrode, the (NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75—BaTiO3layer, the (Bi,Na)TiO3—BaTiO3 layer, and the second electrode are laminated in this order.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种具有较高结晶取向，较高压电常数和较高铁电性能的BNT-BT压电薄膜。 本发明涉及一种包括仅具有（110）取向的第一电极的压电膜; 仅具有（110）取向的（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO3层，仅具有（110）取向的（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层和第二电极，其中x 不小于0.29且不大于0.40，并且以该顺序层叠第一电极（NaxBi0.5）TiO0.5x + 2.75-BaTiO3层，（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层和第二电极 。